1、华北电力大学2022年11月10日机电一体化系统设计机电一体化系统设计 第第3章传感检测系统的选择与设计章传感检测系统的选择与设计 本章要求重点掌握以下内容：检测传感器的分类及机电一体化对其基本要求；常用检测传感器的原理及应用；传感器的测量电路及与微机接口。本章概述本章概述传感器技术是现代检测和自动化技术的重要基础之传感器技术是现代检测和自动化技术的重要基础之一，机电一体化系统的自动化程度越高，对传感器一，机电一体化系统的自动化程度越高，对传感器的依赖性也就越大。的依赖性也就越大。能将各种能将各种非电物理量非电物理量转换成转换成电量电量的传感器及其应用的传感器及其应用技术便成为机电一体化技术系
2、统中不可缺少的组成技术便成为机电一体化技术系统中不可缺少的组成部分。部分。把各种非电量信息转换为电信号把各种非电量信息转换为电信号,这就是传感器的功这就是传感器的功能能,传感器又称为传感器又称为一次仪表一次仪表。对转换后的电信号进行。对转换后的电信号进行测量测量,并进行放大、运算、转换、记录、指示、显示并进行放大、运算、转换、记录、指示、显示等处理等处理,这这叫作电信号处理系统叫作电信号处理系统,通常被称为通常被称为二次仪表二次仪表。非电量检测系统的结构形式非电量检测系统的结构形式3.1传感器的组成和分类传感器的组成和分类3.1.1传感器的组成传感器的组成通常传感器由敏感元件、转换元件敏感元件
3、、转换元件和和转换电路转换电路三部分组成。图3-1传感器的组成（1）敏感元件）敏感元件:是一种能够将被测量转换成易于测量的物理量的预变换装置,其输入、输出间具有确定的数学关系（最好为线性）。如弹性敏感元件将力转换为位移或应变输出。（2）转换元件：）转换元件：将敏感元件输出的非电物理量(如位移、应变、光强等)转换成电信号（如电阻、电感、电容等）形式。（3）基本转换电路：）基本转换电路：将电信号量转换成便于测量的电量,如电压、电流、频率等。第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 传感器的静态特性传感器的静态特性是是在在静态标准条件静态标准条件下下,利用一利用一定等级的标准设备
4、定等级的标准设备,对传感对传感器进行往复循环测试器进行往复循环测试,得到得到的输入的输入/输出特性（列表或输出特性（列表或画曲线）。通常希望这个画曲线）。通常希望这个特性（曲线）为线性特性（曲线）为线性,这对这对标定和数据处理带来方便。标定和数据处理带来方便。但实际的输出与输入特性但实际的输出与输入特性只能接近线性只能接近线性,与理论与理论直线直线有偏差有偏差,如图如图3-3所示。所示。3.1.2 传感器的性能指标传感器的性能指标图3-3 传感器的线性度示意图 yFS21max0 xFS1实际曲线2理想曲线yx传感器的输入信号不随时间变化或变化非常缓慢第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检
5、测系统的选择与设计%100maxFSLy（3-1）（1）线性度线性度xyS输入量的变化量输出量的变化量0线性度可用下式计算：式中：L线性度(非线性误差)；max最大非线性绝对误差；yFS 输出满度值。（2）灵敏度灵敏度 传感器在静态标准条件下,输出变化对输入变化的比值称为灵敏度,用S0表示,即(3-2)对于线性传感器来说,它的灵敏度S0是个常数。第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计%10021%100FSmHFSmHyHyH或(3-3)yFSHm0 xFSyx（3）迟滞。）迟滞。传感器在正(输入量增大)、反(输入量减小)行程中输出/输入特性曲线的不重合程度称为迟滞,迟滞
6、误差一般以满量程输出yFS的百分数表示：Hm输出值在正、反行程间的最大差值。迟滞特性一般由实验方法确定,如图3-4所示。图3-4 迟滞特性 第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计（4）重复特性。重复特性。传感器在同一条件下,被测输入量按同一方向作全量程连续多次重复测量时,所得的输出/输入曲线不一致的程度,称为重复特性,如图3-5所示。重复特性误差用满量程输出的百分数表示,即式中:Rm最大重复性误差。重复特性也由实验方法确定,常用绝对误差表示,如图3-5所示。%100FSmRyR(3-4)yFS0 xFSxRm1yRm2图3-5 重复特性第第3章章 传感检测系统的选择与设计
7、传感检测系统的选择与设计（5）分辨力）分辨力:传感器能检测到的最小输入增量。在输入零点附近的分辨力称为阈值。（6）漂移：）漂移：由于传感器内部因素或在外界干扰的情况下,传感器的输出发生的变化称为漂移。（7）精度：）精度：精度表示测量结果和被测的“真值”的靠近程度，包括传感器的测量精度和重复精度。2.传感器的动态特性传感器的动态特性 传感器能测量动态信号的能力用动态特性表示。传感器能测量动态信号的能力用动态特性表示。动态动态特性是指传感器测量动态信号时，输出对输入的响应特特性是指传感器测量动态信号时，输出对输入的响应特性性。传感器动态特性的性能指标可以通过时域、频域以。传感器动态特性的性能指标可
8、以通过时域、频域以及试验分析的方法确定，其动态特性参数如：最大超调及试验分析的方法确定，其动态特性参数如：最大超调量、上升时间、调整时间、频率响应范围、临界频率等。量、上升时间、调整时间、频率响应范围、临界频率等。第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 表表3.2 传感器的技术指标传感器的技术指标基本参数指标环境参数指标可靠性指标其它指标量程指标量程指标:量程范围、过载能力等量程范围、过载能力等灵敏度指标灵敏度指标:灵敏度、分辨力、满量程输灵敏度、分辨力、满量程输出、输入输出阻抗等出、输入输出阻抗等精度有关指标精度有关指标:精度、误差、线性、滞后、精度、误差、线性、滞后、
9、重复性、灵敏度误差、稳定性重复性、灵敏度误差、稳定性等等动态性能指标动态性能指标:固有频率、阻尼比、时间常固有频率、阻尼比、时间常数、频率响应范围、频率特性数、频率响应范围、频率特性、临界频率、临界速度、稳定、临界频率、临界速度、稳定时间、过冲量、稳态误差等时间、过冲量、稳态误差等温度指标温度指标:工作温度范围、温工作温度范围、温度误差、温度漂移、度误差、温度漂移、温度系数、热滞后等温度系数、热滞后等抗冲振指标抗冲振指标:允许各向抗冲振的允许各向抗冲振的频率、振幅及加速度频率、振幅及加速度、冲振所引入的误差、冲振所引入的误差等等其它环境参数其它环境参数:抗潮湿、抗介质腐抗潮湿、抗介质腐蚀能力、
10、抗电磁干扰蚀能力、抗电磁干扰能力等能力等工作寿命、平均无故障时间、保险期、疲劳性能、绝缘电阻、耐压及抗飞弧等使用有关指标使用有关指标:供电方式供电方式(直流、交流直流、交流、频率及波形等、频率及波形等)、功、功率、各项分布参数值、率、各项分布参数值、电压范围与稳定度等电压范围与稳定度等结构方面指标结构方面指标:外形尺寸、重量、壳外形尺寸、重量、壳体材质、结构特点等体材质、结构特点等安装连接方面指标安装连接方面指标:安装方式、馈线电缆安装方式、馈线电缆等等第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 3.1.3 信号传输与处理电路信号传输与处理电路传感器信号处理电路内容的选择所要
11、考虑的问题主要包括：（1）传感器输出信号形式,如是模拟信号还是数字信号,是电压还是电流。（2）传感器输出电路形式,是单端输出还是差动输出。（3）传感器电路的输出能力,是电压还是功率,输出阻抗的大小如何等。（4）传感器的特性,如线性度、信噪比、分辨率。第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 3.1.4 传感器的分类传感器的分类1.按能量变换的功能分：按能量变换的功能分：2.按输出按输出的信号分：的信号分：第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 开关型：开关型：开关型传感器的二值就是开关型传感器的二值就是“1”和和“0”或开或开(ON)和关和关(OFF)
12、。这种。这种“l”和和“0”数字数字信号可信号可直接直接传送到微机进行处理，使用方传送到微机进行处理，使用方便。便。模拟型：模拟型：模拟型传感器的输出是与输入物理量变化模拟型传感器的输出是与输入物理量变化相对应的连续变化的电量。如电位器、电相对应的连续变化的电量。如电位器、电容式位移传感器、电阻应变片输入与输出容式位移传感器、电阻应变片输入与输出可以是线性的也可以是非线性的。可以是线性的也可以是非线性的。线性的线性的可以直接使用可以直接使用，非线性的需经过线性化处，非线性的需经过线性化处理，模拟量经理，模拟量经A/D转换后输入微机。转换后输入微机。第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系
13、统的选择与设计 数字型传感器有计数型和代码型计数型和代码型两大类。计数型又称脉冲数字型，其工作原理如图a-1所示。它可以是任何一种脉冲发生器，所发出的脉冲数与输入量成正比，加上计数器就可对输入量进行计数，如可用来检测通过输送带上的产品个数，也可用来检测运行机构的位移量，这时运行机构每移动一定距离或转动一定角度就会发出一个脉冲信号，例如增量式光电码盘增量式光电码盘和检测光栅检测光栅。代码型传感器又称编码器代码型传感器又称编码器，其工作原理如图a-2所示；它输出的信号是数字代码，每一代码相当于一个一定的输入量的值，例如图中输入量的值为K1时，输出代码为1010，而输入量的值为K2时，输出代码为10
14、11。代码的“1”为高电平，“0”为低电平。高、低电平可用光电元件或机械接触式元件输出。常用来检测执行元件的位置或速度，如绝对值型光电编码器、接触式编码板等。第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 物理型传感器：利用一些材料物理特性变化（如集成传感器），有潜力结构型传感器：利用弹性片、金属片、电容电感等结构元件（如一 般的电阻、电容、电感传感器）4.按其作用可分为：（1）内部信息传感器：检测机电一体化系统内部状态，按被测物理量又可分为检测位置、速度、加速度、力、转矩、温度以及异常变化的传感器。（2）外部信息传感器：检测作业对象和外部环境状态，包括压觉/滑觉传感器、视觉/听
15、觉传感器及电涡流传感器、无线电接收机等。第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 5.模拟式和数字式传感器检测系统模拟式和数字式传感器检测系统 电阻、电容、电感、压电、磁电、热电式等传感器输出模拟信号，其检测系统如图示：传感器传感器量程变换量程变换放大器放大器解调器解调器滤波器滤波器运算电路运算电路A/D计算机计算机 显示、显示、执行机构执行机构 振荡器振荡器 振荡器用于对传感器信号“调制”，以提高输出信号的抗干扰能力；并对“解调”提供参考信号，“解调”是使信号恢复原有形式。有的传感器可不进行调制与解调，直接阻抗匹配、放大、滤波等。第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检
16、测系统的选择与设计 光栅、磁栅、光电编码器、激光干涉仪等传感器输出增量码信号，增量码信号，信号变化的周期与被测位移成正比的信号，其检测系统如图示：传传感感器器放放大大器器整整形形电电路路细细分分电电路路变变换换电电路路计计数数器器计计算算机机显示显示执行执行机构机构辨向电路辨向电路 传感器输出多为正弦波信号，经放大、整形后变成数字脉冲信号，进入计数器、计算机，为提高分辨率，采取细分电路；辫向电路辨别方向以便正确进行加法或减法记数；脉冲信号所对应的被测来年感不便于读出和处理时，需进行脉冲当量变换电路。模拟式系统：精度低、易受干扰影响、不便于长距离传输、有A/D转换，成本高数字式系统：分辨率高、抗
17、干扰强、易于长距离传输、易于计算机控制、应用广泛）第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 传感器标定是指利用较高等级的标准器具（或仪器、仪传感器标定是指利用较高等级的标准器具（或仪器、仪表）对传感器的特性进行刻度，或者说通过试验建立传感表）对传感器的特性进行刻度，或者说通过试验建立传感器的输入量与输出量之间的关系。同时，也确定出不同使器的输入量与输出量之间的关系。同时，也确定出不同使用条件下的误差关系。用条件下的误差关系。传感器的标定分传感器的标定分静态标定静态标定和和动态标定动态标定:1.感器静态特性标定感器
18、静态特性标定 静态标定目的是确定传感器的静态特性指标，如线性度、静态标定目的是确定传感器的静态特性指标，如线性度、灵敏度、精度、迟滞性和重复性等。灵敏度、精度、迟滞性和重复性等。2.传感器动态特性标定传感器动态特性标定 动态特性标定的目的确定传感器的动态特性参数，如时动态特性标定的目的确定传感器的动态特性参数，如时间常数、上升时间或工作频率、通频带等。间常数、上升时间或工作频率、通频带等。3.1.5 传感器的标定传感器的标定第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 体积小、重量轻、对整机的适应性好；体积小、重量轻、对整机的适应性好；精度和灵敏度高、响应快、稳定性好、信噪比高
19、；精度和灵敏度高、响应快、稳定性好、信噪比高；安全可靠、寿命长；安全可靠、寿命长；便于与计算机连接；便于与计算机连接；不易受被测对象不易受被测对象(如电阻、磁导率如电阻、磁导率)的影响，也不影响外的影响，也不影响外部环境；部环境；对环境条件适应能力强；对环境条件适应能力强；现场处理简单、操作性能好；现场处理简单、操作性能好；价格低廉。价格低廉。3.1.6 机电一体化系统对检测传感器基本要求机电一体化系统对检测传感器基本要求第第3章章 传感检测系统的选择与设计传感检测系统的选择与设计 1)集成化：集成化：集成（传感器、放大器、运算器、补偿器集成（传感器、放大器、运算器、补偿器等）；组合（不同功能
20、的传感器）；排列（成矩等）；组合（不同功能的传感器）；排列（成矩阵）。阵）。(2)多功能化：多功能化：如温度与湿度、气敏与湿度、速度与长如温度与湿度、气敏与湿度、速度与长度等多功能传感器。度等多功能传感器。(3)智能化：智能化：不但能对外界信号进行转换与测量，同时不但能对外界信号进行转换与测量，同时还具有记忆存储、运算及数据处理等功能。还具有记忆存储、运算及数据处理等功能。(4)数字化：数字化：数字显示与微处理机的应用，使传感器应数字显示与微处理机的应用，使传感器应用更为方便，可提高稳定性及精度，简化结构。用更为方便，可提高稳定性及精度，简化结构。3.1.7 传感器的发展方向传感器的发展方向3
21、.2 线位移检测传感器线位移检测传感器3.2.1 光栅位移传感器光栅位移传感器3.2.2 感应同步器感应同步器3.2.3 磁栅位移传感器磁栅位移传感器3.2.1 光栅位移传感器光栅位移传感器在高精度的数控机床上，目前大量使用光栅作为反馈检测元件。光栅不是依靠电磁学原理进行工作的，不需要激磁电压，而是利用光学原理光学原理进行工作，因而不需要复杂的电子系统。常见的光栅从形状上可分为圆光栅圆光栅和长光长光栅栅。圆光栅用于角位移角位移的检测，长光栅用于直线位移直线位移的检测。光栅的检测精度较高，可达 以上。32411.标尺光栅 2.指示光栅3.光电元件 4.光源 光栅传感器由光源、透镜、光栅副（主光栅
22、，也光源、透镜、光栅副（主光栅，也称标尺光栅和指示光栅）称标尺光栅和指示光栅）和和光电接收元件光电接收元件组成。光栅是利用光的透射、衍射现象制成的光电检测元件，它主要由标尺光栅（主光栅）和光栅读数头两部分组成。通常，标尺光栅固固定定在机床的活动活动部件上(如工作台或丝杠)，光栅读数头安装在机床的固定固定部件上(如机床底座)，二者随着工作台的移动而相对移动。在光栅读数头中，安装着一个指示光栅，当光栅读数头相对于标尺光栅移动时，指示光栅便在标尺光栅上移动。当安装光栅时，要严格保证标尺光栅和指示光栅的平行度以及保证标尺光栅和指示光栅的平行度以及两者之间的间隙两者之间的间隙(一般取0.05mm或0.1
23、mm)要求。光栅副：指示光栅主光栅光栅副：指示光栅主光栅 (标尺光栅）标尺光栅）a+b=W称为光栅的称为光栅的栅距栅距（或光栅常数）通常情况下，（或光栅常数）通常情况下，a=b=W/2(注：注：a为刻线宽度，即透光的明线，为刻线宽度，即透光的明线，b为为刻线间的缝隙宽度，刻线间的缝隙宽度，即不透光的暗线即不透光的暗线)。同一个光栅元件，其标尺光栅和指示光栅同一个光栅元件，其标尺光栅和指示光栅的线纹密度相同的线纹密度相同。光栅传感器光栅传感器光源光源钨丝灯泡：钨丝灯泡：输出功率较大，工作范围较宽（-40到+130）与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时，使用寿命将降低使用寿命
24、将降低。半导体发光器件半导体发光器件:转换效率高，响应特征快速转换效率高，响应特征快速。如砷化镓发光二极管，与硅光敏三极管相结合，转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns，可以使光源工作在触发状态，从而减小功耗和热耗散。光电元件光电元件 包括有包括有光电池光电池和和光敏三极管光敏三极管等部分。等部分。在采用固态光源时，需要选用敏感波长与光源相在采用固态光源时，需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件，以获得高的转换效率。接近的光敏元件，以获得高的转换效率。在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放在光敏元件的输出端，常接有放大器，通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的
25、影响。大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。二、工作原理二、工作原理 当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一角度成一角度来放置来放置两光栅尺时，必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。在光源的照两光栅尺时，必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。在光源的照射下，交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠，因而遮光面积最射下，交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠，因而遮光面积最小，挡光效应最弱，光的累积作用使得这个区域出现小，挡光效应最弱，光的累积作用使得这个区域出现亮带亮带。相反，。相反，距交叉点较远的区域，因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变距交叉点较远的区域，
26、因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变得越来越少，不透明区域面积逐渐变大，即遮光面积逐渐变大，使得越来越少，不透明区域面积逐渐变大，即遮光面积逐渐变大，使得挡光效应变强，只有较少的光线能通过这个区域透过光栅，使这得挡光效应变强，只有较少的光线能通过这个区域透过光栅，使这个区域出现个区域出现暗带暗带。这些与光栅线纹这些与光栅线纹几乎几乎垂直，相间出现的亮、暗带垂直，相间出现的亮、暗带就是就是莫尔条纹莫尔条纹。莫尔条纹（莫尔条纹（MoireMoire）条纹宽度：条纹宽度：WWB)2/sin(2W-栅距，栅距，a-线宽，线宽，b-缝宽缝宽W=a+b，a=b=W/2 均匀刻线均匀刻线主光栅主光栅指示光
27、栅指示光栅夹角夹角明暗相间条纹明暗相间条纹莫尔条纹莫尔条纹移动移动莫尔条纹形成的原理2tantan横向莫尔条纹的斜率横向莫尔条纹的斜率莫尔条纹间距莫尔条纹间距WWBCABBH2sin22sin莫尔条纹的宽度莫尔条纹的宽度BH由由光栅常数与光栅夹角决定光栅常数与光栅夹角决定 3 莫尔条纹技术的特点莫尔条纹技术的特点方向性：方向性：垂直于角平分线，当夹角很小时垂直于角平分线，当夹角很小时 与光栅移动方向垂直与光栅移动方向垂直同步性：同步性：光栅移动一个栅距光栅移动一个栅距 莫尔条纹移动莫尔条纹移动一个间距一个间距方向对应方向对应放大性：放大性：夹角夹角很小很小 BW 光学放大光学放大 提高灵敏度提
28、高灵敏度可调性：可调性：夹角夹角 条纹间距条纹间距B 灵活灵活准确性：准确性：大量刻线大量刻线 误差平均效应误差平均效应 克服克服个别个别/局部误差局部误差 提高精度提高精度 3 莫尔条纹技术的特点1.调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了调整夹角即可得到很大的莫尔条纹的宽度，起到了放大作用放大作用，又提高了测量精度。又提高了测量精度。2.莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信号作进一莫尔条纹的光强度变化近似正弦变化，便于将电信号作进一步细分，即采用步细分，即采用“倍频技术倍频技术”。这样可以提高测量精度或可。这样可以提高测量精度或可以采用较粗的光栅。以采用较粗的光栅。3.光电元件
29、对于光栅刻线的误差起到了光电元件对于光栅刻线的误差起到了平均作用平均作用。刻线的局部。刻线的局部误差和周期误差对于精度没有直接的影响。因此可得到比光误差和周期误差对于精度没有直接的影响。因此可得到比光栅本身的刻线精度高的测量精度。这是用光栅测量和普通标栅本身的刻线精度高的测量精度。这是用光栅测量和普通标尺测量的主要差别。尺测量的主要差别。4.4.莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。两光栅莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。两光栅尺相对移动一个栅距，莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽尺相对移动一个栅距，莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽度度W W，其方向与两光栅尺相对移动的方向垂
30、直，且当两光栅，其方向与两光栅尺相对移动的方向垂直，且当两光栅尺相对移动的方向改变时，莫尔条纹移动的方向也随之改变。尺相对移动的方向改变时，莫尔条纹移动的方向也随之改变。莫尔条纹与标尺光栅移动方向的关系莫尔条纹与标尺光栅移动方向的关系标尺光标尺光栅相对栅相对指示光指示光栅的转栅的转角方向角方向标尺光标尺光栅移动栅移动方向方向莫尔条莫尔条纹移动纹移动方向方向顺时针方顺时针方向向向左向左向上向上向右向右向下向下逆时针方逆时针方向向向左向左向下向下向右向右向上向上 通过光电元件，可将莫尔条纹移动时光强的变化通过光电元件，可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号，如图所示。转换为近似正弦
31、变化的电信号，如图所示。U0UW/2oUm2W3W/2WxWxUUUm2sin0 u0输出信号中的直流分量；输出信号中的直流分量；um输出正弦信号的幅值；输出正弦信号的幅值；x两光栅间的瞬时相对位移。两光栅间的瞬时相对位移。即通过用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则即通过用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化，则光信光信号被转换为电信号号被转换为电信号(电压或电流电压或电流)输出。输出电压信号的幅值为光栅输出。输出电压信号的幅值为光栅位移量位移量x的函数。的函数。WxUUUm2sin0将该电压信号放大、整形使其变为将该电压信号放大、整形使其变为方波，经方波，经微分电路微分电路转换成脉冲信
32、号，再转换成脉冲信号，再经过经过辨向电路辨向电路和可逆计数器计数，则可和可逆计数器计数，则可在显示器上以数字形式实时地显示出位在显示器上以数字形式实时地显示出位移量的大小。移量的大小。位移量为脉冲数与栅距的乘积。测位移量为脉冲数与栅距的乘积。测量分辨率等于栅距。当栅距为单位长度量分辨率等于栅距。当栅距为单位长度时，所显示的脉冲数则直接表示出位移时，所显示的脉冲数则直接表示出位移量的大小量的大小。细分技术细分技术提高分辨力方法提高分辨力方法：在选择合适的光栅栅距的前提下，用内插法把莫尔条纹间距进行“细分”，提高计数脉冲的频率(故又称倍频倍频)。细分细分就是在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲
33、，而是输出若干个脉冲输出若干个脉冲，以减小脉冲当量提高分辨力。细分方法有机械细分机械细分和电子细分电子细分两类。感应同步器是利用电磁感应电磁感应原理把两个平面两个平面绕组间的位移量转换成电信号绕组间的位移量转换成电信号的一种位移传感器。按测量机械位移的对象不同可分为直直线型线型和圆盘型圆盘型两类，分别用来检测直线位移直线位移和角位移角位移。由于它成本低，受环境温度影响小，测量精度高，且为非接触测量非接触测量，所以在位移检测中得到广泛应用，特别是在各种机床的位移数字显示、自动定位和数控系统中。3.2.2 感应同步器感应同步器1.感应同步器结构感应同步器结构二、感应同步器二、感应同步器4l 包括包
34、括定尺定尺和和滑尺滑尺，用制造印刷线路板的腐蚀方，用制造印刷线路板的腐蚀方法在定尺和滑尺上制成节距法在定尺和滑尺上制成节距T(一般为一般为2mm)的方的方齿形线圈。定尺绕组是连续的，滑尺上分布着两齿形线圈。定尺绕组是连续的，滑尺上分布着两个励磁绕组，分别称为个励磁绕组，分别称为正弦绕组正弦绕组和和余弦绕组余弦绕组。当。当正弦绕组与定尺绕组相位相同时，余弦绕组与定正弦绕组与定尺绕组相位相同时，余弦绕组与定尺绕组尺绕组错开错开1/4节距（节距（电相位差电相位差90）。滑尺和。滑尺和定 尺 相 对 平 行 安 装，其 间 保 持 一 定 间 隙定 尺 相 对 平 行 安 装，其 间 保 持 一 定
35、间 隙（0.050.2mm）。）。二、感应同步器二、感应同步器直线型感应同步器定尺、直线型感应同步器定尺、滑尺的结构滑尺的结构在滑尺的绕组中，施加频率为在滑尺的绕组中，施加频率为f（一般为（一般为210kHz）的交变电流时，定尺绕组感应出频率为的交变电流时，定尺绕组感应出频率为f的感应电的感应电动势。感应电动势的大小与滑尺和定尺的相对位动势。感应电动势的大小与滑尺和定尺的相对位置有关。置有关。设正弦绕组供电电压为设正弦绕组供电电压为Us，余弦绕组供电电压为，余弦绕组供电电压为Uc，移动距离为，移动距离为x，节距为，节距为T，则正弦绕组单独供，则正弦绕组单独供电时，在定尺上感应电势为电时，在定尺
36、上感应电势为2.感应同步器的工作原理感应同步器的工作原理cos360cos2ssKUTxKUUo余弦绕组单独供电所产生的感应电势为余弦绕组单独供电所产生的感应电势为 二、感应同步器二、感应同步器sin360sin2ccKUTxKUUosincos222csKUKUUUUTxTx2360)(o 根据对滑尺绕组供电方式的不根据对滑尺绕组供电方式的不同，以及对输出电压检测方式的不同，以及对输出电压检测方式的不同，感应同步器的测量方式有同，感应同步器的测量方式有鉴相鉴相式式和和鉴幅式鉴幅式两种工作法。两种工作法。3.测量方法测量方法(1)鉴相式工作法鉴相式工作法 滑尺的两个励磁绕组分别施加相同频率和相
37、同滑尺的两个励磁绕组分别施加相同频率和相同幅值，但幅值，但相位相差相位相差90o的两个电压，设的两个电压，设二、感应同步器二、感应同步器tmsUUsintUUmccos222UUU)sin(sincoscossintKUtKUtKUmmmTxo360二、感应同步器二、感应同步器2.鉴幅工作法鉴幅工作法 在滑尺的两个励磁绕组上分别施加相同频率和在滑尺的两个励磁绕组上分别施加相同频率和相同相位，但相同相位，但幅值不等幅值不等的两个交流电压：的两个交流电压：tmUUssinsintmUUcsincostKUUUUmsin)sin(2224.感应同步器的应用直线式感应同步器常常会遇到有关直线式感应同步
38、器常常会遇到有关接长的问题接长的问题。例如，当感。例如，当感应同步器用于检测机床工作台的位移时，由于行程较长，一应同步器用于检测机床工作台的位移时，由于行程较长，一块感应同步器常难以满足检测长度的要求，需要将两块或多块感应同步器常难以满足检测长度的要求，需要将两块或多块感应同步器的定尺拼接起来，即块感应同步器的定尺拼接起来，即感应同步器接长。感应同步器接长。感应同步器的定尺和滑尺尺座分别安装在机床上两个相对移感应同步器的定尺和滑尺尺座分别安装在机床上两个相对移动的部件上（如工作台和床身），当工作台移动时，滑尺在动的部件上（如工作台和床身），当工作台移动时，滑尺在定尺移动。滑尺和定尺要用防护罩罩
39、住，以防止铁屑、油污定尺移动。滑尺和定尺要用防护罩罩住，以防止铁屑、油污和切割液等东西落到器件上，从而影响正常工作。由于感应和切割液等东西落到器件上，从而影响正常工作。由于感应同步器的检测精度比较高，同步器的检测精度比较高，故对安装有一定的要求，如在安故对安装有一定的要求，如在安装时要保证定尺安装面与机床导轨面的平行度要求装时要保证定尺安装面与机床导轨面的平行度要求，如这两，如这两个面不平行，将引起定、滑尺之间的间隙变化，从而影响检个面不平行，将引起定、滑尺之间的间隙变化，从而影响检测灵敏度和检测精度。测灵敏度和检测精度。磁栅是一种利用磁栅是一种利用电磁特性和录磁原理电磁特性和录磁原理对位移进
40、行检测对位移进行检测的装置。它一般分为的装置。它一般分为磁性标尺磁性标尺、拾磁磁头、拾磁磁头以及以及检测电检测电路路三部分。在磁性标尺上，有用录磁磁头录制的具有三部分。在磁性标尺上，有用录磁磁头录制的具有一定波长的方波或正弦波信号。检测时，拾磁磁头读一定波长的方波或正弦波信号。检测时，拾磁磁头读取磁性标尺上的方波或正弦波电磁信号，并将其转化取磁性标尺上的方波或正弦波电磁信号，并将其转化为电信号，根据此电信号，实现对位移的检测。为电信号，根据此电信号，实现对位移的检测。磁栅按其结构特点可分为磁栅按其结构特点可分为直线式直线式和和角位移式角位移式，分别用，分别用于于长度长度和和角度角度的检测。的检
41、测。磁栅具有精度高、复制简单以及安装调整方便等优点，磁栅具有精度高、复制简单以及安装调整方便等优点，而且在油污、灰尘较多的工作环境使用时，仍具有较而且在油污、灰尘较多的工作环境使用时，仍具有较高的稳定性。磁栅作为检测元件可用在数控机床和其高的稳定性。磁栅作为检测元件可用在数控机床和其他测量机上。他测量机上。3.2.3 磁栅位移传感器磁栅位移传感器1.磁栅式位移传感器的结构磁栅式位移传感器的结构 三、磁栅位移传感器三、磁栅位移传感器输 出 信 号励 磁 电 源654SS3NNSSS7NN1SNN200abx磁性标尺磁性标尺 磁尺是在非导磁材料如铜、不锈钢、玻璃或其它合金材料磁尺是在非导磁材料如铜
42、、不锈钢、玻璃或其它合金材料的基体上，涂敷、化学沉积或电镀上一层的基体上，涂敷、化学沉积或电镀上一层1020m厚的硬厚的硬磁性材料（如磁性材料（如Ni-Co-P或或Fe-Co合金），并在它的表面上录合金），并在它的表面上录制相等节距周期变化的磁信号。磁信号的节距一般为制相等节距周期变化的磁信号。磁信号的节距一般为0.05、0.1、0.2、1mm。为了防止磁头对磁性膜的磨损，通常在磁。为了防止磁头对磁性膜的磨损，通常在磁性膜上涂一层性膜上涂一层12m的耐磨塑料保护层。的耐磨塑料保护层。按磁性标尺基体的形状，磁栅可分为按磁性标尺基体的形状，磁栅可分为实体式磁栅、带状实体式磁栅、带状磁栅、线状磁栅磁
43、栅、线状磁栅和和回转形磁栅回转形磁栅。前三种磁栅用于。前三种磁栅用于直线位移直线位移测测量，后一种用于量，后一种用于角位移测量角位移测量。各种磁尺结构形状见图所示。各种磁尺结构形状见图所示。三、磁栅位移传感器三、磁栅位移传感器各种磁尺结构示意图各种磁尺结构示意图（a）实体式磁尺）实体式磁尺（b）带状磁尺）带状磁尺（c）线状磁尺）线状磁尺（d）回转形磁尺）回转形磁尺 拾磁磁头拾磁磁头 拾磁磁头是进行磁电转换拾磁磁头是进行磁电转换的器件，它将磁性标尺上的磁的器件，它将磁性标尺上的磁信号检测出来，并转换成电信信号检测出来，并转换成电信号。磁栅的拾磁磁头号。磁栅的拾磁磁头与一般录与一般录音机上使用的单
44、间隙速度响应音机上使用的单间隙速度响应式磁头不同式磁头不同，它不仅能在磁头，它不仅能在磁头与磁性标尺之间有一定相对速与磁性标尺之间有一定相对速度时拾取信号，而且也能在它度时拾取信号，而且也能在它们相对静止时拾取信号。这种们相对静止时拾取信号。这种磁头叫做磁头叫做磁通响应式磁头磁通响应式磁头，其，其结构如图所示，它的一个明显结构如图所示，它的一个明显的特点就是在它的磁路中设有的特点就是在它的磁路中设有“可饱和铁心可饱和铁心”，并在铁心的并在铁心的可饱和段上绕有两个可产生不可饱和段上绕有两个可产生不同磁通方向的激磁绕组和。同磁通方向的激磁绕组和。三、磁栅位移传感器三、磁栅位移传感器磁通响应式磁头磁
45、通响应式磁头 2.拾磁原理：拾磁原理：在用软磁材料制成的铁芯上绕有两个绕组，一个为在用软磁材料制成的铁芯上绕有两个绕组，一个为励磁绕组励磁绕组，另一个为，另一个为拾磁绕组拾磁绕组，将高频励磁电流通入，将高频励磁电流通入励磁绕组时，当磁头靠近磁尺时在拾磁线圈中感应电励磁绕组时，当磁头靠近磁尺时在拾磁线圈中感应电压为：压为：三、磁栅位移传感器三、磁栅位移传感器txUUsin2sin0 3.测量方式测量方式(1)鉴幅测量方式鉴幅测量方式(振幅式工作方式振幅式工作方式)如前所述，磁头有两组信号输出，将高频载波滤如前所述，磁头有两组信号输出，将高频载波滤掉后则得到掉后则得到相位差为相位差为/2的两组信号
46、的两组信号 两组磁头相对于磁尺每移动一个节距发出一个两组磁头相对于磁尺每移动一个节距发出一个正（余）弦信号，经信号处理后可进行位置检测。正（余）弦信号，经信号处理后可进行位置检测。这种方法的检测线路比较简单，但分辨率受到录这种方法的检测线路比较简单，但分辨率受到录磁节距磁节距的限制，若要提高分辨率就必须采用较的限制，若要提高分辨率就必须采用较复杂的信频电路，复杂的信频电路，所以不常采用所以不常采用。三、磁栅位移传感器三、磁栅位移传感器xUU2sin01xUU2cos022.鉴相测量方式鉴相测量方式将将一组磁头的励磁信号移相一组磁头的励磁信号移相90，则得到输出电，则得到输出电压为压为在求和电路
47、中相加，则得到磁头总输出电压为在求和电路中相加，则得到磁头总输出电压为三、磁栅位移传感器三、磁栅位移传感器txUUcos2sin01txUUsin2cos02txUU2sin0 3.3 角位移检测传感器角位移检测传感器一、旋转变压器一、旋转变压器 旋转变压器是一种利用旋转变压器是一种利用电磁感应原理电磁感应原理将转角变换为电压信将转角变换为电压信号的传感器。由于它结构简单，动作灵敏，对环境无特殊要号的传感器。由于它结构简单，动作灵敏，对环境无特殊要求，输出信号大，抗干扰好，因此被广泛应用于机电一体化求，输出信号大，抗干扰好，因此被广泛应用于机电一体化产品中。产品中。二、光电编码器二、光电编码器
48、 光电编码器是一种光电编码器是一种码盘式角度码盘式角度数字检测元件数字检测元件。它有两种。它有两种基本类型：一种是增量式编码器，一种是绝对式编码器。基本类型：一种是增量式编码器，一种是绝对式编码器。增量式编码器增量式编码器具有结构简单、价格低、精度易于保证等具有结构简单、价格低、精度易于保证等优点，所以目前采用最多。优点，所以目前采用最多。绝对式编码器绝对式编码器能直接给出对应于每个转角的数字信息，能直接给出对应于每个转角的数字信息，便于计算机处理，但当进给数大于一转时，须作特别处理，便于计算机处理，但当进给数大于一转时，须作特别处理，而且必须用减速齿轮将两个以上的编码器连接起来，组成多而且必
49、须用减速齿轮将两个以上的编码器连接起来，组成多级检测装置，使其结构复杂、成本高。级检测装置，使其结构复杂、成本高。编码器是将机械传动的模拟量转换成旋转角度的数字信号，进行角位移检测角位移检测的传感器。编码器的种类很多，根据检测原理，它可分为电磁式、电刷式、电磁感应式及光电式等。光电编码器根据其刻度方法及信号输出形式，分为增量式增量式编码器和绝对式绝对式编码器。光电编码器光电编码器1、增量式光电编码器结构、增量式光电编码器结构图3-2 增量式光电编码器1.增量式增量式编码器结构编码器结构二、光电编码器二、光电编码器2.增量式编码器工作原理增量式编码器工作原理鉴向盘鉴向盘与与主码盘主码盘平行，并刻
50、有平行，并刻有a、b两组透明检测窄缝，它们彼此两组透明检测窄缝，它们彼此错开错开1/4节距节距，以使，以使A、B两个光两个光电变换器的输出信号在相位上相电变换器的输出信号在相位上相差差90。工作时，鉴向盘静止不。工作时，鉴向盘静止不动，主码盘与转轴一起转动，光动，主码盘与转轴一起转动，光源发出的光投射到主码盘与鉴向源发出的光投射到主码盘与鉴向盘上。当主码盘上的不透明区正盘上。当主码盘上的不透明区正好与鉴向盘上的透明窄缝对齐时，好与鉴向盘上的透明窄缝对齐时，光线被全部遮住，光电变换器输光线被全部遮住，光电变换器输出电压为最小；当主码盘上出电压为最小；当主码盘上二、光电编码器二、光电编码器的透明区
