1、HiPIMS电源系统采购需求一、采购需求采购高功率脉冲磁控溅射电源系统一套，包括HiPIMS电源1台，同型号偏压电源1台。该电源系统的两台电源需要同时具备高功率脉冲输出模式、双极脉冲输出模式和单极脉冲输出模式三种输出模式，并且可以按照实验需要进行三种模式两两之间组合输出。偏压电源能够实现与HiPIMS电源信号的同步输出，无相位差。二、技术指标要求1、偏压电源与HiPIMS电源能够同步输出，满足工艺可重复性和可靠性的要求，同时偏压电源也需具备高功率脉冲输出模式、双极脉冲输出模式和单极脉冲输出模式三种输出模式；2、电源功率足够大，额定功率应在10 kW以上，以满足超硬薄膜的制备需求。根据实验需要决
2、定选取电源额定功率为15 kW，配套偏压电源额定功率15 kW。基本参数项参数值输出功率1MW （峰值）15kW（额定）输出峰值电压1000V（最大值）输出峰值电流1000A（最大值）脉冲频率1000 A ( max.) = 2 kHz500 A ( max.) = 12.5 kHz150 A ( max.) = 25 kHz工作模式功率 ，电压，电流（推荐）触发输入 5V BNC触发输出 5V BNC打火处理灭弧时间：2s弧等级调整：（01000A）弧延迟时间：30s32000s输出模式高能脉冲输出；双极脉冲输出；单极脉冲输出（偏压）认证CE二、 售后服务及培训要求售后服务是产品的延续，是产
3、品正常使用和发挥效能的保证。为保证产品的高效、可靠的运行、将设备故障的影响降低到最小，供货商需提供以下售后服务。（一） 售后服务保证1.供货商承诺按照招标文件的要求提供售后服务。2.售后服务及时化：在规定的保修期间，维护、维修以及质量问题出现异议，供货商能在收到客户方函、电12小时内做出问题回馈，并能给出建设性的建议。正常情况下在48小时内达到现场，并争取及时排除故障，确保产品正常使用。3.售后服务规范化：质保期内提供定期（2个月1次）的电话访问服务，供货商需根据实际情况采纳客户所提出的建议和意见；质保期满后产品出现故障，将协助客户按生产厂家提供的特约维修服务标准进行服务。4.质保期内，若机器
4、出现故障，需要返厂维修，供货商需协调备用电源供客户使用。（二）售后服务时限自产品验收合格之日起，进入免费质保期，期限为2年（24个月）。（三）售后服务的保修范围保修范围：按承诺的保修条款执行保修。（四）售后服务的费用 两年的质保期内，免费提供售后服务。两年质保期满后，只收取工本费（材料费、交通费、人工费）。（五） 培训计划培训的目标是使每个参加培训的人员明知电源的构成和原理，熟悉电源功能，能够熟练的操作电源并能排除常见故障。（六） 培训的内容本电源开始调试后，供货商需为客户的操作人员提供培训。培训前，将该电源的培训资料发放给客户的操作人员，培训资料包括基本操作、故障排除、维护说明等项目。（七） 提供的培训包括以下内容1. 电源硬件、软件组成及功能特点；2. 电源的连接方式和工作原理；3. 电源常见问题的检修和日常维护；（八）培训的地点和时间培训地点由双方协商在合同中决定，培训时间为安装调试前2天内完成。
