PECVD等离子的基本原理课件.pptx

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1、 PECVD PECVD的原理及设备结构的原理及设备结构3SiH4+4NH3 Si3N4+12H2PECVD设备结构示意图冷却系统示意图CESAR控制电脑示意图控制电脑示意图运行顺序控制控制界面数据资料记录温度特气真空晶片装载亮点色斑镀膜时间太短水纹印色斑色差要正直地生活,别想入非非!要诚实地工作,才能前程远大。23.5.1923.5.19Friday,May 19,2023最困难的事情就是认识自己。2:25:352:25:352:255/19/2023 2:25:35 AM我不能说我不珍视这些荣誉,并且我承认它很有价值,不过我却从来不曾为追求这些荣誉而工作。23.5.192:25:352:2

2、5May-2319-May-23自觉心是进步之母,自贱心是堕落之源,故自觉心不可无,自贱心不可有。2:25:352:25:352:25Friday,May 19,2023聪明出于勤奋,天才在于积累。23.5.1923.5.192:25:352:25:35May 19,2023不怕路长,只怕志短。2023年5月19日上午2时25分23.5.1923.5.19生活就是一种积累,你若储存的温暖越多,你的生活就会越阳光明媚,你若储存太多寒凉,你的生活就会阴云密布。2023年5月19日星期五上午2时25分35秒2:25:3523.5.19强中自有强中手,莫向人前满自夸。警世通言2023年5月上午2时25分23.5.192:25May 19,2023没有口水与汗水,就没有成功的泪水。2023年5月19日星期五2时25分35秒2:25:3519 May 2023细节的不等式意味着1%的错误会导致100%的错误。上午2时25分35秒上午2时25分2:25:3523.5.19时穷节乃现,一一垂丹青。宋文天祥。23.5.1923.5.192:252:25:352:25:35May-23“不可能”只存在于蠢人的字典里。2023年5月19日星期五2时25分35秒Friday,May 19,2023。23.5.192023年5月19日星期五2时25分35秒23.5.19谢谢各位!谢谢各位!

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