真空技术

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23、真空技术真空技术林庆彬林庆彬前言n1643年,意大利物理学家托里折利演示了著名的大气压实验,揭示了真空这一物理状态.n为了使被研究的样品不被周围气氛所污染,获取原子清洁的表面,薄膜制备和衬底表面形成过程往往是在真空或超高真空中进行的.目前。

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