第八章第八章 扫描电子显微分析扫描电子显微分析8.1 扫描电镜的基本原理、构造和性能扫描电镜的基本原理、构造和性能8.2 扫描电镜在材料研究中的应用扫描电镜在材料研究中的应用8.3 波谱仪结构及工作原理波谱仪结构及工作原理8.4 能谱仪结构及工作原理能谱仪结构及工作原理8.5 电子探针分析方法及微区成分分析技术电子探针分析方法及微区成分分析技术概概 述述主要分为电子光学系统和信号收集和显示系统主要分为电子光学系统和信号收集和显示系统1、电子光学系统、电子光学系统、该系统由电子枪、电磁透镜、光阑、样品室等组成。、该系统由电子枪、电磁透镜、光阑、样品室等组成。如如 图图8-2所示。所示。、本系统的作用与透射电、本系统的作用与透射电 镜不同，仅仅用来获得扫描镜不同，仅仅用来获得扫描电子束。扫描电子束的特点：电子束。扫描电子束的特点： 亮度高；亮度高； 光斑直径小。光斑直径小。、采用钨丝阴极发射的电子光源扫描电子束一般可达、采用钨丝阴极发射的电子光源扫描电子束一般可达 20-50m，而采用六硼化镧为，而采用六硼化镧为20m左右，比前者小。左右，比前者小。4）、复合材料断口）、复合材料断口2311021. 1Z1、
