1、管式管式PECVD初步讲解初步讲解南京华伯仪器科技有限公司July 31,2022第1页，共20页。目录一一.PECVD技术技术二二.管式管式PECVD基本原理基本原理三三.管式管式PECVD基本组成基本组成1.电气控制系统电气控制系统2.加热系统加热系统3.冷却系统冷却系统4.射频系统射频系统5.真空系统真空系统6.气路系统气路系统7.石墨舟加载系统石墨舟加载系统July 31,20222华伯仪器科技有限公司工程部内部培训第2页，共20页。July 31,20223华伯仪器科技有限公司工程部内部培训一.PECVD技术 PECVD =Plasma Enhanced Chemical Vapor
2、 Deposition 即“等离子增强的化学气相沉积”，是一种化学气相沉积，其它的有HWCVD，LPCVD，MOCVD等。PECVD是借助微波或射频射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。第3页，共20页。July 31,20224华伯仪器科技有限公司工程部内部培训 Whats Plasma?什么是等离子体？地球上，物质有三态，即：固，液，气。其共同点是由原子或分子组成，即基本单元是原子和分子，且为电中性。等离子体：气体在一定条件下受到高能激发，发生电离，部分外层电子脱离原子核，形成电子、正离子和中性粒子混合组成
3、的一种形态，这种形态就称为等离子态，即第四态。等离子体从宏观来说也是电中性，但是在局部可以为非电中性。一.PECVD技术第4页，共20页。July 31,20225华伯仪器科技有限公司工程部内部培训PECVD技术原理:利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。PECVD方法区别于其它CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生
4、成活性很高的各种化学基团，因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温实现。一.PECVD技术第5页，共20页。July 31,20226华伯仪器科技有限公司工程部内部培训 特点：PECVD的一个基本特征是实现了薄膜沉积工艺的低温化（450）。因此带来的好处：节省能源，降低成本 提高产能 减少了高温导致的硅片中少子寿命衰减一.PECVD技术第6页，共20页。July 31,20227华伯仪器科技有限公司工程部内部培训 其它方法的沉积温度：APCVD常压CVD，700-1000 LPCVD低压CVD,750,0.1mbar对比 PECVD 300-45
5、0，0.1mbar一.PECVD技术第7页，共20页。July 31,20228华伯仪器科技有限公司工程部内部培训二.管式PECVD基本原理第8页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训9二.管式PECVD基本原理第9页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训10三.管式PECVD基本组成1.电气控制系统Tube 1Tube 2Tube3Tube 4Tube 1Tube 2Tube3Tube 4第10页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训11三.管式PECVD基本组成2.加热系统第11页，共20页。J
6、uly 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训12三.管式PECVD基本组成3.冷却系统第12页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训13三.管式PECVD基本组成4.射频系统第13页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训14三.管式PECVD基本组成5.真空系统第14页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训15三.管式PECVD基本组成5.真空系统第15页，共20页。第16页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训17三.管式PECVD基本组成6.气路系统第17页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训18三.管式PECVD基本组成7.石墨舟加载系统第18页，共20页。July 31,2022华伯仪器科技有限公司工程部内部培训19三.管式PECVD基本组成7.石墨舟加载系统第19页，共20页。Thank You !HBI工程部31 July 2022第20页，共20页。
