1、产品工程师认证讲稿预制棒与光纤生产技术 长飞光纤核心技术:生产工艺生产工艺 PCVD lathePCVDSiCl4+O2 SiO2+2Cl2氧气氧气+金属金属卤化物蒸气卤化物蒸气石英衬管石英衬管形成粉末形成粉末粉末沉积粉末沉积沉积玻璃层沉积玻璃层MCVDHe/Cl2烧结炉烧结炉多孔预制棒多孔预制棒喷灯喷灯供气系统供气系统VAD排气排气谐振腔谐振腔等离子体等离子体SiCl4+GeCl4+C2F6+O2石英管石英管真空泵真空泵磁控管磁控管PCVD炉体炉体燃料喷灯喷灯多孔预制棒多孔预制棒基棒基棒干燥气体干燥气体纯净气体纯净气体烧结炉烧结炉OVD氧气氧气+金属卤化物蒸气金属卤化物蒸气SiCl4+GeC
2、l4+C2F6+O2炉体炉体Furnace(1200)谐振腔谐振腔 Resonator等离子体等离子体 Plasma石英管石英管Silica tube真空泵真空泵 Pumping system磁控管磁控管 MagnetronPCVD 工 艺 示 意 图生生产产工工艺艺制制造造商商优优点点缺缺点点结结论论PCVDPOF,YOFC1.沉积层薄2.工艺控制性强3.折射率剖面精确4.原材料利用率高1.原料要求纯度高2.沉积速率低擅长制造纤芯MCVDLucent1.投资少2.操作运行较容易3.工艺控制性好1.原料利用率低2.折射率剖面不够精确擅长制造包层,纤芯制造仅次于PCVDOVDCorning1.沉
3、积速率高2.预制棒体积大3.原料纯度要求较低4.生产率高1.折射率剖面粗糙2.原料利用率低擅长制造包层VADJapanNTT1.沉积速率高2.预制棒体积大3.原料纯度要求较低4.生产率高1.折射率剖面粗糙2.原料利用率低擅长制造包层原材料利用率高原材料利用率高 四氯化硅四氯化硅SiCl4 100%四氯化锗四氯化锗GeCl4 85%氟氟C2F6 90%节约原材料,降低成本,有利环保节约原材料,降低成本,有利环保 沉积层数沉积层数最最高达高达 3000 层,可精确控制折射层,可精确控制折射率的分布率的分布 PCVD 工艺的优势工艺的优势(1)生产出世界一流水平的高带宽多模光纤,生产出世界一流水平的
4、高带宽多模光纤,可良好地对各类光纤的色散进行控制可良好地对各类光纤的色散进行控制 特别适合生产复杂结构的单模光纤特别适合生产复杂结构的单模光纤 不需不需 P2O5掺杂,有利于掺杂,有利于 1550 nm的衰减的衰减 对氢损的影响不敏感对氢损的影响不敏感PCVDPCVD 工艺的优势工艺的优势-2-2PCVD 工艺的优势工艺的优势(2)*反应机理SiCl4+O2 SiO2+2Cl2GeCl4+O2 GeO2+2Cl2*优点*沉积层非常薄*工艺控制性强*折射率剖面精确*原材料利用率高PCVD PCVD 沉积沉积熔缩熔缩 经PCVD沉积好的管子在熔缩车床上熔缩成一实心预制棒石英管石英管喷灯喷灯T=2200PCVD沉积层沉积层芯棒测试与套棒芯棒测试与套棒 芯棒测试芯棒测试:套棒:熔缩好的芯棒放入套管中做为成品预制棒以备拉丝。拉丝拉丝 预制棒经拉丝,被拉成125m 粗细的光纤,并涂上二层树脂以保护光纤的强度筛选筛选 为保证成品光纤有足够的强度,光纤在筛选机上被施以一定的张力进行强度筛选光纤的测试与包装光纤的测试与包装 经过强度试验后有商业段长光纤进行几何与光学性能的测试小结:长飞光纤生产小结:长飞光纤生产全过程全过程PCVD 熔缩芯棒测试套棒筛选成品包装光纤测试拉丝