1、2021/3/81第2章 扫描探针显微镜(SPM)2.1.1 扫描隧道显微镜发明前的微观形貌检测技术 任何一项发明都不是凭空产生的，都是在前面的工作的基础上的进化。任何一项发明都不是凭空产生的，都是在前面的工作的基础上的进化。扫描隧道显微镜也扫描隧道显微镜也不例外。扫描隧道显微镜是用来检测微观形貌的，在其发明以前，就有几种微观形貌检测技术不例外。扫描隧道显微镜是用来检测微观形貌的，在其发明以前，就有几种微观形貌检测技术了，只是分辨率较低。了，只是分辨率较低。表面微观形貌的测量，从原理上可以分为两类：表面微观形貌的测量，从原理上可以分为两类：第一类是光成像，包括光折射放大成像和光干涉成像。第一类
2、是光成像，包括光折射放大成像和光干涉成像。光折射放光折射放大成像检测方法的代表是光学显微镜和透射电子显微镜；光干涉大成像检测方法的代表是光学显微镜和透射电子显微镜；光干涉成像法的代表是光干涉显微镜和成像法的代表是光干涉显微镜和TOPO移相干涉仪。移相干涉仪。第二类是对第二类是对试件表面进行扫描，逐点检测，从而获得表面微观形貌的信息，试件表面进行扫描，逐点检测，从而获得表面微观形貌的信息，这一类检测方法的代表是表面轮廓仪和扫描电子显微镜（这一类检测方法的代表是表面轮廓仪和扫描电子显微镜（SEM）2.1 扫瞄隧道显微镜（扫瞄隧道显微镜（STM）2021/3/82 光学显微镜是在光学放大镜基础光学显
3、微镜是在光学放大镜基础上发明的，放大镜的物体形貌分辨率上发明的，放大镜的物体形貌分辨率可达到可达到0.1mm。1665年发明了光学显年发明了光学显微镜，它可将被测物体放大数百倍。微镜，它可将被测物体放大数百倍。光学显微镜经过多次改进，现在的放光学显微镜经过多次改进，现在的放大倍数达到大倍数达到1250倍。如果再采用油浸倍。如果再采用油浸镜头或用紫外光，放大倍数还能在提镜头或用紫外光，放大倍数还能在提高一些。光学显微镜使用方便，应用高一些。光学显微镜使用方便，应用广泛，但受光波波长的限制，放大倍广泛，但受光波波长的限制，放大倍数无法再提高。数无法再提高。2021/3/83 TEM出现在出现在20
4、世纪世纪30年代，到年代，到50年代进入实用阶段。透射电子显微镜和光学显微镜的原理年代进入实用阶段。透射电子显微镜和光学显微镜的原理极为相似，只是用波长极短的电子束代替了可见光线，用静电或磁透镜代替光学玻璃透镜，最极为相似，只是用波长极短的电子束代替了可见光线，用静电或磁透镜代替光学玻璃透镜，最后在荧光屏上成像。后在荧光屏上成像。TEM的放大倍数极高，点分辨率可达的放大倍数极高，点分辨率可达0.3nm，线分辨率可达，线分辨率可达0.144nm，已达，已达原子级分辨率。用原子级分辨率。用TEM观察物体内部显微结构时，可看到原子排列的晶格图像，并已观察到某观察物体内部显微结构时，可看到原子排列的晶
5、格图像，并已观察到某些重金属原子的投影图像。用些重金属原子的投影图像。用TEM检测时，试件需放在真空室内。检测时，试件需放在真空室内。TEM是通过电子是通过电子束透过试件而放大成像束透过试件而放大成像的，电子束穿透材料的的，电子束穿透材料的能力不强，故试件必须能力不强，故试件必须做得极薄，加工这种极做得极薄，加工这种极薄的试件有相当难度，薄的试件有相当难度，故故TEM的适用范围有限。的适用范围有限。2021/3/84 用探针对试件表面形貌进行接触测量是一种古老的方法。随着测量技术的提高，现在的测用探针对试件表面形貌进行接触测量是一种古老的方法。随着测量技术的提高，现在的测量表面粗糙度的轮廓仪，
6、分辨率达量表面粗糙度的轮廓仪，分辨率达0.05um以上。为了避免探针尖磨损，用金刚石制造。探针尖以上。为了避免探针尖磨损，用金刚石制造。探针尖曲率半径在曲率半径在0.05um左右，这就限制了测量分辨率的提高，且测量时针尖有一定力压向试件，容左右，这就限制了测量分辨率的提高，且测量时针尖有一定力压向试件，容易划伤试件。易划伤试件。一些新式的轮廓仪一些新式的轮廓仪配备了配备了X、Y双向精密微双向精密微动工作台，探针在试件表动工作台，探针在试件表面进行面进行X、Y双向往复扫双向往复扫描，再用计算机处理信息，描，再用计算机处理信息，可以得到表面微观形貌的可以得到表面微观形貌的三维立体图像。这种轮廓三维
7、立体图像。这种轮廓仪的检测原理和近代的仪的检测原理和近代的STM、SPM和和AFM极为极为相似，只是后者使用了更相似，只是后者使用了更尖锐的探针和更灵敏的探尖锐的探针和更灵敏的探针位移检测方法。针位移检测方法。2021/3/85 SEM从从20世纪世纪60年代开始应用以来，使用日渐广泛。它的工作原理是利用高能量、细聚焦年代开始应用以来，使用日渐广泛。它的工作原理是利用高能量、细聚焦的电子束在试件表面扫描，激发二次放电，利用二次放电信息对试件表面的组织或形貌进行检的电子束在试件表面扫描，激发二次放电，利用二次放电信息对试件表面的组织或形貌进行检测、分析和成像的一种电子光学仪器。测、分析和成像的一
8、种电子光学仪器。SEM的放大倍率在的放大倍率在10-150 000范围内连续可调，试件在范围内连续可调，试件在真空室中可按观察需要进行升降、平移、旋转或倾斜。真空室中可按观察需要进行升降、平移、旋转或倾斜。SEM在普通热钨在普通热钨丝电子枪条件下，分丝电子枪条件下，分辨率为辨率为5-6nm，如用，如用场发射电子枪，分辨场发射电子枪，分辨率可达率可达2-3nm。SEM的景深很大，对表面的景深很大，对表面起伏很大的形貌也能起伏很大的形貌也能得到很好的图像。只得到很好的图像。只是放大倍数较低，达是放大倍数较低，达不到原子级的分辨率。不到原子级的分辨率。2021/3/86 场发射原理在场发射原理在19
9、56年由年由R.Young提出，但直到提出，但直到1971年年R.Young和和J.Ward才提出了应用场发射原理的形貌描绘仪。它在基本原理和操作上，才提出了应用场发射原理的形貌描绘仪。它在基本原理和操作上，是最接近扫瞄隧道显微镜的仪器。探针尖装在顶块上，可由是最接近扫瞄隧道显微镜的仪器。探针尖装在顶块上，可由X向和向和Y向压向压电陶瓷驱动，做电陶瓷驱动，做X向和向和Y向扫描运动。试件装在下面的向扫描运动。试件装在下面的Z向压电陶瓷元件上，向压电陶瓷元件上，由反馈电路控制，保持针尖和试件间的距离。由反馈电路控制，保持针尖和试件间的距离。R.Young使用的针尖曲率使用的针尖曲率半径为几十纳米，
10、针尖和试件间的距离为半径为几十纳米，针尖和试件间的距离为100nm。在试件上加正高压后，。在试件上加正高压后，针尖与试件间产生针尖与试件间产生场发射电流场发射电流。探针在试件表面扫描，可根据场发射电。探针在试件表面扫描，可根据场发射电流的大小，检测出试件表面的形貌。流的大小，检测出试件表面的形貌。R.Young用形貌描绘仪继续进行研用形貌描绘仪继续进行研究，发现当探针尖与试件间距离很近时，较小的外加偏压究，发现当探针尖与试件间距离很近时，较小的外加偏压Vb即可产生隧道即可产生隧道电流，并且隧道电流电流，并且隧道电流Is的大小对距离的大小对距离z极为敏感。他们观察到的极为敏感。他们观察到的Is和
11、和Vb间间为线性关系时，估计针尖为线性关系时，估计针尖-试件间的距离为试件间的距离为1.2nm。可惜他们的研究到此。可惜他们的研究到此为止，虽然已经有了以上发现，但是未在检测试件形貌时利用隧道电流效为止，虽然已经有了以上发现，但是未在检测试件形貌时利用隧道电流效应，于一项重大发明失之交臂，甚为可惜。应，于一项重大发明失之交臂，甚为可惜。2021/3/87 1982年，国际商业机年，国际商业机器公司器公司(IBM)苏黎世研究所苏黎世研究所的的Gerd Binnig和和Heinrich Rohrer及其同事们成功地及其同事们成功地研制出世界上第一台新型研制出世界上第一台新型的表面分析仪器，即扫描的
12、表面分析仪器，即扫描隧道显微镜隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope)，它使人类第一次能够直接它使人类第一次能够直接观察到物质表面上的单个观察到物质表面上的单个原子及其排列状态，并能原子及其排列状态，并能够研究其相关的物理和化够研究其相关的物理和化学特性。因此，它对表面学特性。因此，它对表面物理和化学、材料科学、物理和化学、材料科学、生命科学以及微电子技术生命科学以及微电子技术等研究领域有着十分重大等研究领域有着十分重大的意义和广阔的应用前景。的意义和广阔的应用前景。STM的发明被国际科学界的发明被国际科学界公认为公认为20世纪世纪80年代世界年代世界十大科技成
13、就之一；由于十大科技成就之一；由于这一杰出成就，这一杰出成就，Binnig和和Rohrer获得了获得了1986年诺贝年诺贝尔物理奖。尔物理奖。2021/3/88 在他们的诺贝尔奖讲演中，很遗憾地谈到，假如在他们的诺贝尔奖讲演中，很遗憾地谈到，假如R.Young（场场发射形貌描绘仪的发明者发射形貌描绘仪的发明者）能够及时意识到真空中隧道效应的重要）能够及时意识到真空中隧道效应的重要性，假如他能及时想到缩小针尖与试件表面间的距离，那么性，假如他能及时想到缩小针尖与试件表面间的距离，那么STM公公布发表时的发明人名字就是布发表时的发明人名字就是R.Young了。遗憾的是，他们没有意识了。遗憾的是，他
14、们没有意识到这一点，更没有去缩短那一点微不足道的该死的微小距离，于是到这一点，更没有去缩短那一点微不足道的该死的微小距离，于是他们发明的所谓形貌描绘仪只能永远地在历史上被记载为一种最接他们发明的所谓形貌描绘仪只能永远地在历史上被记载为一种最接近近STM的显微仪器了。令人惋惜的还有，的显微仪器了。令人惋惜的还有，R.Young还曾认真研究改还曾认真研究改进他们的仪器，并试验过一些办法，但收效甚微。他曾一度想到了进他们的仪器，并试验过一些办法，但收效甚微。他曾一度想到了隧道效应，并还讨论了谱图学方向的应用，但唯独没有想到应用到隧道效应，并还讨论了谱图学方向的应用，但唯独没有想到应用到他的形貌描绘以
15、上。仅此一步没有深入下去，就使他们和一项重大他的形貌描绘以上。仅此一步没有深入下去，就使他们和一项重大科技发明失之交臂，而空自叹息。科技发明失之交臂，而空自叹息。2021/3/892021/3/8102021/3/8112021/3/812 由于由于STM具有极高的空间分辨能力具有极高的空间分辨能力(平行方向的分辨率为平行方向的分辨率为0.04nm，垂直方向的分辨率达到，垂直方向的分辨率达到0.01nm)、它的出现标志着、它的出现标志着纳米技术研究的一个最重大的转折，甚至可以说标志着纳米技纳米技术研究的一个最重大的转折，甚至可以说标志着纳米技术研究的正式起步，因为在此之前人类无法直接观察表面上
16、的术研究的正式起步，因为在此之前人类无法直接观察表面上的原子和分子结构，使纳米技术的研究无法深入地进行。原子和分子结构，使纳米技术的研究无法深入地进行。利用利用STM，物理学家和化学家可以研究原子之间的微小，物理学家和化学家可以研究原子之间的微小结合能，制造人造分子；生物学家可以研究生物细胞和染色体结合能，制造人造分子；生物学家可以研究生物细胞和染色体内的单个蛋白质和内的单个蛋白质和DNA分子的结构，进行分子切割和组装手分子的结构，进行分子切割和组装手术；材料学家可以分析材料的晶格和原子结构考察晶体中原术；材料学家可以分析材料的晶格和原子结构考察晶体中原子尺度上的缺陷；微电子学家则可以加工小至
17、原子尺度的新型子尺度上的缺陷；微电子学家则可以加工小至原子尺度的新型量子器件。量子器件。2021/3/813 图是图是STM的基的基本原理图，其主要本原理图，其主要构成有：顶部直径构成有：顶部直径约为约为50100nm的的极细金属针尖极细金属针尖(通常通常是金属钨制的针尖是金属钨制的针尖)，用于三维扫描的三用于三维扫描的三个相互垂直的压电个相互垂直的压电陶瓷陶瓷(Px，Py，Pz)，以及用于扫描和电以及用于扫描和电流 反 馈 的 控 制 器流 反 馈 的 控 制 器(Controller)等。等。2021/3/814 STM的基本原理的基本原理是量子的隧道效应。它利用金属针尖在是量子的隧道效应
18、。它利用金属针尖在样品的表面上进行扫描，并根据量子隧道效应来获得样品表面样品的表面上进行扫描，并根据量子隧道效应来获得样品表面的图像。扫描隧道显微镜的针尖与样品表面的距离非常接近的图像。扫描隧道显微镜的针尖与样品表面的距离非常接近(大大约为约为0.5-1.0nm)，所以它们之间的电子云互相重叠。当在它们，所以它们之间的电子云互相重叠。当在它们之间施加一偏置电压之间施加一偏置电压Vb(Vb通常为通常为2mV-2V)时，电子就可以因量时，电子就可以因量子隧道效应由针尖子隧道效应由针尖(或样品或样品)转移到样品转移到样品(或针尖或针尖)，在针尖与样品，在针尖与样品表而之间形成隧道电流。此隧道电流表而
19、之间形成隧道电流。此隧道电流I可以表示为：可以表示为：IVbexp(-k1/2s)式中：式中：k为常数，在真空条件下约等于为常数，在真空条件下约等于1；为针尖与样品的平为针尖与样品的平均功函数；均功函数；s为针尖与样品表面之间的距离，一般为为针尖与样品表面之间的距离，一般为0.3-1.0nm。由于隧通电流由于隧通电流I与针尖和样品表面之间的距离与针尖和样品表面之间的距离s成指数关系，所以，电流成指数关系，所以，电流I对针尖和样品表而对针尖和样品表而之间的距离之间的距离s变化非常敏感。变化非常敏感。如果此距离减小仅仅如果此距离减小仅仅0.1nm，隧道电流，隧道电流I将会增加将会增加10倍；反之，
20、如果距离增加倍；反之，如果距离增加0.1nm，隧道电流，隧道电流I就会减少就会减少10倍。倍。2021/3/815STM有两种工作模式，恒电流模式和恒高度模式，如图所示。有两种工作模式，恒电流模式和恒高度模式，如图所示。恒电流模式是在恒电流模式是在STM图像扫描时始终保持隧道电流恒定，它可以利用反馈回图像扫描时始终保持隧道电流恒定，它可以利用反馈回路控制针尖和样品之间距离的不断变化来实现。当压电陶瓷路控制针尖和样品之间距离的不断变化来实现。当压电陶瓷Px和和Py控制针尖在控制针尖在样品表面上扫描时，从反馈回路中取出针尖在样品表面扫描的过程中它们之间距样品表面上扫描时，从反馈回路中取出针尖在样品
21、表面扫描的过程中它们之间距离变化的信息离变化的信息(该信息反映样品表由的起伏该信息反映样品表由的起伏)，就可以得到样品表面的原子图像。，就可以得到样品表面的原子图像。由于恒电流模式时，针尖是随着样品表面形貌的起伏而上下移动针尖不会因为由于恒电流模式时，针尖是随着样品表面形貌的起伏而上下移动针尖不会因为表面形貌起伏太大而碰撞到样品的表面。所以恒电流模式可以用于观察表面形貌表面形貌起伏太大而碰撞到样品的表面。所以恒电流模式可以用于观察表面形貌起伏较大的样品。恒电流模式是一种最常用的扫描模式。起伏较大的样品。恒电流模式是一种最常用的扫描模式。2021/3/816STM有两种工作模式，恒电流模式和恒高
22、度模式，如图所示。有两种工作模式，恒电流模式和恒高度模式，如图所示。恒高度模式则是始终控制针尖的高度不变，并取出扫描过程中针尖和样品恒高度模式则是始终控制针尖的高度不变，并取出扫描过程中针尖和样品之间电流变化的信息之间电流变化的信息(该信息也反映样品表面的起伏该信息也反映样品表面的起伏)，来绘制样品表面的原子图，来绘制样品表面的原子图像。由于在恒高度模式的扫描过程中，针尖的高度恒定不变，当表面形貌起伏较像。由于在恒高度模式的扫描过程中，针尖的高度恒定不变，当表面形貌起伏较大时，针尖就很容易碰撞到样品。所以恒高度模式只能用于观察表面形貌起伏不大时，针尖就很容易碰撞到样品。所以恒高度模式只能用于观
23、察表面形貌起伏不大的样品。大的样品。2021/3/817 2.5.1大气和室温条件大气和室温条件 在大气的条件下，在大气的条件下，STM可可以用来观察无氧化层的干净样以用来观察无氧化层的干净样品表面。图品表面。图(a)和和(b)分别是在大分别是在大气条件下用气条件下用STM得到的得到的Au(111)(金金)2nm2nm 和和MS2(二硫化二硫化钼钼)3nm3nm表面的原于图表面的原于图像。对于在大气中容易被氧化像。对于在大气中容易被氧化的半导体或金属材料样品，将的半导体或金属材料样品，将不可能在大气中用不可能在大气中用STM得到它得到它们的表面原子结构图像，而超们的表面原子结构图像，而超高真空
24、的环境是必要的。高真空的环境是必要的。(a)(b)2021/3/818 在超高真空的条件下，在超高真空的条件下，STM可以用来观察所有半导体和金属样品表面的原子图。在超高真空可以用来观察所有半导体和金属样品表面的原子图。在超高真空腔内，可以用多种方法将样品表面清洁干净，如常用于金属表面清洁处理的离子枪轰击和常用于腔内，可以用多种方法将样品表面清洁干净，如常用于金属表面清洁处理的离子枪轰击和常用于半导体表面清洁处理的直接电流预热处理等。在超高真空中，清洁处理后的样品可以保持长时间半导体表面清洁处理的直接电流预热处理等。在超高真空中，清洁处理后的样品可以保持长时间干净，不被氧化。对样品表面原子结构
25、进行重构后，就可以用干净，不被氧化。对样品表面原子结构进行重构后，就可以用STM观察样品表面的原子结构图像。观察样品表面的原子结构图像。(a)(b)图图(a)和和(b)是是Si(111)7x 7(硅硅)表面的原子图像。表面的原子图像。其中，它们的扫描偏压分别为其中，它们的扫描偏压分别为+2V和和-2V；扫描电流相；扫描电流相同，都为同，都为0.6nA。2021/3/819 STM可以在高温可以在高温的条件下工作，这对的条件下工作，这对于观察半导体和金属于观察半导体和金属等材料表面的高温相等材料表面的高温相变是非常重要的。高变是非常重要的。高温工作的温工作的STM必须具必须具备十分良好的温度补备
26、十分良好的温度补偿功能，否则，样品偿功能，否则，样品表面的温度漂移将使表面的温度漂移将使我们无法看到相同区我们无法看到相同区域的原子表面结构。域的原子表面结构。图是在图是在860OC时时用用STM实时地观察实时地观察S(111)表面上形成表面上形成7x7结构的重构过程。从结构的重构过程。从图中可以看到，大部图中可以看到，大部分分7x7结构已经形成，结构已经形成，但是在图的右上角区但是在图的右上角区域尚未完成表面原子域尚未完成表面原子的重构。的重构。2021/3/820 温度对于材料表面上原子和温度对于材料表面上原子和分子的稳定性是一个非常重要的条分子的稳定性是一个非常重要的条件。例如，在室温时
27、，金属材料表件。例如，在室温时，金属材料表面上的金属原子大多不稳定，而吸面上的金属原子大多不稳定，而吸附在样品表面上的附在样品表面上的C60分子更是始分子更是始终在旋转着，无法稳定。同时，材终在旋转着，无法稳定。同时，材料的电子特性研究在很多情况下也料的电子特性研究在很多情况下也要求低温的条件。要求低温的条件。低温时，样品的原子表面结构低温时，样品的原子表面结构可以保持非常稳定的状态。图是一可以保持非常稳定的状态。图是一组低温组低温STM的系列图片。实验时，的系列图片。实验时，样品被液氯冷却到约样品被液氯冷却到约15OK的温度，的温度，每隔每隔45分钟扫描一幅图片。从图中分钟扫描一幅图片。从图
28、中可以发现，样品的原子表面结构十可以发现，样品的原子表面结构十分稳定，从右到左的热飘移仅为每分稳定，从右到左的热飘移仅为每小时一个原子左右小时一个原子左右(0.3nm左右左右)。2021/3/821 化学反应大多是在溶液里进行的。图是化学溶液中液化学反应大多是在溶液里进行的。图是化学溶液中液/固界面上原子和分子之间发生化固界面上原子和分子之间发生化学反应的示意。它是化学反应的重要过程。为了探讨这种发生在液学反应的示意。它是化学反应的重要过程。为了探讨这种发生在液/固界面上原子和分子尺固界面上原子和分子尺度的反应机理，可以工作在溶液中的度的反应机理，可以工作在溶液中的STM就成为一个极为重要的观
29、察工具。近年来，专用于就成为一个极为重要的观察工具。近年来，专用于溶液中的高分辨溶液中的高分辨STM已经研制成功，并得到了极大的应用。已经研制成功，并得到了极大的应用。溶液中固溶液中固/液界面的原子和分子化学反应示意图液界面的原子和分子化学反应示意图2021/3/822 现仅列举两例来现仅列举两例来介绍介绍STM在化学溶液在化学溶液中观察有机分子吸附中观察有机分子吸附在固体表面上的实验在固体表面上的实验结果。结果。图是有机分子苯图是有机分子苯在在Rh(111)3x3(铑铑)表表面上的单层吸附结果。面上的单层吸附结果。实验时，在实验时，在0.01M(摩摩尔尔)的的HF(氢氟酸氢氟酸)溶液溶液里含
30、有里含有0.25mM(毫摩毫摩尔尔)浓度的有机分子苯。浓度的有机分子苯。2021/3/823 图是另一种有机分子图是另一种有机分子卟啉在卟啉在I-Au(111)(碘碘-金金)表面上的单层吸附结果。表面上的单层吸附结果。实 验 时，在实 验 时，在 0.1 M 的的HClO4(高氯酸高氯酸)溶液里含溶液里含有有0.57uM(微摩尔微摩尔)浓度浓度的有机分子卟啉。的有机分子卟啉。工作在溶液中，能使工作在溶液中，能使STM的应用范围得以大的应用范围得以大大拓宽。这不仅有利于研大拓宽。这不仅有利于研究液究液/固界面上原子和分固界面上原子和分子之间的化学反应过程，子之间的化学反应过程，也十分有利于观察分
31、子生也十分有利于观察分子生物学样品，因为很多活体物学样品，因为很多活体生物样品常常需要保持在生物样品常常需要保持在特定的营养液中。特定的营养液中。2021/3/824 综上所述，综上所述，STM具有很多优越的性能，可在大气、液体、真空状态下工作。具有很多优越的性能，可在大气、液体、真空状态下工作。对样品表面也没有特殊要求，可以观测单晶、多晶、非晶以及纳米相样品。对样品表面也没有特殊要求，可以观测单晶、多晶、非晶以及纳米相样品。STM的工作温度范围也非常宽，可以从液氦温度到上千度的高温。另外，的工作温度范围也非常宽，可以从液氦温度到上千度的高温。另外，STM还可以方便地与其他的表面分析和电子分析
32、等仪器结合，使其应用范围更加广阔，还可以方便地与其他的表面分析和电子分析等仪器结合，使其应用范围更加广阔，更加有效。总之，近年来，更加有效。总之，近年来，STM的应用已经将纳米技术的研究推到了一个崭新的应用已经将纳米技术的研究推到了一个崭新的阶段，它的进一步应用，对纳米技术今后更深入的发展来说将是至关重要的。的阶段，它的进一步应用，对纳米技术今后更深入的发展来说将是至关重要的。应用应用STM，人们在物理、化学、材料、生物等学科领域都得到了广泛而深，人们在物理、化学、材料、生物等学科领域都得到了广泛而深入的普及，取得了一系列重要研究成果。特别在材料表面的重构，表面原子的吸入的普及，取得了一系列重
33、要研究成果。特别在材料表面的重构，表面原子的吸附和脱附，薄膜生长的物理机制以及材料表面电子态的结构等许多方面的研究都附和脱附，薄膜生长的物理机制以及材料表面电子态的结构等许多方面的研究都取得了突破性的进展。除了能够用于观察表面原子结构形貌图以外，取得了突破性的进展。除了能够用于观察表面原子结构形貌图以外，STM更可更可以作为有效的工具来操纵表面上的单个原子，加工原子及纳米尺度的人工结构，以作为有效的工具来操纵表面上的单个原子，加工原子及纳米尺度的人工结构，这为今后的纳米电子学器件的加工提供了一个极为重要的手段。这部分内容将在这为今后的纳米电子学器件的加工提供了一个极为重要的手段。这部分内容将在
34、第第4章作详细介绍。章作详细介绍。当然，当然，STM的应用也存在一定的限制。从它的工作原理中我们知道，的应用也存在一定的限制。从它的工作原理中我们知道，STM工作时必须实时地检测针尖和样品之间隧道电流的变化，因此它只能用于观察导工作时必须实时地检测针尖和样品之间隧道电流的变化，因此它只能用于观察导体和半导体等导电材料的表面结构。对于绝缘体材料，由于无法产生隧道电流，体和半导体等导电材料的表面结构。对于绝缘体材料，由于无法产生隧道电流，STM也就无能为力了。稍后发明的原子力显微镜也就无能为力了。稍后发明的原子力显微镜(AFM)尽管分辨率比尽管分辨率比STM略低，略低，但可以用于观察包括绝缘体材料
35、在内的表面原子结构，因而拓宽了但可以用于观察包括绝缘体材料在内的表面原子结构，因而拓宽了STM研究的材研究的材料范围。将在第料范围。将在第3章详细介绍章详细介绍AFM技术。技术。2021/3/825 STM的针尖的针尖(tip)制作技术是提高制作技术是提高STM图像分辨率的关键技术之图像分辨率的关键技术之一，从一，从STM一发明就一直被人们广泛关注。多年来，人们在不断探一发明就一直被人们广泛关注。多年来，人们在不断探讨讨STM针尖的制备和清洁处理等方法，因为针尖末端的曲率半径大针尖的制备和清洁处理等方法，因为针尖末端的曲率半径大小、形状、稳定性以及清洁度都会直接影响到小、形状、稳定性以及清洁度
36、都会直接影响到STM的图像分辨率和的图像分辨率和所测定的样品表面的电子态。尽管评价针尖质量好坏的参数很多，但所测定的样品表面的电子态。尽管评价针尖质量好坏的参数很多，但其中以稳定性和清洁度最为关键。稳定的针尖其中以稳定性和清洁度最为关键。稳定的针尖(指针尖最末端的那个指针尖最末端的那个原子能在原子能在STM的强大电场条件下稳定的强大电场条件下稳定)才能够在针尖扫描时不出现变才能够在针尖扫描时不出现变化，得到稳定的隧道电流。清洁的针尖表明没有污染物或氧化物吸附化，得到稳定的隧道电流。清洁的针尖表明没有污染物或氧化物吸附在针尖上，这样的针尖具有良好的化学同一性和高的功函数。如果针在针尖上，这样的针
37、尖具有良好的化学同一性和高的功函数。如果针尖的清洁度不好，表面上常有一层较厚的氧化层和残留的外来原子，尖的清洁度不好，表面上常有一层较厚的氧化层和残留的外来原子，而氧化层和这些外来原子的阻值可能会高于隧道间隙的阻值，这将导而氧化层和这些外来原子的阻值可能会高于隧道间隙的阻值，这将导致针尖和样品之间无法产生隧道电流而不得不在反馈控制的作用下将致针尖和样品之间无法产生隧道电流而不得不在反馈控制的作用下将针尖移向样品，直到碰撞到样品为止。当然，用这样的针尖测得的扫针尖移向样品，直到碰撞到样品为止。当然，用这样的针尖测得的扫描隧道谱，也不能反映该局域的电子态信息。描隧道谱，也不能反映该局域的电子态信息
38、。2021/3/826 对于仅仅用于图像扫描的针尖来说任何清洁和稳定对于仅仅用于图像扫描的针尖来说任何清洁和稳定的针尖都可以得到较高的原子分辨图像，对针尖末端曲率的针尖都可以得到较高的原子分辨图像，对针尖末端曲率半径的要求并不十分苛刻。这是因为，根据半径的要求并不十分苛刻。这是因为，根据STM的工作原的工作原理，隧道电流与针尖和样品表面之间的距离成指数关系，理，隧道电流与针尖和样品表面之间的距离成指数关系，距离减小仅仅距离减小仅仅0.1nm(数分之一的原子尺寸数分之一的原子尺寸)，隧道电流将会，隧道电流将会增加增加10倍。因而，针尖扫描时，绝大部分隧道电流将会通倍。因而，针尖扫描时，绝大部分隧
39、道电流将会通过针尖上最突出的那个原子，其他相对较远的原子对隧道过针尖上最突出的那个原子，其他相对较远的原子对隧道电流不会产生太大的影响。例如，实验时经常发现，针尖电流不会产生太大的影响。例如，实验时经常发现，针尖撞击到样品弯曲后仍然可以得到很好的原子分辨图像，这撞击到样品弯曲后仍然可以得到很好的原子分辨图像，这是因为即使针尖被撞弯曲后仍然会有一个较突出的原子在是因为即使针尖被撞弯曲后仍然会有一个较突出的原子在针尖的新的末端，而这个原子将主导隧道电流的形成。针尖的新的末端，而这个原子将主导隧道电流的形成。2021/3/827在在STM图像扫描的过程中用图像扫描的过程中用SEM实时观察针尖的实际状
40、态实时观察针尖的实际状态a)弯曲针尖显微图片；弯曲针尖显微图片；b)用此针尖获得的具有原子级分辨率的用此针尖获得的具有原子级分辨率的Si(111)-77原子图像原子图像 图是一个实例。图图是一个实例。图(a)中弯曲的中弯曲的W针尖是用安装在针尖是用安装在STM真空腔内的真空腔内的SEM得到的实时显微得到的实时显微图片、图片、SEM观测针尖图片时，该针尖正在扫描并获得了原子分辨率的观测针尖图片时，该针尖正在扫描并获得了原子分辨率的Si(111)-77图像，如图像，如图图(b)所示。但是，对于起伏较大的样品表面，则必须使用尖锐的针尖。末端比较钝或弯曲所示。但是，对于起伏较大的样品表面，则必须使用尖
41、锐的针尖。末端比较钝或弯曲的针尖，在凹凸不平的表面上极可能出现多个原子同时产生大小相近的隧道电流的倩况的针尖，在凹凸不平的表面上极可能出现多个原子同时产生大小相近的隧道电流的倩况(多多针尖效应针尖效应)，使，使STM无法得到准确的原子分辨图像。无法得到准确的原子分辨图像。2021/3/828 对于用于表面原子操纵和超微加工的针尖来说，对针尖的要求将变得十对于用于表面原子操纵和超微加工的针尖来说，对针尖的要求将变得十分苛刻。因为利用电场蒸发进行原子操纵和加工时，电场的大小与针尖和样品分苛刻。因为利用电场蒸发进行原子操纵和加工时，电场的大小与针尖和样品表面之间的距离仅为倒数关系：表面之间的距离仅为
42、倒数关系：E=Vb/s式中，式中，E为电场强度，为电场强度，Vb 为针尖与样品表面之间的偏置电压；为针尖与样品表面之间的偏置电压；s为针尖与样品为针尖与样品表面之间的距离，一般为表面之间的距离，一般为0.31.0nm；电场强度通常高达；电场强度通常高达109V/m。距离增大或减小数分之一的原子尺寸距离增大或减小数分之一的原子尺寸(0.050.1nm)，产生的电场强度差，产生的电场强度差别不会太大；针尖末端的全部微小针尖别不会太大；针尖末端的全部微小针尖(图中末端的黑色原子图中末端的黑色原子)，都能够产生强，都能够产生强度几乎相同的电场来操纵表面上原子。显然，这种针尖不能用于单原子的操纵。度几乎
43、相同的电场来操纵表面上原子。显然，这种针尖不能用于单原子的操纵。所以，对用于原子操纵和超微加工的针尖来说，应该具有尽量小的末端曲率半所以，对用于原子操纵和超微加工的针尖来说，应该具有尽量小的末端曲率半径并有一个原子特别突出。这种金字塔形的针尖就是我们通常讲的单原子针径并有一个原子特别突出。这种金字塔形的针尖就是我们通常讲的单原子针尖尖(或称为纳米针尖或称为纳米针尖)。单原子针尖施加到表面上的电场将主要集中在针尖末端。单原子针尖施加到表面上的电场将主要集中在针尖末端原子的下方，有利于对指定的单个原子的操纵。这说明，弯曲针尖是绝对不对原子的下方，有利于对指定的单个原子的操纵。这说明，弯曲针尖是绝对
44、不对能用于原子操纵和纳米加工的。能用于原子操纵和纳米加工的。2021/3/829弯曲针尖示意图弯曲针尖示意图针尖末端的微小尺寸（顶端的黑色原子），能够产生强度几乎相同的电场针尖末端的微小尺寸（顶端的黑色原子），能够产生强度几乎相同的电场2021/3/830 STM针尖的制备方法主要有电化学腐蚀法和机械成型法等，而电化学腐蚀法又分为针尖的制备方法主要有电化学腐蚀法和机械成型法等，而电化学腐蚀法又分为直流直流(DC)法相交流法相交流(AC)法。法。目前，应用最为广泛的针尖的材料是金属目前，应用最为广泛的针尖的材料是金属W(钨钨)丝。金属丝。金属W材料的硬度很高，用材料的硬度很高，用W制备的制备的针
45、尖能够满足针尖能够满足STM的刚性要求。但是，由于的刚性要求。但是，由于W针尖在大气或水溶液中极易氧化，在其表针尖在大气或水溶液中极易氧化，在其表面形成面形成WO3(三氧化钨三氧化钨)薄层，不利于隧道电流的产生，因此薄层，不利于隧道电流的产生，因此W针尖只适用于真空的环境针尖只适用于真空的环境中。为了除去中。为了除去WO3薄层，薄层，W针尖在使用之前，还必须进行特殊的清洁处理。针尖在使用之前，还必须进行特殊的清洁处理。在大气和液体中使用的针尖通常采用不易氧化的金属在大气和液体中使用的针尖通常采用不易氧化的金属Pt(铂铂)材料来制备。由于材料来制备。由于Pt材料材料较软，为了增加其刚性，常用的办
46、法是在较软，为了增加其刚性，常用的办法是在Pt 中加入少量的中加入少量的Ir(铱铱)材料。制成材料。制成Pt-Ir合金丝线合金丝线材料。用材料。用Pt-Ir合金丝可以制备出刚性较好而又不易合金丝可以制备出刚性较好而又不易 氧化的氧化的Pt-Ir针尖。金属针尖。金属Au(金金)也不易氧化，可以用于大气和溶液中。但是，由于也不易氧化，可以用于大气和溶液中。但是，由于Au很软且没有好方法增强它的刚性，同时，很软且没有好方法增强它的刚性，同时，Au材料的电场蒸发阈值较材料的电场蒸发阈值较W和和Pt-Ir等其他常用等其他常用的针尖材料要低，的针尖材料要低，Au针尖上的针尖上的Au颗粒在电场的作用下较容易
47、沉积到样品表面上，使颗粒在电场的作用下较容易沉积到样品表面上，使Au针尖不如其他针尖稳定。因此，针尖不如其他针尖稳定。因此，Au针尖远没有针尖远没有Pt-Ir针尖应用得那么广泛。当然，针尖应用得那么广泛。当然，Pt-Ir针针尖和尖和Au针尖也可以用于真空的环境，但由于它们的刚性不如针尖也可以用于真空的环境，但由于它们的刚性不如W针尖，在真空中使用则不针尖，在真空中使用则不如如W针尖。针尖。近年来，碳纳米管的制备和特性研究取得了很大的进展，不少研究人员先后成功地近年来，碳纳米管的制备和特性研究取得了很大的进展，不少研究人员先后成功地制备出碳纳米管针尖，用作制备出碳纳米管针尖，用作STM针尖及第针
48、尖及第3章要介绍的章要介绍的AFM(原子力显微镜原子力显微镜)微悬臂的针尖。微悬臂的针尖。碳纳米管针尖具有许多优点应用日益广泛。碳纳米管针尖具有许多优点应用日益广泛。2021/3/831 钨针尖的电化学腐钨针尖的电化学腐蚀方法通常是采用金属电蚀方法通常是采用金属电极的阳极溶解，其工艺是极的阳极溶解，其工艺是20世纪世纪50年代为了制备年代为了制备场离子显微镜场离子显微镜(FIM)的针的针尖样品而发展起来的。尖样品而发展起来的。按照所加的电势不同，按照所加的电势不同，电化学腐蚀方法又分为直电化学腐蚀方法又分为直流流(DC)法和交流法和交流(AC)法。法。这两种方法制备的针尖形这两种方法制备的针尖
49、形状有很大的的区别，一般状有很大的的区别，一般来说，来说，AC法的针尖呈圆法的针尖呈圆锥体形状，针尖的表面比锥体形状，针尖的表面比较粗糙，有明显的腐蚀沟较粗糙，有明显的腐蚀沟槽，其典型形状如图所示。槽，其典型形状如图所示。DC法的针尖是双曲线体法的针尖是双曲线体形状，针尖比形状，针尖比AC法制备法制备的 更 尖 锐，更 适 应 于的 更 尖 锐，更 适 应 于STM的高分辨成像。的高分辨成像。2021/3/8322021/3/833 直流法的装置示于图电解池中装有直流法的装置示于图电解池中装有2M的的NaOH或或KOH溶液，电解池中溶液，电解池中央插入要腐蚀的钨丝作为阳极，其上瑞固定在一个微调
50、螺杆上，使其相对央插入要腐蚀的钨丝作为阳极，其上瑞固定在一个微调螺杆上，使其相对于液面的位置可以较精细地调节对电极于液面的位置可以较精细地调节对电极(阴极阴极)是一个围在阳极外面的用不是一个围在阳极外面的用不锈钢片弯成的圆筒或一个不锈钢丝圈当在阳极上加约锈钢片弯成的圆筒或一个不锈钢丝圈当在阳极上加约13V的直流电压时，的直流电压时，在阴极与溶液的固在阴极与溶液的固/液界面处看到有气泡产生，这时发生下列反应：液界面处看到有气泡产生，这时发生下列反应：阴极：阴极：6H2O十十6e-3H2十十6OH-阳极：阳极：W十十8OH-WO42-十十4H2O十十6e-W十十2OH-十十2H2OWO42-十十3
