1、1KOH YOUNG SPI校正学习报告2KYSPI高度校正PZT Calibration(左右灯光校正)3D Reference Calibration（基准面的校正）Z-Scal Calibration(Z轴校正)Calibration Verification(高度校正验证)3治具：KY Height Target （标准高度）不同治具高度不同4PZT 校正分左灯（Left）和右灯（Right）两次校正，步骤和方法均一样.下面是左灯校正1.打开Vision Parameter，将PZT 改为如右图 MessagePZT校正52.将Vision parameter-system,proce
2、ss改为Left(图1),点击OK确认；点击Setup-vision，去掉Dual projection勾选（图2），点击Apply后OK.PZT校正63.点击打开Camera View,同时点击Jog打开手动操作界面，将相机FOV中心移到KY Target-光滑且无任何干扰的平面.PZT校正Jog界面整个校正期间要将Target处于Railup的状态74.在Camera View内用鼠标左键画出一个矩形 ROI，如下图.PZT校正8PZT校正9PZT校正6.右灯（Right）校正步骤与左灯一样.修改下图红色框内选项107.左灯和右灯PZT校正完后，将校正结果保存如下PZT校正118.PZT校
3、正完成后，恢复所有选项设置.PZT校正121.关闭GUI，运行C:KouhoungKY3030KYCalibration.exe3DReference132.选择对应权限用户输入密码登入3DReference142.点击设置下图红色框中 Target标准高度，点击 OK确认。3DReference153.点击图A根据实际需要设置图 B校正选项,并OK确认。3DReferenceAB164.确认所有Vision Parameter参数如下。3DReferenceABC175.点击3D Reference开始校正。3DReferenceABC186.点击Work In,并确定；点击Next并取消自
4、动调宽，再点击 Next.3DReferenceABCD197.通过A处光标移动FOV至一光滑的表面（无任何干扰）点击 B处保存该位置，点击 Next。3DReferenceABC208.在弹出对话框中点击“是”确定开始 3DReference校正。3DReference219.等待校正结束后点击“Finish”,至此3DReference完成。3DReference221.选择Z-Scal Calibration如图A，首先选择Calibration如图B;并点击StartZ-Scal CalibrationC232.点击Work In,并确定；点击Next并取消自动调宽，再点击 Next.
5、Z-Scal CalibrationABCD243.点击A处方向键使FOV中心与Target中心对应，并保存该位置至 T2如下图B处；再点击Next.Z-Scal CalibrationAB254.在弹出对话框中点击“是”确定开始校正.Z-Scal Calibration265.校正过程中，A处为校正数据需与 Target基本吻合；B处为校正进度.Z-Scal CalibrationAB勾选查看校正过程中 2D和3D图像变化276.校正结束后点“Finish”.Z-Scal Calibration287.确认校正结果后点击“OK”A处大致显示校正结果：蓝色矩形框表示校正OK，若出现红色矩形框则
6、代表该点校正结果NG。B处为校正数据输出格式及路径Z-Scal CalibrationAB298.校正完后，需再次确认 Z-Scal校正结果(Verification);点击确定.Z-Scal Calibration309.选择“Verification”如下图，点击 Start.验证步骤与“Calibration”一样.Z-Scal Calibration31PZT和Z-Cal校正结束后,需验证此次校正效果.KY用治具9个不同位置，以每个位置读取 10次的方式来分别验证左灯/右灯/双灯。Calibration Verification灯光选择：左灯、右灯、双灯灯光辅助条件选择32Z-Scal
7、 Calibration1.点击打开Camera View,同时点击Jog打开手动操作界面，将相机FOV中心移到KY Target中心如图1，并手动划一 ROI如图2.在Jog界面，确保整个校正期间Target处于Railup状态1233Z-Scal Calibration2.进入Setup-Vision，点击“Get CurPos”记录该位置343.选择“All Position”后，点击“Jig 10times”;在弹出框点“是”.Z-Scal Calibration12335Z-Scal Calibration4.相机会在治具上 9个不同位置分别测试 Target的高度,每个位置测试10次36Z-Scal Calibration5.测试结果如下图（Height Tolerance:+3um 3Sigma0.2）37Z-Scal Calibration6.分别校验左/右/双灯,并保存其结果;如下图.右灯双灯左灯38谢谢谢谢
