1、WORD格式可编辑1. 目的 Purpose1.1 本操作作业规范目的在建一套完整的特气系统操作程，以避免人员操作错误及维护系统稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。2. 管制范围 Scope2.1 本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。3. 管职责Responsibility3.1 厂务单位最高主管3.1.1 协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。3.1.2 综厂务系统运转所需资源管, 含人员/物/预算等。3.1.3 引进创新之厂务系统或管知识。3.2 厂务单位主管3.2.1 执厂务系统维护保养制及系统教育训练。3.2.2 维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管。3
2、.2.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。3.2.4 厂务系统异常事故追踪查核处结果3.3 厂务系统工程师:3.3.1 负责特气供应系统之正常运转及改维护。3.3.2 负责厂务与机台设备间 Hook up (二次配管)工程之施工与协调事宜。3.3.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。3.3.4 担任所负责系统之教育训练讲师。3.4 厂务轮班工程师:3.4.1 负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。3.4.2 执各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。3.4.3 换厂务系统所提供或所需之原物及产生之废弃物。专业知识整理分享3.4.4 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应
3、变事宜。4. 定义 Definition4.1 SG : Special Gas (特殊气体)。5. 作业内容 Procedure5.1 日常记录与报告要求5.1.1 定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。5.1.2 统计气体，每日/周/月用。5.1.3 统计气瓶、库存，原则上现场要有足够15天运库存。5.1.4 整特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的校正记录。5.1.5 提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。5.2 日常运转事项5.2.1 气体钢瓶的换（含硅烷、氢气站，特气房内）。5.2.2 N2 Yard(大宗气体气站：N2) 灌充作业前、后系统及压，液位确认检
4、查5.2.3 特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的定期校正。5.2.4 紧急应变：包括Trouble-shooting，报警故障处，紧急事故反映及处。6. 表单 Form序号项目YES情况记录NOREMARK其它1检查设备、房间排风是否正常？2检查门锁、窗锁是否正常？3检查设备外观是否正常？4危险标识是否剥？5阀件编号是否有误？6巡视管道状况、标签是否脱7确认N2吹扫盘是否正常？8确认CDA、GN2供应压是否正常？特气系统点检表检查PIG TAIL是否被损坏或污9染？10检查加热系统是否正常Local Scrubber检查、保养项目检查保养计划表检查、保养频每天每周双周每月每
5、季每检查主电源(Main power)电压检查加热器#1, #2 的温检查氮气、检查注入、排气压确认错误(Error)状态检查传感器High，Low状态检查指示灯工作状态检查各导管有无粉尘堆积压计是否需换检查是否需换传感器、控制器检查是否需换继电器、风扇检查、保养项目检查、保养频备注：“：值班技术人员可以单独进维护操作 “：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护 “：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护Sensor 检查保养表每每天每周双周每月半每通过监视屏幕观察Sensor的状态换Sensor检查吸气泵是否故障检查热解模块是否故障检查模/数转换模块是否故障备注：“：值班技术
6、人员可以单独进维护操作“：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护 “：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护检查、保养频检查、保养项目每每天每周双周每月半每气瓶柜/架检查保养计划检查气瓶的压、重检查设备、房间排风是否正常检查门锁、窗锁是否正常检查外观是否正常危险标识是否剥设备标识是否剥阀件编号是否有误巡视管道状况、标签是否脱确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常确认CDA、GN2供应压是否正常确认N2吹扫盘是否正常压传感器和真空传感器校正察看PIG TAIL是否被损坏或污染核检故障报警装置是否正常核检关机报警装置是否正常检查加热系统是否正常核检左右供气自动换装置是否正常仪表校正
7、检查、保养频检查、保养项目每每天每周双周每月每半备注：“：值班技术人员可以单独进维护操作 “：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护 “：值班技术人员在部门主管及系统工程师指导下检查和维护VMB/VMP维修保养计划表检查设备排风是否正常检查门锁、窗锁是否正常检查外观是否正常危险标识是否剥设备标识是否剥阀件编号是否有误巡视管道状况、标签是否脱确认所有气动阀、手动阀、调压阀是否正常确认CDA、GN2供应压是否正常确认N2吹扫盘是否正常核检故障报警装置是否正常核检关机报警装置是否正常备注：“：值班技术人员可以单独进维护操作 “：值班技术人员在系统工程师指导下进检查和维护 “：值班技术人员在部门主
8、管及系统工程师指导下检查和维护7. 参考文件 Reference Document7.1 无8. 作业程Flow Chart8.1 Ar 供气程Ar Rack 供气程Step.Content.1先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。2慢慢打开HPV1或2，将剩余Ar排出去，然后关闭HPV1或2。3分离旧钢瓶，并安装新钢瓶。4然后打开新钢瓶阀门，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次吹扫。结束后关闭HPV1或2。5关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进2小时保压测试。6保压测试通过后，打开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择stand by.注意：1. 在供应气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门打开，
9、使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成打开，要关闭。2. Emergency stop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。8.2 PN2供气程N2 Rack 供气程Step.Content.1先将全部阀门关闭，并确认钢瓶阀门关闭。2慢慢打开Vent阀门，将剩余N2排出去，然后关闭Vent 阀门3用扳手将旧钢瓶拆下，安装新的钢瓶。45打开钢瓶阀门，然后打开关闭Vent阀门15次进吹扫，打开时只要一点点点，最后关闭Vent阀门.然后打开HPI1，再关闭钢瓶阀门，并关闭调压阀，进保压测试1小时。6保压测试通过后，打开钢瓶阀门，调节调压阀到100psi.7打开LPI可供应P-N2,打开HP
10、I2可供应高压P-N2.8.3 H2 供气程H2 Rack 供气程Step.Content.1先确认HPI1或2关闭，并关闭钢瓶阀门。2慢慢打开HPV1或2，将剩余H2排出去，然后关闭HPV1或2。3打开PNBV,PGI1或2，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次进吹扫。结束后全部关闭。4分离旧钢瓶，并安装新钢瓶。56然后打开PNBV,PGI1或2，然后一点点打开关闭HPV1或2，15次吹扫。结束后全部关闭。打开钢瓶阀门，然后一点点打开HPV1或2,将残N2排空，然后关闭HPV1或2，7关闭钢瓶阀门，等HPT1或2稳定后，进2小时保压测试。8保压测试通过后，打开钢瓶阀门，然后触摸屏上，选择s
11、tand by.注意：1. 在供应气体时，两个调压阀之间的那个手动阀门打开，使两个调压阀同时供气，并保持调压阀门适当成打开，要关闭。2. Emergency stop时，长按3秒Reset按钮，可取消报警窗口。8.4 全自动气柜和 BSGS 供气程全自动气柜和BSGS供气程Step.Content.1A 瓶停止供气后，确认A瓶阀门关闭(有Valve shutter者，拆下Valveshutter，然后确认），并关闭PMV1.2“A select进入A操作界面，并确认G-N2,CDA,P-N2 供应正常。3选择“ Pre-purge，输入密码，“Confirm（可能要点两次），进入1P(第一次吹
12、扫)，-L(负压测试)，2P(第二次吹扫)42P结束后，进入钢瓶换阶段。确认PIV,PGI打开，确认新瓶日期。5分离旧瓶，并用绑带和锁链固定好新钢瓶，然后与CGA连接。6连接好之后，“Confirm进入“3P，“+L,“4P阶段。74P结束后，按“cancel进入下阶段。按“process Gas flow，输入密码，8检查HPT，LPT数值，按“Process，气柜会自动排空内部气体。如有Valve shutter,然后安装Valve shutter，（把Valve shutter 先套在钢9瓶上，拧紧，然后插入气管，然后调整高，使瓶阀门上）valve shutter 完全套在钢10conf
13、irm后，关闭调压阀门。11然后打开钢瓶主阀门。12然后打开调压阀门到适当的位置。（BSGS 将要打开两个调节阀门。）13PMV1 打开。14“confirm之后进入“process或“stand by。9. 特气系统异常泄，紧急处程序WORD格式可编辑气体泄漏紧急应变流程气体异常泄漏描述及处理流程气体真实泄漏1.如出现一段报警，值班人员通过中控室报警特气种类SCADA曲线，初步判断是否真实泄漏，并立即通知特气及厂务负责人。2.联系厂务特气负责人员，询问是否在进行特气换钢瓶动作。并通过CCTV查看特气间有无人员施工或异样。3.如一段报警值已逐渐下降，并恢复正常。即通知特气及厂务负责人及设施部经
14、理，告知为可能干扰误动作， 并查看供气设备是否正常供气。4.如报警等级上升至二段，特气人员会同抢修人员穿戴SCBA 及防护用品，并携带便携式侦测器赶去现场确认侦测器是否正常工作。5.如确认为真实泄露报警，立即通知设施部经理，要马上关断气源停止供气，设备部马上启动相应措施，并由ERC决定是否需要通知全厂疏散。6，抢修人员立即按下报警特气之紧急按钮并马上关断钢瓶7，待警报消除，解除紧急按钮，马上对气柜进行测漏，检修8，处理完毕后查看相关供气设备运行情况并恢复供气，观察气柜是否正常送气。9.正常后通知设施部经理可恢复正常生产，并通知全厂人员异常已排专除业，知可识恢整复理正分常享工作。可能出现特气间侦测器浓度值报警推动一，二段警报并出现相关联动造成原因分析：1，气体真实泄漏 2，被其它气体干扰或者电流干扰厂务人员要对误报侦测器进行测试，保持侦测正常。WORD格式可编辑10. 附件 Attachment无1.2.专业知识整理分享
