1、演讲人202X-11-11真空技术真空技术01中国科学院实验技术人中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材序员岗位培训系列教材序中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材序02目录目录目录 03第一章真空技术入第一章真空技术入门门第一章真空技术入门1.5真空技术研究的内容E1.4真空区域的划分D1.1真空技术的发展历史A1.2真空技术与电子技术B1.3真空度的单位C1.6大气层与真空F第一章真空技术入门1.7真空技术的应用思考与练习04第二章真空技术的物理基第二章真空技术的物理基础础第二章真空技术的物理基础2.1气体分子运动论的基本知识2.3气体的道尔顿定律2.5平均自由程2.2气体的压强2.4麦克
2、斯韦速率分布律2.6分子与表面的碰撞频度和从表面的反射第二章真空技术的物理基础M.94275.CN2.8气体的非平衡过程输运现象022.11流导的计算052.7气体的电离012.10流导的概念042.9真空状态下的气体流动032.12物理吸附与化学吸附06第二章真空技术的物理基础2.13气体在固体中的溶解、扩散与渗透2.14小结思考与练习05第三章真空获得真空泵第三章真空获得真空泵第三章真空获得真空泵3.2真空泵的主要参数023.5油扩散泵053.1真空泵的分类013.4旋片机械真空泵（机械泵）043.3真空系统的抽气过程033.6涡轮分子泵063.7分子筛吸附泵01063.11吸气剂泵033
3、.10低温泵3.9溅射离子泵3.12小结023.8钛升华泵0405第三章真空获得真空泵单击此处添加文本具体内容，简明扼要的阐述您的观点。根据需要可酌情增减文字，以便观者准确的理解您传达的思想。单击此处添加标题思考与练习第三章真空获得真空泵06第四章真空度的测量真空第四章真空度的测量真空计计4.1U型真空计4.2压缩真空计（麦克劳真空计）4.3热传导真空计4.4普通型热阴极电离真空计4.5超高真空热阴极电离真空计4.6低真空热阴极电离真空计第四章真空度的测量真空计单击此处添加文本具体内容，简明扼要的阐述您的观点。根据需要可酌情增减文字，以便观者准确的理解您传达的思想。单击此处添加标题第四章真空度
4、的测量真空计4.7冷阴极电离真空计4.8相对真空计的校准4.9小结思考与练习07第五章分压强的测量质谱第五章分压强的测量质谱计计第五章分压强的测量质谱计M.94275.CN5.2磁偏转质谱计025.5四极质谱计055.1质谱计的性能指标015.4飞行时间质谱计045.3回转质谱计（欧米加质谱计）035.6真空系统中残余气体的来源065.7质谱图的识别5.8分压强的计算5.9小结思考与练习第五章分压强的测量质谱计08第六章真空系统第六章真空系统第六章真空系统ABCDEF6.1真空系统的分类6.3真空系统常用组件6.5真空系统的图形符号（GB1364-85）6.2真空系统常用材料6.4真空系统的组装6.6典型真空系统举例第六章真空系统6.7真空卫生6.8小结思考与练习09第七章真空检漏第七章真空检漏第七章真空检漏7.2漏孔的漏率027.5几种真空检漏法057.1概述017.4几种加压检漏法047.3检漏方法分类037.6氦质谱检漏仪的工作原理06第七章真空检漏7.8氦质谱检漏方法及注意事项027.11小结057.7氦质谱检漏仪的性能指标017.10漏孔的修补047.9标准漏孔及其漏率的校准03思考与练习0610附录附录附录 感谢聆听感谢聆听
