1、LOGO 玻璃减薄玻璃减薄 技术技术 ?浮法减薄技术浮法减薄技术 ?TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及面板玻璃减薄工艺流程及不良简介不良简介 2 浮法减薄技术浮法减薄技术 1 2 3 4 浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型原理 玻璃液的拉薄 影响成型质量的因素 3 浮法玻璃成型的定义浮法玻璃成型的定义 ?浮法玻璃成型的定义浮法玻璃成型的定义 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自身重
2、力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。 4 浮法玻璃成型原理浮法玻璃成型原理 ?浮法玻璃成型原理浮法玻璃成型原理 浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃液面上
3、的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃液的拉薄或增厚。液的拉薄或增厚。 5 玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄 ?玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄 浮玻璃液在重力和表面张力平衡时，在锡液面上浮玻璃液在重力和表面张力平衡时，在锡液面上形成自然厚度约形成自然厚度约7mm 的玻璃带。拉引厚度小于的玻璃带。拉引厚度小于自然厚度的玻璃时，必须对玻璃带施加一定的拉自然厚度的玻璃时，必须对玻璃带施加一定的拉力。但是当增加拉引速度时，随着拉引力的增加力。但是当增加拉引速度时，随着拉引力的增加，玻璃宽度和厚度就成比例地减小，因为在玻璃，玻璃宽度和厚度就成比例地减小，因为在玻璃带被拉薄的同时，表面张力的作用使得玻璃带增带被拉薄的同时
4、，表面张力的作用使得玻璃带增厚或使带宽有所收缩，因此要使拉薄过程有效地厚或使带宽有所收缩，因此要使拉薄过程有效地、顺利地进行，必须选择适宜的温度范围、采用、顺利地进行，必须选择适宜的温度范围、采用合理的工艺参数和拉薄措合理的工艺参数和拉薄措 6 玻璃液的拉薄玻璃液的拉薄 施。实践证明，温度范围施。实践证明，温度范围 883769，有利于，有利于玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要求
5、安置若干个拉边机。求安置若干个拉边机。 7 影响成型质量的因素影响成型质量的因素 ?影响成型质量的因素影响成型质量的因素 浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致停产，其中影响成型质量的因素主要包括停产，其中影响成型质量的因素主要包括 锡槽温锡槽温度制度、气氛制度、压力制度等项。度制度、气氛制度、压力制度等项。 8 TFT-LCD面板面板 玻璃减薄玻璃减薄 1 2 3 减薄的作用 减薄工艺简介 常见的减薄不良 9 减薄的作用减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Gla
6、ss达到一定的柔性 10 减薄工艺简介减薄工艺简介 封胶 减薄 研磨 防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入Cell内部，影响产品性能。 用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。 获得光亮、平整的表面。 11 封胶封胶 UV胶胶 封胶工艺封胶工艺 防止强酸破坏防止强酸破坏 Cell封框胶以及进入封框胶以及进入 Cell内部内部 1. 加盖遮光垫 一般在这之前 还会进行检查。 2.涂胶 涂胶后静置 1min。 3.擦胶 清除多的UV胶。 4. UV固化固化 UV固化后检查 破坏破坏TFT结结构构 12 封胶封胶 GLS UV灯 边框胶 加盖遮光垫 涂胶 UV固化 涂胶后检查
7、13 减薄原理及方式减薄原理及方式 6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O 1 液体+固体（玻璃）-液体 2 原理及方式 4 3 14 三种方式优缺点三种方式优缺点 单片直立喷洒单片直立喷洒 多片直立浸泡多片直立浸泡 优点：优点： 优点：优点： 1.可以满足两面不1.可以同时间处理同蚀刻要求。多片多片多片玻璃。 缺点：缺点： 缺点：缺点： 1.蚀刻表面易产生1.装置大型。 凹点。 2.外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。 瀑布流瀑布流 优点：优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛光 15 减薄流程减薄流程 清洗清洗Text in here 蚀刻蚀刻 Slimming 清洗清洗
8、16 减薄设备减薄设备 Loader单元单元 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 预清洗单元 Unloader蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 单元 温度控制器 洗气装置 17 减薄工艺参数减薄工艺参数 1.反应时间与玻璃质量损失的关系反应时间与玻璃质量损失的关系 图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 18 减薄工艺参数减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 19 减薄工艺参数减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的
9、HF键比HF分子中的HF键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。 20 减薄清洗单元（后）减薄清洗单元（后） a. DI水 b. 常温 C. 5min DI浸泡 a. 5-10% NaOH b. 45鼓泡 碱浸泡 C. 10min a. 3% HCl b. 或常温 酸浸泡 C. 1min a. DI水 DI浸泡 b. 常温 C. 5min 清洗 21 研磨研磨 Reject 外观检查 Polishing 清洗 外观检查 Item Item Picture Picture 自动研磨自动研磨 手动研磨手动研磨 适应产品适应产品 可修复不良可修复不良 无破损产品无破损产品 不良率高发，严重不良不良率高
10、发，严重不良 所有产品所有产品 不良率较低的轻微不良不良率较低的轻微不良 CAPA CAPA Q-panelQ-panel抛光，效率高抛光，效率高 针对单点不良修复，效率低针对单点不良修复，效率低 22 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀薄化不匀 23 减薄工艺自身不良减薄工艺自身不良 玻璃本身玻璃本身 玻璃本身含有杂质. 玻璃被蚀刻玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一时局部蚀刻不一致致 玻璃表面玻璃表面 1. 除胶未干净，有残留除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净等未清洗干净 工艺设备工艺设备 1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞
11、（喷淋式蚀刻方式） 24 Slimming后划伤后划伤 Human eye invisible Slimming Slimming前发生轻微Scratch Slimming后Scratch程度加重 25 Slimming后划伤后划伤 1.Lift Pin 凹点 26 Slimming后划伤后划伤 2.Robot吸盘凹点 27 Slimming后划伤后划伤 3.轮印 28 造成造成B-ITO不良不良 1.水渍酸印 现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气
12、长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性 29 其它不良其它不良 1.电阻超标 原因： 酸残留 30 与减薄有关的性耐性与减薄有关的性耐性 牢固度确认牢固度确认 ?对对LCM进行冲击和跌落。进行冲击和跌落。 ?对对LCM进行显示检查和外观检查进行显示检查和外观检查 玻璃基板表面蚀刻状况确认玻璃基板表面蚀刻状况确认 ?将其放入冷热交替的冷热槽中将其放入冷热交替的冷热槽中 ?对对LCM进行显示检查和显微镜进行显示检查和显微镜Glass外观检查外观检查 TFT端子部腐蚀状况的确认端子部腐蚀状况的确认 ?高温高湿的老化槽内进行的持续老化。高温高湿的老化槽内进行的持续老化。 ?SEM对对TFT端子部的表面和断面的观端子部的表面和断面的观察分析察分析 31 End 谢谢！ 32
