1、何謂Gage R&R MSA : Measurement System Analysis 量測系統分析 Gage R&R : Gage Repeatability and Reproducibility 量具再現性與再生性實施步驟:1. 量測樣品確定,表格製作2. 實地量測及記錄3.計算分析 : 圖示法( X-R Chart )4. 計算分析 : 數值法5. 結論及對策量測樣品確定,表格製作 決定實際進行量測人數: mm = 3 決定被量測之樣本數 : nn = 5 決定重復量測次數 : tt = 5 製作適當表格品名 : TFT 14.1 實裝面板名稱 : 對位偏移檢查機品保課/QAT組 A
2、特性 : IC貼付偏移量編號 : TF32240100模組課/實裝組 B模組課/實裝組 C1234512345平均值全距12345平均值全距12345平均值全距備 註平均值量測品名/規格量測設備量測人員/時間規格 : 0 +- 10 um量測人員編號量測次數SAMPLE 編號ABPANEL平均值GRR表表格格範範例例實地量測及記錄 每位量測人員依照相同之標準量測程序進行操作 量測作業必須彼此獨立,且具有相當熟練度 量測記錄時,應詳避免受到其他人員量測數值之影響 量測時每一樣本只取一點即可,但此點必須是同一位置計算分析 : 圖示法 計算 X & R R管制界線 : UCLR = D4 R CLR
3、 = R LCLR = D3 R X管制界線 : UCLX = X + A2 R CLX = X LCLX = X - A2 Rn A2D3D4nA2D3D4nA2D3D421.88003.26750.57702.11580.3730.3161.86431.02302.57560.48302.00490.3370.1841.81640.72902.82870.4190.0761.924100.3080.2231.777管制圖係數管制圖係數品名 : Panel 面板名稱 :品保課/QAT組 A特性 : Pre-tilt angle 量測編號 :模組課/實裝組 B模組課/實裝組 C1234515.
4、78-6.996.514.774.4525.83-6.986.524.664.4235.87-6.986.524.664.4345.87-6.986.534.634.4255.89-6.976.544.624.42平均值5.848-6.986.5244.6684.4282.8976全距0.110.020.030.150.030.06815.9-6.986.264.674.4625.9-6.946.294.634.4735.86-6.936.274.634.4645.91-6.936.244.64.4655.92-6.926.294.614.44平均值5.898-6.946.274.6284.4
5、582.8628全距0.060.060.050.070.030.05415.707-7.025.914.694.625.73-6.995.944.644.5835.71-6.985.914.64.5645.72-6.985.94.584.5555.7-6.975.884.574.55平均值5.7134-6.9885.9084.6164.5682.76348全距0.030.050.060.120.050.0625.8198-6.96936.2344.637334.48467規格 :備 註A量測人員編號量測次數SAMPLE 編號平均值BPre-tilt anglePre-tilt angle GR
6、R : X-bar -chartGRR : X-bar -chart-8-6-4-202468123456789101112131415CLXUCLXLCLX量測值Date : 2000/7/25Pre-tilt angle GRR: R-chartPre-tilt angle GRR: R-chart00.020.040.060.080.10.120.14123456789101112131415CLrUCLrLCLrR值Date : 2000/7/25管制圖判斷R chart : R chart : 用以判定量具之鑑別力用以判定量具之鑑別力若全距值皆落於管制圖內則此量測儀器之鑑別力足夠 ;
7、 若很多點落於管制圖外則表示此儀器鑑別力不足.X chart : X chart : 用以判定量具之量測誤差用以判定量具之量測誤差若大多數點皆落於管制界限之外則表示此量具之誤差小於樣本誤差.(與一般管制圖判斷準則相反)計算分析 : 數值法 Rp = 被測樣本平均值之 Max - Min Ro = 操作員量測平均值之 Max - Min EV = R * K1 ( 再現性) AV = (Ro * K2)2 - ( EV2 / n*t ) (再生性) R & R = (EV2 + AV2 ) (再現性與再生性) PV = Rp * K3 (樣本變異) TV = ( R & R )2 + PV2 (
8、 全變異 ) n nK1K1K2K2K3K32 24.564.563.653.653.653.653 33.043.042.72.72.72.74 42.52.52.32.32.32.35 52.212.212.082.082.082.086 61.931.937 71.821.828 81.741.749 91.671.6710101.621.62GRR K 值係數值係數R & R 評價 % EV = ( EV / TV or 允差允差 ) * 100 % 要求要求 % EV 10 % % AV = ( AV / TV or 允差允差 ) * 100 % 要求要求 % AV 10 % % R & R = ( PV / TV or 允差允差 ) * 100 % (1) % R&R 10 % : 狀況良好狀況良好 (2) 10%= % R&R 30% : 必須改進必須改進,否則量測不準確否則量測不準確.一般而言以一般而言以“允差允差”當分母當分母
