1、传感器培训讲座WWWWWW 免费咨询电话：800-820-4535接近传感器介绍一、接近传感器工作原理二、接近传感器的专用术语三、接近传感器的注意事项与特性曲线四、接近传感器的选型与命名五、接近传感器的应用六、接近传感器实验接近传感器的磁力线接近传感器的磁力线检测到磁力线的变化检测到磁力线的变化传感器输出信号传感器输出信号涡电流的涡电流的反磁力反磁力线线信号线信号线检测对象：具备产生涡电流能力，否则即使是磁性体不具备产生涡电流检测对象：具备产生涡电流能力，否则即使是磁性体不具备产生涡电流 能力也不能检测出来；能力也不能检测出来；检测距离：产生涡电流能力越强，检测距离越长检测距离：产生涡电流能力
2、越强，检测距离越长接近传感器（检测金属）工作原理磁性磁性（InductiveInductive）接近传感器接近传感器原理原理高频率高频率发送机发送机CoilCoil检测对象检测对象（金属板金属板）涡电流涡电流线圈引发的线圈引发的高频率磁场高频率磁场涡电流引发的涡电流引发的磁场磁场通过高频发震器通过高频发震器CoilCoil而发出高频而发出高频磁场磁场被测对象被测对象（金属金属）接近时表面会接近时表面会产生涡电流产生涡电流（Eddy CurrentEddy Current），涡，涡电流又会引发磁场电流又会引发磁场涡电流引起的磁场受发震器的影涡电流引起的磁场受发震器的影 响而停止震动响而停止震动通
3、过振动的有无使控制输出通过振动的有无使控制输出ON/OFFON/OFF无被测对象无被测对象有被测对象有被测对象OFFOFFONON发震器的动作发震器的动作控制输出控制输出检测对象是会发生涡电流的电导体，检测对象是会发生涡电流的电导体，越接近磁性体越接近磁性体（容易变成磁铁容易变成磁铁）产生产生的涡电流越大、灵敏度越高的涡电流越大、灵敏度越高。即便是磁性体，象铁酸盐那样的熔即便是磁性体，象铁酸盐那样的熔铸合金是绝缘体，不会发生涡电流，铸合金是绝缘体，不会发生涡电流，所以不易被检测所以不易被检测。利用交流磁场的变化 通过接近传感器把生 产线上不同的金属罐分类。檢測距離:0.8-0.8-1010mm
4、mm接近传感器应用（一）主回路主回路静电容量型接近传感器静电容量型接近传感器检测检测物体物体接近传感器（检测非金属）工作原理可以检测几乎所有物体（导体和电解质）。可以检测几乎所有物体（导体和电解质）。诱电率大的材质容易被检测诱电率大的材质容易被检测。検出物体検出物体04KL0（真空的诱电率真空的诱电率）s04Ks（诱电比诱电比）s值值石蜡石蜡2.12.12.52.5紙紙2.02.02.62.6橡胶橡胶2.02.03.53.5木材木材2.52.57.77.7玻璃玻璃5.45.49.99.9酸化物酸化物 8383183183通过静电容量的变化传感器给通过静电容量的变化传感器给出输出信号出输出信号由
5、于产品中具有不同 的静电容量，利用静电容量型接近传感器可以检测出纸盒包装内有无饮品。接近传感器应用（二）检测距离:3-253-25mmmm接近传感器应用（三）接近传感器术语接近传感器术语接近传感器术语接近传感器术语接近传感器术语接近传感器术语接近传感器术语磁力线集中检磁力线集中检测距离较短测距离较短磁力线分散检磁力线分散检测距离长测距离长屏蔽型屏蔽型非屏蔽型非屏蔽型屏蔽型屏蔽型非屏蔽型非屏蔽型接近传感器术语主回路主回路茶茶蓝蓝負荷負荷主回路主回路茶茶蓝蓝負荷負荷+V+V0V0V負荷負荷主回路主回路負荷負荷茶茶蓝蓝黒黒出力出力+V+V0V0V+V+V主回路主回路負荷負荷茶茶蓝蓝黒黒出力出力0V0
6、V直流直流2 2线式线式交流交流2 2线式线式直流三线式（直流三线式（NPNNPN）直流三线式（直流三线式（PNPPNP）主回路主回路白白黒黒灰灰電源電源AC24AC24240V240VDC12DC12240V240V有接点式有接点式OFFOFF負荷消灯負荷消灯直流直流電源電源近接近接主回路主回路3 3线式配线线式配线負荷消灯負荷消灯OFFOFF2 2线式配线线式配线直流电源直流电源主回路主回路传感器的动作电流为传感器的动作电流为泄漏电流泄漏电流O Obe：残留电压残留电压负载电流负载电流接近传感器注意事项检测物体的材质检测物体的材质（参照后面曲线图参照后面曲线图）额定检测距离为标准检测物体额
7、定检测距离为标准检测物体：定为纯铁定为纯铁（Pure IronPure Iron）。）。磁性接近传感器的检测距离由材质的透磁率磁性接近传感器的检测距离由材质的透磁率（磁束通磁束通过的容易度过的容易度）决定决定、距离随材质变化距离随材质变化。检测物体的大小检测物体的大小每种型号的大小不同，但如果小于标准检测物体，会引每种型号的大小不同，但如果小于标准检测物体，会引 起检测距离低下起检测距离低下。检测物体的厚度检测物体的厚度（参照后面曲线图参照后面曲线图）一般检测物体以一般检测物体以1mm1mm为准。检测物体的厚度比为准。检测物体的厚度比0.1mm0.1mm薄会薄会 产生表皮效果产生表皮效果（Sk
8、in EffectSkin Effect），检测距离延长，检测距离延长。相互干扰相互干扰接近传感器以高频率振动接近传感器以高频率振动。相邻设置的话会引起相互干扰相邻设置的话会引起相互干扰、相邻使用不同频率的传感器可以防止相互干扰相邻使用不同频率的传感器可以防止相互干扰。电源复位电源复位/电源电源OFFOFF时时负载与传感器连接在不同的电源上时请先接通传感器电负载与传感器连接在不同的电源上时请先接通传感器电 源，传感器通电源，传感器通电100100毫秒后即处于可检测状态。关闭电源时要毫秒后即处于可检测状态。关闭电源时要先将负载关闭。先将负载关闭。传感器导线颜色（所有传感器通用）传感器导线颜色（所
9、有传感器通用）电源：褐（）蓝（）电源：褐（）蓝（）交流两线也是褐交流两线也是褐/蓝蓝 控制输出：输出控制输出：输出1 1（黑）输出（黑）输出2 2（白）（白）传感器动作指示灯颜色传感器动作指示灯颜色 日本美国的标准为红色。欧洲为橙色，所以日本美国的标准为红色。欧洲为橙色，所以IECIEC使用橙色，使用橙色，现欧姆龙的产品多为红色。现欧姆龙的产品多为红色。接近传感器注意事项接近传感器特性曲线图（一）检测物体的大小、材料与检测距离的关系检测物体的大小、材料与检测距离的关系物体的大小小于标准检测物体时，检测距离变小。对于同等大小的物体来说，依材料不同而不同。铁的检测距离最长。接近传感器特性曲线图（二
10、）检测物体的厚度与检测距离的关系检测物体的厚度与检测距离的关系根据表皮效果根据表皮效果（Skin Skin EffectEffect）、）、检测物体检测物体越越薄，产生的涡电流薄，产生的涡电流强，检测距离越长强，检测距离越长。（即便是即便是AlAl也比厚铁也比厚铁片的距离长片的距离长）101030300.40.4漏电流漏电流（mAmA）電源電圧（電源電圧（V V）对对2 2线式传感器很重要线式传感器很重要V V0V0V负载负载回路回路i i传感器即使不处于传感器即使不处于ONON状态，也状态，也存在让回路动作的电流存在让回路动作的电流i i。负载过大或不想让电流流过负载负载过大或不想让电流流过
11、负载的情况下，需要加入泄放电阻的情况下，需要加入泄放电阻（BleederBleeder Resister Resister）泻放电阻泻放电阻E2E-XE2E-XD DOFFOFF直流直流電源電源主回路主回路O O漏电流漏电流（I IR R）泻放泻放 电阻电阻（）（）(k)(k)I IR R(ma)(ma)o o(ma)(ma)o o(ma)(ma)：负载的复位电流负载的复位电流I IR R负载指示灯负载指示灯漏电流特性漏电流特性二线式传感器二线式传感器接近传感器的型号标准接近传感器的型号标准E2/TLE2/TL 接近传感器接近传感器（TLTL旧型号旧型号：也有主力机种也有主力机种）-X-X带螺
12、丝的圆柱型带螺丝的圆柱型-C-C无螺丝圆柱型无螺丝圆柱型-F/-W-F/-W扁平型扁平型-2 2数字是额定检测距离数字是额定检测距离（mmmm）R R为小数点为小数点1R51R51.51.5、R5R50.5mm0.5mm-M M非屏蔽型非屏蔽型-D D直流直流2 2线式线式-B B直流直流3 3线式线式PNPPNP集电极开路输出集电极开路输出-C C直流直流3 3线式线式NPNNPN集电极开路输出集电极开路输出-E E直流直流3 3线式线式NPNNPN电压输出电压输出-F F直流直流3 3线式线式PNPPNP电压输出电压输出-Y Y交流交流2 2线式线式-T T交流交流/直流直流2 2线式线式
13、-NONO输出输出-NCNC输出输出-M-M接插件连接型接插件连接型（M1M1M12M12、M3M3M8M8）接近传感器的应用接近传感器的应用接近传感器检测电机的转速E2EZE2EZ防铝切粉接近防铝切粉接近（CD-69CD-69）即使表面堆积有铝或铁的切即使表面堆积有铝或铁的切粉，也不会发生误动作粉，也不会发生误动作E2ESE2ES金属探头接近金属探头接近（CD-75CD-75）传感器表面也采用传感器表面也采用SUSSUS材料不易损坏材料不易损坏检测物体检测物体造成接近传感器损坏的最大造成接近传感器损坏的最大原因是由于被测物体撞击传原因是由于被测物体撞击传感器的检测面感器的检测面世界上只有欧姆
14、龙等世界上只有欧姆龙等2 2个公司生产个公司生产E2EYE2EY非磁性金属用接近非磁性金属用接近（CD-84CD-84）世界上只有欧姆龙生产世界上只有欧姆龙生产检测物体大小和材质的影响检测物体大小和材质的影响AlAl 铜铜 黄铜黄铜SUSSUS鉄鉄 NiNi不检测铁或不检测铁或NiNi这这样的磁性金属，样的磁性金属，而只检测而只检测A A或铜或铜等非磁性金属。等非磁性金属。不受周围金属不受周围金属（铁铁）的的影响，可以检测铝罐影响，可以检测铝罐等物体。等物体。光电传感器介绍光电传感器介绍一、光电传感器概述二、光电传感器的工作原理及特点三、光电传感器术语四、光电传感器型号标准五、光电传感器选型六
15、、光电传感器实验光电传感器概述 光电传感器由投光器与受光器组成，一般用来检测物体的通过，投光器中的投光元件从最早的灯泡发展到现在的LED，受光器中的受光元件从最初的光电阻元件发展到现在的PD。传感器的外部构造也由最初的放大器内藏型发展到现在的放大器分离型。能在更广范围下使用。主回路主回路電源電源投光器投光器電源電源負荷負荷主回路主回路受光器受光器茶茶青青黒黒茶茶蓝蓝+L3+L3-L3-L3对射型光电传感器原理图实际应用：车辆的通过检测投受光器投受光器回帰反射板回帰反射板主回路主回路電源電源負荷負荷回归反射型光电传感器实际应用：透明瓶的通过检测投受光器投受光器主回路主回路電源電源負荷負荷扩散反射
16、型光电传感器实际应用：纸箱的通过检测投光素子受光素子呈正反射光结构，检测距离限定于某个范呈正反射光结构，检测距离限定于某个范围，不易受到背景物体的干扰。围，不易受到背景物体的干扰。这段范围属于这段范围属于可检测可检测光強光強检测距离限定反射型光电传感器实际应用：检测磁带上有无IC片部件投光素子投光素子PSDPSD检测距离检测距离（可变可变）门槛门槛値値PSDPSD输出输出检测距离检测距离检测方式和前面的一样检测方式和前面的一样。但是受光素子是但是受光素子是PSDPSD（位置检测元件）。利用（位置检测元件）。利用PSDPSD上的上的光点位置的变化阻值也在变化。光点位置的变化阻值也在变化。注：注：
17、PSDPSD上的光点的位置决定输出。（而不是光量）上的光点的位置决定输出。（而不是光量）距离设定型光电传感器光电传感器的型号标准光电传感器的型号标准E3/F3=E3/F3=表示光电传感器表示光电传感器到到E3E3-为止的为止的3 34 4个字母称为型名个字母称为型名（E3S-AE3S-A、E3S-BE3S-B、E3S-CE3S-C、E3G-LE3G-L是例外的型名是例外的型名）-之后的部分称为号名之后的部分称为号名T T=对射型对射型R R或或RS =RS =回归反射型回归反射型D D或或DSDS =扩散反射型扩散反射型LSLS =距离射定型距离射定型G G或或GS =GS =凹槽型凹槽型Co
18、nfidential CConfidential C实际应用：不同流水线上的瓦楞纸箱检测黑轮胎检测黑轮胎通用放大器内藏光电开关的重要机种通用放大器内藏光电开关的重要机种（）（）Built-in Amplifier Photo-Electric SwitchBuilt-in Amplifier Photo-Electric SwitchE3ZE3Z参照样品参照样品。（。（AD-140AD-140）通用品的主力机种通用品的主力机种/21/21世纪的标准光电开关世纪的标准光电开关除标准机种外，还有细径除标准机种外，还有细径、透明瓶透明瓶、凹槽型凹槽型。预定增加距离射定型预定增加距离射定型（02/40
19、2/4）。）。省电省电（是原来的是原来的70%70%）、）、无铅化生产无铅化生产（不使用不使用PbPb）。）。E3TE3T参照样品参照样品。（。（AD-166AD-166）世界最小的机种世界最小的机种/省空间光电省空间光电小型机器小型机器 装置内部装置内部。最适合检测微小物体最适合检测微小物体。E3S-AE3S-A高机能机种。高机能机种。（AD-177AD-177）卧式卧式/立式立式、定时器定时器、turboturbo、自我诊断自我诊断、外部诊断外部诊断。（turboturbo按下按下turboturbo按钮光量增强，便于调整按钮光量增强，便于调整）光纤式光电传感器 光纤式光电传感器是一种放光
20、纤式光电传感器是一种放大器分离型的光电传感器，光纤传感器中大器分离型的光电传感器，光纤传感器中也有对射型、回归反射型和扩散反射型。也有对射型、回归反射型和扩散反射型。光纤传光纤传感器能够检测一些由于空间太小一般传感感器能够检测一些由于空间太小一般传感器无法安装的场合，或在特殊环境下。器无法安装的场合，或在特殊环境下。光纤传感器因为光纤的优点光纤传感器因为光纤的优点以及它的数字化显示，是目前光电传感器以及它的数字化显示，是目前光电传感器发展的主流。下面先介绍光纤传感器的发发展的主流。下面先介绍光纤传感器的发展。展。高温下的通过检测1990199520002005能在狭小空间里使用的传感器能轻松地
21、调整灵敏度数值化管理（操作的标准化）省配线手动调节手动调节（旋钮旋钮）式式示教式示教式数字式数字式 E3X-A型 E3X-NA型 E3X-DA(DA-N)型 E3X-NT/NM型 E3X-NH型E3X-DA-SE3X-DA-SMDAMDA型型高精度稳定检测发展趋势数据履历（可靠性）随着高速、高精度检测用途随着高速、高精度检测用途，数值化管理数值化管理（使用的简便性使用的简便性）要求的增加，要求的增加，数字式产品的需求在急速提升数字式产品的需求在急速提升。光纤传感器的发展E3X-DA-SMDA型系列调整到最容易使用的光量、光量调整 功能。（）无需复杂的模式设定。（）能解决近距离设置的光量饱和以及
22、光量不足的问题。无需模式选择无需模式选择原来原来新提案新提案按一下按一下无变化无变化有变化有变化不能检测不能检测可以检测可以检测无工件无工件有工件有工件调整到最容易使用的光量、光量调整 功能。专利申请中专利申请中支持长期稳定的高精度检测的元素回路。通过采用新开发的4元素（Auto Power Control）回路，实现同行业最高级的长期稳定检测。最高级最高级无无E3X-DA-S/MDA操作的标准化操作的标准化管理的数值化管理的数值化随着需要的变化，传感器也在不停进化随着需要的变化，传感器也在不停进化。E3X-DA-S/MDA探头设置门槛值调整操作专利申请中专利申请中受光量门槛值受光量峰值保持百
23、分比门槛值大型光量条在使用过程中，能从有帮助性的丰富的表示方法中根据实际用途进行选择。标准（门槛值设定.功能设定）受光量受光量门槛门槛値値文字的大小同行业最大接通电源只要按键设定门槛值后就马上可以使用了。受光量見受光 値簡単確実設定。E3X-DA-S/MDA同时并列使用多个光纤传感器同时并列使用多个光纤传感器。您没有觉得使用中有困难吗您没有觉得使用中有困难吗？配线操作传感器的调整设定操作放大器的设置空间相互干扰可以多个 同时使用E3X-DA-S/MDA进一步发挥传感器性能的手机式控制器。已获得专利已获得专利能在光纤的探头旁边进行设定示教微调整。通过统一示教多个放大器能被同时进行示教。E3X-D
24、A-S/MDA同行业最薄实现通道相当于。（E3X-MDA）型）专利申请中专利申请中E3X-DA-S/MDAE3X-DA-S/MDA彻底消除含铅材料。拓展应用范围的各种 超先进功能工作时数字显示能全灭灯或暗亮灯。（ECO模式）比原有产品节省约的耗电量ECO-mode 只能使用手持式控制器设定。E3X-DA-S 性能参数（一）E3X-DA-S 性能参数（二）应用图、解決方法光纤探头紧密安装在玻璃面上。无水时，玻璃内径的反射光数值为。有水时，由于光扩散到水里、反射光的数值将减少30左右。能检测出这个差值。标题：槽内水位的检测行业：药品工程装置名：调和机检测物体：水检测开关名称：光纤开关型号：E3X-
25、DA11-SE32-D11L问題点希望检测直径为的槽内的水位。希望通过点检测水位、由于在加压槽中，所以只能通过探视窗口进行检测。课题在不振动的条件下，能稳定地进行有无检测的开关。适合采用能稳定检测出透明的水。效果能稳定控制槽内的水位。D11LD11L无水无水有水有水E3X-MDA 性能参数（一）E3X-MDA 性能参数（二）应用：应用：检测物体的有无并检测物体的有无并且判定其正反面且判定其正反面首先检测物体的有无，然后判定物体的正、反首先检测物体的有无，然后判定物体的正、反面。以往实现此功能需要两个传感器，但面。以往实现此功能需要两个传感器，但是现在使用是现在使用E3X-MDAE3X-MDA只
26、要一个就可以实现。只要一个就可以实现。解解 决决E3X-MDA 应用个特长个特长与数字式光纤放大器同样大小（宽幅）的能驱动激光的放大器单元激光光束有点状、线状、块状3种光学结构可供选择以3种型号实现长距离的检测通过焦点聚焦调整结构、可变化光束的形状尺寸 搭载有最适合长距离定位用的光轴调整结构可调整横方向的激光出射角度在探头单元上采用了清晰易见的大型表示灯 在传感器探头上装有能一目了然地确认检测动作的大型指示灯，为现场的简便使用提供了视 觉上的支持。探头单元的接插件化使安装更简便传感器的放大器和探头通过接插件可实现即时装卸。因此，探头更换、接线操作、维护等场合下能多次反复地连接。E3C-LDA
27、介绍E3C-LDA 介绍数字式激光传感器是什么样的产品！E3C-LDA系列是放大器分离型的产品的升级产品。数字式显示，并使用激光的 ON/OFF传感器。由于该产品是SmartSensor中的一员，所以与SmartSensor家族的其他成员一样拥有共同操作性，再加上与激光驱动的探头单元组合使用，是功能强大的数字式放大器分离型产品。E3C-LDA 介绍检测距离50mm处光点直径是50m，检测距离是1m处光点直径是1mm，可以轻松检测小物体。E3C-LDA具有将光束随心所欲的改变形状的特征：例如点状探头（E3C-LD11）上装上光束变化单元就能变成线状光、块状光。激光光束有点状、线状、面状3种可供选
28、择，各种光束的大小可调所以可以对物体做出最合适的检测，实现检测的高质量。E3C-LDA 介绍在同行业中率先搭载了光轴调整结构。到目前为止，只能对安装面做上下方向的调整，横方向的调整必须通过特制的安装配件，用薄板夹住，或用安装调谐器弯曲来对应。本产品通过光轴调整结构，在横方向上能将激光出射角调整 2，可大幅度削减工时。（专利申请中）使用FOCUS旋纽，根据工件状况可以将激光光束调整到以下三种情况：点状光源能调整光点直径的大小 线状光源能调整光线的长短 块状光源能调整光块的面积只有欧姆龙的产品能做这样的调整只有欧姆龙的产品能做这样的调整 主攻行业！应用方面，通过激光的透射性（窄视野）和数字显示的有
29、效利用，有以下两点:能在远距离检测以下的微小物体是适合伸出检查和定位检查的传感器。应用应用：钟表齿轮的中心针压入工程部分E3C-LDA 介绍光电传感器术语（一）光电传感器发生动作的范围；光电传感器发生动作的范围；（主要指对射性和回归反射型）（主要指对射性和回归反射型）无感应地带无感应地带处于投受光区域以外的无动作区域，处于投受光区域以外的无动作区域，在这块区域内不能检测；（距离设在这块区域内不能检测；（距离设定型，限定反射型，扩散反射型，定型，限定反射型，扩散反射型，回归反射型）回归反射型）应差距离应差距离动作距离与复位距离的差；动作距离与复位距离的差；（主要指扩散反射型）（主要指扩散反射型）
30、应答时间应答时间从输入光的断续开始到控制输从输入光的断续开始到控制输出的动作或复位为止的时间出的动作或复位为止的时间 光电传感器术语（二）光电传感器术语（三）遮光动作与入光动作遮光动作与入光动作 遮光是遮断或者减少进入受光器的光束时使用输出型；入光则是增加进入受光器的光束时使用输出型。自我诊断自我诊断 通过光量的稳定度判断。与一般光电传感器都带有的绿色稳定指示灯连动，稳定指示灯熄灭则输出ON，表示不稳定。外部诊断输入外部诊断输入 外部诊断输入外部诊断输入ON/OFFON/OFF时如时如控制输出变化的话，传感器正常控制输出变化的话，传感器正常，若传感器一直处于，若传感器一直处于ONON或或OFF
31、OFF不变的情况下，那么该传感器有不变的情况下，那么该传感器有故障。故障。光电传感器术语（四）光电传感器术语（五）标准检测物体与最小检测物体标准检测物体与最小检测物体 对射型和回归反射型是根据光学结构的对角线长度将直径较大的不透明体的尺寸作为标准物体，一般的对射型是以投、受光器的对角线长度作为标准检测物体的长度。回归反射型则是从反射板的对角线长度作为标准检测物体的直径。扩散反射型是根据投光束的直径将大张的白纸作为标准检测物体。最小检测物体：对射型和回归反射型的是在额定检测距离下，对灵敏度正确调整把能检测到的最小检测物体记录下来，反射型的光电开关将灵敏度设定到最大，把可检测的最小检测物体记录下来
32、。光电传感器术语（六）环境照明环境照明 指受光器的表面照度指受光器的表面照度 （LuxLux）的允许值（即）的允许值（即传感器不传感器不 会发生误动会发生误动作的照度。）作的照度。）光电传感器术语（七）M.S.RM.S.R功能功能 利用回归反射型的光利用回归反射型的光电传感器内置的过滤器与电传感器内置的过滤器与回归反射板的特性，拥有回归反射板的特性，拥有只接受从回归反射出的反只接受从回归反射出的反射光功能的结构。射光功能的结构。通过M.S.R检测无光泽物通过1与2来区分，检测有光泽物体通过1与3来区分.M.S.R.功能应用特性曲线平行移动特性光电传感器术语（八）位移传感器介绍位移传感器介绍一、
33、位移传感器工作原理与应用一、位移传感器工作原理与应用二、位移传感器术语二、位移传感器术语三、位移传感器分类三、位移传感器分类四、位移传感器注意事项四、位移传感器注意事项五、位移传感器实验五、位移传感器实验Position Sensing Device（）LaserLens上的成像位置（重心）PSD和CCD相比，具有小型，低价的特点*distance被测物的表面状态（材料）重要激光光束的直径很重要若确定了这两个条件，那若确定了这两个条件，那么位移传感器的选择就很么位移传感器的选择就很简单简单 检测范围位移传感器原理 光学式应用：微小物体测高应用：微小物体测高、激光变位传感器测定原理激光变位传感器
34、测定原理 投光側投光側受光側受光側基本的激光变位传感器采用三角測距方式，它的受光元件采用光位置检出元件PSD或电荷传送元件CCDPSD方式的特征：通过対象物上反射激光在受光元件（PSD）上投影的重心位置换算成距離。CCD方式的特征：通过対象物上反射激光在受光元件（CCD）上投影，CCD各元素的光量换算成距离。方式方式方式方式NEARNEARFARFAR激光投射在物体表面，対象物表面凹凸不明显或基本不存在色差，両者的精度基本一致。対対对对象物象物方式方式方式方式激光投射在物体表面，対象物表面凹凸明显或存在色差，PSD方式的重心位置与真正位置会发生偏差誤差真値重心位置値桔像受光素子重心位置値被检测
35、对象物表面情况被检测对象物表面情况理想或不理想理想或不理想白色瓷砖白纸木材印刷物（色系）金属树脂玻璃（透明物体）对象物代表例根据对象物材质不同，激光反射方式不同容易检测，精度高被測定対象物的表面状態（材質）很重要白色扩散物表面粗糙颜色暗透明表面光滑不容易检测，精度低位移传感器原理 静电容量式根据被测物和传感器之间根据被测物和传感器之间的静电容量的变化来输出的静电容量的变化来输出线性电压或电流。线性电压或电流。应用：晶圆片平整度确定应用：晶圆片平整度确定位移传感器原理 超声波式超声波探头发出的超声波脉冲在传送到相关被测界面后，经过反射后再返回接受探头。应用：超声波测距应用：超声波测距位移传感器术
36、语（一）一、分辨率：线性输出的摆动幅度。一、分辨率：线性输出的摆动幅度。二、响应时间：二、响应时间：分辨率和响应时间关系分辨率和响应时间关系位移传感器术语（二）三、温度特性：对应周围温度变化的线性输出的变动量，通常将其与三、温度特性：对应周围温度变化的线性输出的变动量，通常将其与整个测定范围相比，以百分比的形式来表示。例如整个测定范围相比，以百分比的形式来表示。例如0.03%FS/0.03%FS/.C C四、线性：对于线性输出的理想四、线性：对于线性输出的理想直线出现的误差，通常将其与整直线出现的误差，通常将其与整个测定范围相比，以百分比的形个测定范围相比，以百分比的形式表示，例如式表示，例如
37、1%FS1%FS。位移传感器术语（三）五、输出方式：五、输出方式：2 2、模拟输出、模拟输出1 1、判断输出、判断输出Small&WideSmall&WideAdvancedAdvancedEasy Easy IntelligentIntelligent位移传感器介绍通过检测状态的履历管理，通过检测状态的履历管理，可灵活进行品质管理，制定可灵活进行品质管理，制定问题对策问题对策。传感器放大器内置单元软件信息活用传感器设定工具位移传感器使用注意事项 一、使用光学式位移传感器注意事项一、使用光学式位移传感器注意事项：1、被测物体存在色差2、旋转物体检测3、被测物体是黑色4、被测物有段差二、使用超声波传感器注意事项二、使用超声波传感器注意事项1、互相干扰2、被测物体
