1、 一、一、什么是静电？什么是静电？1.感性认识：1）乘电梯手被电击 2）晚上脱衣服电火花 3）塑料片相互吸附难以分开 2.概念：静电即“静止”的电，是物体表 面过剩或不足的静电荷 通常在绝缘体和非接地导体上形成二、二、静电是从哪里来的静电是从哪里来的 1.产生根源：物体由原子组成，原子含等量的 带正电的中子和带负电的电子，得到或失去电子就能使物体带负 电或正电。2.产生渠道：1）摩擦起电(接触分离)运动的绝对性，静电存在于全部时间和空间注意:给体和受体均为导体2)传导+contact+separation3)感应起电 +E_+E+E三、影响静电大小和极性的因素三、影响静电大小和极性的因素相互作
2、用的材料相互作用的材料磨擦频率及接触力度磨擦频率及接触力度相对位置及接触面积相对位置及接触面积分离速度分离速度相对湿度（相对湿度（60%以上）以上）+_1.1.常见物体的带电特性常见物体的带电特性失去电子的材料带有正电失去电子的材料带有正电得到电子的材料带有负电得到电子的材料带有负电典型动作静电电压典型动作静电电压静电电荷源测得的电压10%20%RH测得的电压65%90%RH走过地毯35000 1500在聚烯烃类塑料地面行走12000250工作台旁操作的工人6000100从座椅上站起身300001200翻动聚乙烯膜封皮的说明书7000600从工作台拾起普通聚乙烯袋 200001200坐在垫有聚
3、胺脂泡沫的工作椅 18000 1500四、四、静电对电子工业的危害静电对电子工业的危害 1.电子器件对静电的敏感度 20世80年代，器件体积较大,多为分离器件,敏感度较低 敏感电压一般大于500V,甚至高于15KV 20世纪90年代，随着大规模集成电路的发展,器件越来越 小也越来越敏感，敏感电压甚至小于10V参考值:人体能够感觉到电压为2500V延时失效延时失效器件功能劣化，降低寿命器件功能劣化，降低寿命 未到设计寿命即在客户现场发生故障，增加损失，引起昂贵维修费用较难在出厂前检测出较难在出厂前检测出,影响影响信誉信誉 占占90%完全失效完全失效使器件完全丧失功能使器件完全丧失功能 金属层融化
4、 结点断裂 氧化损坏出厂前不能正常工作，可以检测出出厂前不能正常工作，可以检测出 占占10%静电对生产的危害静电对生产的危害材料损失劳动力浪费返工费用管理费用增加现场服务费客户满意度2.静电的另一种危害方式静电对污染控制的危害颗粒存在于硅片表面引起线路破坏颗粒存在于物体表面影响外观（人眼可观测到物体大于50微米）静电吸附：静电存在于物体表面将吸附灰尘且难于消除3.静电对器件的作用方式 1）EOSElectroStatic Discharge 静电释放Electrostatic Over Stress 静电过压 2）ESD安全快速释放静电对器件的损害是通过电流冲击引起的,所以有效控制电流释放速度
5、是静电控制的基本要求R=103R=1012t(s)U(v)InsulativeInsulativeInsulativeStaticDissipativeStaticDissipativeStaticDissipativeConductiveConductiveConductiveStatic shieldingOhm-cmOhmsOhms/sq1.0 E+121.0 E+111.0 E+51.0 E+4 Volume Resistivity Concentric RingSurface Resistivity ASTM D-257Surface Resistance S11.11-1993五、
6、防治五、防治静电的方法静电的方法1.接地适合导体和静电耗散材料适合导体和静电耗散材料接地必须有一定电阻接地必须有一定电阻,防止电荷消散过快而防止电荷消散过快而 引起电流冲击引起电流冲击接地必须可靠接地必须可靠,防止瞬间断路出现防止瞬间断路出现防静电系统必须有可靠的接地系统防静电系统必须有可靠的接地系统,接地电阻接地电阻 小于小于4欧姆欧姆防静电接地线不得接于电源零线上防静电接地线不得接于电源零线上,不得与防雷不得与防雷 地线共用地线共用电子器件在运输存放过程中不可避免的会受到电磁场的干扰,产生间接ESD,从而引起静电敏感器件损伤,导致设备不能正常工作当器件或设备长时间存放或长途运输,通过不可预
7、测环境时,需将其置于电磁场屏蔽容器,避免间接ESD侵害2.屏蔽3.中和导体可以通过接地消除静电绝缘体表面电荷不能自由移动,不能通过接地消除悬置导体没有泄放途径中和通过电离完成，物体表面吸引相反电荷而成电中性（1）离子中和设备（2）离子中和设备选择参数离子平衡度离子消散时间建立ESD控制小组并指定专门人员协调检查根据静电敏感等级评估确定防静电项目实施区域建立并完善防静电系统设施,并正确使用得到主管领导的支持员工的ESD培训六、六、静电防护方案实施静电防护方案实施 静电防护方案实施静电防护方案实施防静电标志ESD Association Standard ANSI ESD S8.1-1993 ESD Awareness Symbols provides two symbols for ESD identification
