1、h1h2h3h4h5h6浅能级杂质的特点浅能级杂质的特点:浅能级杂质的作用浅能级杂质的作用:h7h8h9h10h11载流子浓度载流子浓度=(状态密度状态密度g(E)分布函数分布函数f(E)dE)/V*状态密度状态密度=所掺施主杂质的浓度所掺施主杂质的浓度ND(E=ED)*状态密度状态密度=所掺受主杂质的浓度所掺受主杂质的浓度NA(E=EA)h12h13h14重点:重点:n0、p0、EF随掺杂浓度和温度的变化规律随掺杂浓度和温度的变化规律方法:方法:n0、p0、nD、PA+电中性方程电中性方程h15温温 区区 低温 中温 高温 费米能级费米能级 载流子浓度载流子浓度)2ln(21210CDDCF
2、NNTkEEETkECDDeNNn021202)ln(0CDCFNNTkEEDNn 0CVVCiFNNTkEEEEln21210TkEVCigeNNnpn021200h16(1)n T分析、讨论分析、讨论TkECDDeNNn021202DNn 0TkEVCigeNNn0212h17(2)EF Th18(3)EF 掺杂(掺杂(T一定,则一定,则NC也一定)也一定)T一定,ND越大,EF越靠近ECT一定,NA越大,EF越靠近EV。h19锌锌(Zn)(Zn)在在SiSi中为一双重受主中为一双重受主,即每一个即每一个ZnZn原子可在原子可在E EA1A1(E(EA1A1-E-EV V=0.31eV)=0.31eV)能能接收接收1 1个电子个电子,在较高能级在较高能级E EA2A2(E(EA2A2-E-EV V=0.55eV)=0.55eV)上接受第上接受第2 2个电子个电子.为了完全为了完全补补偿偿1 1个个N ND D=1016cm-3=1016cm-3的的n-Sin-Si样品样品,需要掺入需要掺入ZnZn的浓度为多少的浓度为多少?(?(设设Eg=1.12eV)Eg=1.12eV)2.某掺施主杂质的非简并某掺施主杂质的非简并SiSi样品,试求样品,试求E EF F=(E EC C+E+ED D)/2/2时施主的浓度。时施主的浓度。.h20h21h22h23