1、創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 1三福化工特殊化學品事業部化學品簡介三福化工特殊化學品事業部化學品簡介 1. Developer (顯影液) TMAH (氫氧化四甲基銨) KOH (氫氧化鉀) NaOH (氫氧化鈉) Na2CO3 (碳酸鈉) 2. Etchant (蝕刻液) Oxalic acid (草酸) H3PO4 (磷酸) HNO3 (硝酸) Acetic acid (醋酸) HF (氫氟酸) 3. Stripper (光阻剝離劑) DMSO (二甲基亞碸) BDG (二乙二醇單丁醚) MEA (DEA & TEA) (單乙醇胺) NMP (氮-甲基四氫吡咯酮) HA
2、 (羥胺) 4. Thinner & EBR (光阻稀釋劑與洗邊劑) PGME (丙二醇單甲醚) PGMEA (丙二醇單甲醚醋酸酯) ANONE (環己酮) NBAC (醋酸丁酯)創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 2半導體製程簡介半導體製程簡介基板基板(玻璃或矽晶圓)金屬薄膜金屬化(濺鍍或沉積等)光阻(PR)塗佈光阻光罩曝光創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 3半導體製程簡介半導體製程簡介基板金屬薄膜顯影蝕刻去光阻創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 41. Developer (顯影液顯影液) 用途 利用鹼性顯影液將光阻(PR, Photo Resi
3、st)經曝光後形成的有機酸中和、剝落，留下未反應的光阻圖案。 主要成分 TMAH KOH NaOH Na2CO3創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 51-1. 25%TMAH 中文名稱：25%氫氧化四甲基銨 英文名稱：25%Tetramethylammonium hydroxide 危害性 / 毒性等級：強鹼性(第八類腐蝕性物質) / 具急毒性 LD50 oral rat：50 mg/kg 物理性質 分子式 / 結構式：C4H13NO / (CH3)4NOH 分子量：91.15 (g/mole) 熔點：- 沸點： 100 閃火點：- 自然溫度：- 爆炸界限：- 比重：1.02 溶
4、解度(H2O/20 )：全溶 pH值：13 (強鹼性) CAS No.：75-59-2 UN：1835 別名：TMAH創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 6CH3H3CCH3NTMAH3COOCH3CODMC1.6MPa, 130MethanolCO2OCH3H2OMethanolCH3H3CCH3NCH3CH3H3CCH3NCH3CH3H3CCH3NCH3CH3H3CCH3NCH3HCO3TMAC反應水解TMAH生產方法生產方法(1)創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 7CH3H3CCH3NCH3CH3H3CCH3NCH3HCO3TMACO2CO2H2O陽極陰極C
5、H3H3CCH3NCH3CH3H3CCH3NCH3HCO3CH3H3CCH3NCH3CH3H3CCH3NCH3OHH2OH2離子膜TMAH電解TMAH生產方法生產方法(2)創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 8全球各廠全球各廠TMAH產能產能排名公司名稱產能(噸/年)1美國Sachem25,0002日本Tama20,0003台灣長春石化9,6004大陸 格林達9,0005日本Tokuyama5,0006日本昭和電工3,0007韓國三星化學2,000創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 9台灣台灣TMAH進口量與價格進口量與價格(歷年歷年)歷年TMAH進口數量與價格02
6、,0004,0006,0008,00010,00012,00014,00016,00018,00019961997199819992000200120022003200420052006年度進口數量(MT)0102030405060708090100進口價格(NTD/kg)進口數量(MT)進口價格(NTD/kg)年度 進口數量(MT)進口價格(NTD/kg)19968667819971,3377519981,5448919991,7569220003,8898720015,1758420026,1187320036,1357120048,68964200510,80762200615,7595
7、8創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 10台灣台灣TMAH進口量與價格進口量與價格(各國各國)95年度重量(kg)價值(仟元) 平均單價 重量(kg)價值(仟元) 平均單價 重量(kg)價值(仟元) 平均單價 重量(kg)價值(仟元) 平均單價1月577,06033,92358.79283,03916,50958.3335,40083223.5056,1603,17356.502月683,34439,38857.64258,86016,29562.9500#DIV/0!19,0301,07056.233 月691,15641,45459.98324,06318,68257.656
8、1,9053,71960.0837,8902,13356.294月830,22150,23760.51131,0107,27855.55149,1858,27855.4938,0902,14156.215月551,96733,75061.14246,19914,13557.41124,2106,43051.77128,4506,71352.266月586,68135,49660.50304,77917,72558.16124,0054,92439.7157,2103,35758.687月830,88749,32759.37435,50925,05757.53348,59017,82251.13
9、76,3104,35057.008月599,32934,94858.31281,35816,79659.70282,13013,99349.60117,6306,42354.609月891,98650,82456.98329,94520,34361.66154,0008,28453.7976,4104,35256.9610月1,307,39074,15856.72320,98919,89961.99199,58010,12950.75171,2909,49055.4011月1,039,12357,42355.26162,21911,02767.98305,91012,52640.95170,5
10、409,24054.1812月701,70038,98855.56129,9358,10262.35187,4009,45650.46168,4808,91952.94合計9,290,844539,91658.113,207,905191,84859.801,972,31596,39348.871,117,49061,36154.91平均單價(NTD/kg)58.1159.8048.8754.91日本韓國大陸美國創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 11TMAH來源與產能來源與產能 三福 : 7,500 mt/y 大陸杭州 (格林達)創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page:
11、 12未來未來TMAH擴產計劃擴產計劃 2008-Q1 : 5,000 mt/y 台灣台南科學園區 2008-Q3 : 7,000 mt/y 大陸杭州蕭山 (格林達) 2008-Q4 : 7,000 mt/y 大陸杭州蕭山 (格林達) 2008-Q4 : 5,000 mt/y 台灣台南科學園區創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 13三福化工台南科學園區三福化工台南科學園區TMAH廠廠TAIWAN(10,000 mt/y)創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 1425%TMAH規格規格(電子級電子級) Assay%25.000.10CO3-2 (Carbonate)pp
12、m 100Cl-1 (Chloride)ppb 100Ag (Silver)ppb 5Al (Aluminum)ppb 5Ba (Barium)ppb 5Bi (Bismuth)ppb 5Ca (Calcium)ppb 5Cd (Cadmium)ppb 5Co (Cobalt)ppb 5Cr (Chromium)ppb 5Cu (Copper)ppb 5Fe (Iron)ppb 5Ga (Gallium)ppb 5In (Indium)ppb 5K (Potassium)ppb 5Li (Lithium)ppb 5Mg (Magnesium)ppb 5Mn (Manganese)ppb 5Na
13、 (Sodium)ppb 5Ni (Nickel)ppb 5Pb (Lead)ppb 5Sr (Strontium)ppb 5Tl (Thallium)ppb 5Zn (Zinc)ppb0.5um)pcs/ml 100創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 15各廠牌各廠牌TMAH規格比較規格比較ItemSan FuTOK多聯多聯(Tama)Assay25.00 0.10 %25.00 0.50 %25.0 0.5 %CO3-2 (Carbonate) 100 ppm 1000 ppm 500 ppmCl-1 (Chloride) 0.1 ppm 0.5 ppm 0.1 ppmAg
14、(Silver) 5 ppb 5 ppbAl (Aluminum) 5 ppb 10 ppbBa (Barium) 5 ppbBi (Bismuth) 5 ppbCa (Calcium) 5 ppb 10 ppb 10 ppbCd (Cadmium) 5 ppbCo (Cobalt) 5 ppbCr (Chromium) 5 ppb 10 ppbCu (Copper) 5 ppb 5 ppb 10 ppbFe (Iron) 5 ppb 10 ppbGa (Gallium) 5 ppbIn (Indium) 5 ppbK (Potassium) 5 ppb 5 ppb 10 ppbLi (Lit
15、hium) 5 ppbMg (Magnesium) 5 ppb 5 ppb 10 ppbMn (Manganese) 5 ppb 5 ppbNa (Sodium) 5 ppb 10 ppb 10 ppbNi (Nickel) 5 ppbPb (Lead) 5 ppbSr (Strontium) 5 ppbTi (Titanium) 5 ppbTl (Thallium) 5 ppbZn (Zinc) 5 ppb 10 ppbParticles ( 0.5 m) 100 pieces / ml 100 pcs / ml 100 pcs/ml創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 16TM
16、AH實績實績 LCD 奇美電子、廣輝電子、友達光電、中華映管、群創光電、元太科技、久正光電、彩煇科技 LED 晶元光電、光磊科技、元砷光電、連勇科技、燦圓光電、光磊科技、洲磊科技、泰谷光電、全新光電、炬鑫科技、友嘉科技、廣鎵科技、新世紀光電 其他 多聯科技、台灣東進、銓品國際、永榮化學、永德化學、三喬貿易、和鴻國際、合皓股份、陸肯特創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 17TMAH應用應用 顯影液(電子業) 電鍍液創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 182. Etchant (蝕刻液蝕刻液) 用途 蝕刻未受光阻保護的金屬，留下受光阻保護的金屬線路圖。 主要成分 ITO
17、蝕刻液 草酸 鋁蝕刻液 磷酸/硝酸/醋酸創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 192. Etchant (蝕刻液蝕刻液) Oxalic acid (草酸) 磷酸 硝酸 醋酸 氫氟酸創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 202-1.草酸基本性質草酸基本性質 中文名稱：草酸 英文名稱：Oxalic acid dihydrate 危害性 / 毒性等級：酸性(第八類腐蝕性物質) / 2 LD50 oral rat：7,500 mg/kg 物理性質 分子式 / 結構式：C2H4O2H2O / (COOH)2 2H2O 分子量：126.03 (g/mole) 熔點：101 沸點：1
18、50 閃火點：- 自然溫度：- 爆炸界限：- 視密度：900 kg/m3 溶解度(H2O/20 )：10.2% pH值：1 CAS No.：6153-56-6 UN：- 別名：創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 21草酸應用草酸應用 電子業用ITO蝕刻液 醫藥中間體 電容器 生產電池用的鈦酸鋇 稀釷金屬提純 特殊酚醛樹脂創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 223. Stripper (光阻剝離劑光阻剝離劑) 用途 去除蝕刻完的光阻(PR)，使受光阻保護的圖案(金屬線路)顯現出來。 主要成分 N-300 (三福品名：BM-73) BDG / MEA = 70 / 30
19、 TOK-106 MEA / DMSO = 70 / 30創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 233. Stripper (光阻剝離劑光阻剝離劑) DMSO (二甲基亞碸) BDG (二乙二醇單丁醚) MEA (單乙醇胺) DEA (二乙醇胺) TEA (三乙醇胺) NMP (氮-甲基四氫吡咯酮) HA (羥胺)創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 243-1. DMSO基本性質基本性質 中文名稱：二甲基亞碸 英文名稱：Dimethyl sulfoxide 危害性 / 毒性等級：非危險物品 / F LD50 oral rat：14,500 mg/kg 物理性質 分子式
20、 / 結構式：C2H6OS / CH3SOCH3 分子量：78.13 (g/mole) 熔點：18 沸點：189 閃火點：95 自然溫度：270 爆炸界限：1.8 Vol% 比重：1.10 溶解度(H2O/20 )：全溶 pH值：中性 CAS No.：67-68-5 UN：- 別名：DMSO創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 25DMSO應用應用 電子業用剝離劑 藥廠用醫藥中間體或溶劑 農藥 高分子碳素纖維 紡織業用抽絲溶劑 防凍劑 膠片清洗創新 誠信 簡樸 2022/3/28 Page: 264. Thinner & EBR (光阻稀釋劑與洗邊劑光阻稀釋劑與洗邊劑) 用途 稀釋光阻或清洗光阻。 主要成分 PGME (丙二醇單甲醚) PGMEA (丙二醇單甲醚醋酸酯) ANONE (環己酮) NBAC (醋酸丁酯) 應用 油漆、塗料稀釋劑
