1、Ribcon connectorAn infrared microspectrometer systemUV-LIGA mold insert of a nickel alloy(20205 mm3).MicrogearBlood typing microfluidic biochip 模拟结果模拟结果加工方法典型机构尺寸典型深宽比模具镶块材料超精度铣削1001000m1050镍，铝电火花加工101000m10100钢激光烧灼及电镀5500m110镍合金硅微细加工及电镀2500m110镍合金UV-LIGA2500m110镍合金LIGA0.51000m10100镍合金电子束光刻及电镀0.10.5
2、m12镍合金甩胶前烘光刻中烘电铸去胶成形金属模具显影光刻胶金属基底光源掩膜板(a)(c)(d)(e)(b)UV-LIGA技术制造型腔镶块技术制造型腔镶块 实验设备实验设备 水水 平平因因 素素水水 平平水平水平1 1水平水平2 2水平水平3 3 A注射压力（注射压力（MPa）A1110 A2130 A3150 B注射速率（）注射速率（）B145 B265 B385 C保压压力（保压压力（MPa）C190 C2110 C3130 D模具温度（模具温度（）D170 D2100 D3130 E熔体温度（熔体温度（）E1180 E2200 E3220 F注射量（注射量（cm3）F10.76 F20.8
3、9 F31.02工艺实验因素水平表工艺实验因素水平表 因素因素内容内容注射压力注射压力注射速率注射速率保压压力保压压力模具温度模具温度熔体温度熔体温度注射量注射量实验误差实验误差POM方差方差分析结果分析结果2.13%4.77%6.75%25.8%6.73%4.39%PP方差方差分析结果分析结果8.74%5.69%40.86%32.95%7.3%4.47%POM最佳最佳工艺条件工艺条件110MPa85%90MPa1302200.76cm3PP最佳最佳工艺条件工艺条件110MPa65%90MPa1002001.02cm3模具温度和熔体温度是至关重要的因素模具温度和熔体温度是至关重要的因素，但两者的重要程度与材料不重要程度与材料不同而有所区别同而有所区别。但模温和熔体温度过高会引起微型塑件的质量缺陷，如塑件收缩率较大、产生飞边和翘曲等现象。相同成型工艺条件下，PP材料微型齿轮平均填充率达到了77.9%，POM材料的微型齿轮平均填充率为37.4%，而ABS材料则很难填充进微型齿轮型腔。齿顶部分最难填充齿顶部分最难填充，可以采取预先将模腔抽成真空预先将模腔抽成真空的方法，这样可以明显改善塑件的成型质量。冷水机电热棒 温度传感器交流接 触器XMT型数显调节表电源冷却水道型腔动模板水管水管入水口出水口
