1、化学供应系统介绍化学供应系统介绍2012年8月16日目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍1.总述：化学品供应系统位于G07的酸碱/有机溶剂房中，为G07的生产设备提供生产原料化学品。酸碱/有机溶剂房化学品按照性质分类：1）酸碱液体2）有机溶剂 控制系统分为：1）化学品供应系统2）化学品泄漏报警系统以上二个系统整合为化学控制系统 化学品供应系统化学品供应系统目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.T
2、EE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍2.厂务集中供应的化学品种类：化学名称中文名称化学品性质VMB分布区域H2SO4硫酸酸性背面工艺区HCL盐酸酸性清洗剥离区HF+HNO3氢氟酸+硝酸酸性背面工艺区H3PO4磷酸酸性清洗剥离区BOE氢氟酸+氟化铵酸性清洗剥离区I2+KI碘+碘化钾酸性黄光区H2O2双氧水强氧化性清洗剥离区NH4OH氨水碱性清洗剥离区DEV显影液（SD-1）碱性黄光区/背面黄光NMPN-甲基吡咯烷酮有机类清洗剥离区IPA异丙酮有机清洗剥离区EBROK73稀释剂有机黄光区/背面黄光Remover去除剂有机背面工艺区酸碱类化学品一共有9种，位于G07酸碱化学房间有机溶剂
3、类化学品一共有4种，位于G07有机溶剂房间化学品供应系统化学品供应系统离子注入区背面工艺区晶圆开始备件清洗区空片清洗区老化实验室测试区品质实验室化学实验室搬运通道进料检验区出货检验区EBRDEVI2+KIHCLG07一楼核心区域化学品VMB分布区域图：化学品供应系统化学品供应系统H3PO4BOEH2O2NH4OHIPANMPDEVEBRH2SO4HF+HNO3Remover目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍有机类：有机类：EBRREMOVER NMPIPA酸碱类：酸
4、碱类：BOE(HF+NH4F)I2+KI H2O2H2SO4 H3PO4 HCl HF(HF+HNO3)NH4OHDEV化学供应系统取样口G07二楼机台G07一楼G07一楼酸碱/有机溶剂房间过滤器化学隔膜泵照明灯化学品桶气液分离器取样口Piping(1)PFA&C-PVC(2)SUS316-EPT-BOX取样口3.化学系统流程图(一)I2+KI溶剂供应流程图：化学系统流程图（二）化学品供应系统化学品供应系统TOOL机台PLCSCADA计算机CDM化学供应柜T-BOX主管路循环过滤25秒后供酸化学品供液流程：机台提出供酸需求，启动CDM（化学供应柜）循环过滤后，打开VMB（分阀箱）内气动阀，将化
5、学品供应至机台。化学品供应供酸VMB分阀箱泄漏警报化学系统流程图（三）控制系统化学供应系统信号传输化学控制要点：1.房內需有UPS 电盘，并將化学品柜的信号连线至中控室。2.化学房及中控室设置紧急停止按鈕于中央监控系統上，在中控室的监控系統上可以关闭供应机台。3.化学控制室和FMCS 系統上监控化学系统设备实施运行状态。设备种类设备种类检测项目检测项目控制系统控制系统化学供应柜运行状态、阀门开/关、压力、各种报警、泵压力、过滤器压差报警 1.采用数据远程传输。2.声光报警装置 3.数据实时共享上传 化学VMB阀门开/关、压力、运行状态、泄漏报警监控电脑各种设备运行状态、采集机台数据、与FMCS
6、电脑共享数据化学品供应系统化学品供应系统目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍 H2SO4/H3P04 PID 4.化学设备PID图化学品供应系统化学品供应系统 HCl/BOE/HF/DEV/NH4OH/H2O2 PID化学品供应系统化学品供应系统 I2+KI PID化学品供应系统化学品供应系统IPA/EBR/NMP/Remover PID化学品供应系统化学品供应系统目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的
7、构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍5.酸碱CDM（化学供应柜）外观构造 三色灯控制柜设备配套管路酸桶柜CDM正面酸桶柜内部链条挂钩抽风口链条照明灯滑轮波纹管接头控制柜正面控制柜侧面压力表空桶状态指 示灯按钮备用状态指 示灯按钮蜂鸣器静音按钮EMO紧急停机按钮触摸屏PN2气源压力隔膜泵气源压力气动阀气源压力化学品供应系统化学品供应系统化学品取样口过滤器气动隔膜泵控制柜压力表有机溶剂CDM外观构造CDM正面CDM侧面CDM内部正面酸桶柜控制柜正面空桶状态指示灯按钮备用状态指示灯按钮蜂鸣器静音按钮EMO紧急停机按钮触摸屏化学品供应系统化学品供应系统应急培训应急培训酸碱供应设
8、备（参考图）酸碱供应柜（参考图）有机溶剂供应柜（参考图）I2+KI储罐（参考图）化学品供应系统化学品供应系统应急培训应急培训酸碱VMB(参考图)有机溶剂VMB(参考图)有机溶剂供应柜(参考图)T-BOX (参考图)化学品供应系统化学品供应系统目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍箱体内侧下方装设泄漏侦测器Drain PortinletTo ToolsCDA inletDrain PortExhaust气动阀手动阀41321.箱体以PP/SUS制成2.CPVC/SUS外盖
9、3.箱体与外盖间以密封 条密合4.管件以PFA/SUS316L -EP材质制成6.VMB构造化学品供应系统化学品供应系统目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍主管路主管路VMBDrain Port手动阀箱体内侧下方装设泄漏侦测器1.箱体以PP/SUS制成2.CPVC/SUS外盖3.箱体与外盖间以密封条密合4.管件以PFA/SUS316L-EP材质制成化学品供应系统化学品供应系统7.TEE-BOX构造应急培训应急培训酸碱VMB(参考图)有机溶剂VMB(参考图)有机溶剂供应
10、柜(参考图)T-BOX (参考图)化学供应系统化学系统主要材料介绍：化学供应系统气动隔膜泵（参考图）过滤器外壳（参考图）滤芯（参考图）气动隔膜阀（参考图）应急培训应急培训酸碱管路（参考图）PFA-Tube（参考图）Clear-PVC（参考图）化学品接头材料（参考图）化学供应系统目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.紧急应变介绍n辅助系统流程图nCDAnN2nUPWnEXHnDrain化学品供应系统化学品供应系统酸碱房辅助系统流程图化学品供应系统化学品供应系统成都嘉石：有机房辅助系统
11、流程图化学品供应系统化学品供应系统CDA 作用：CDM和VMB中的气动阀、气动泵等的动力源。工作压力：气动阀：3Bar-4Bar；气动泵：3Bar-5Bar；管路材质：SUS316L-BA。管路配置：1.CDA管路进化学房1米，预留截止阀。2.进口安装5过滤器。3.接每台CDM或VMB的CDA管路配置阀门。UPW作用：水枪、管路Flush用。管路材质：HP-PVDF；管路配置：1.界面：供回水管路进化学房1米，预留截止阀。2.UPW用于药液稀释和冲洗管路，需将UPW供回水接至CDM进口处。3.接每台CDM 的UPW管路配置阀门。4.有机溶剂化学品不需配置UPW。5.特殊化学品不能使用UPW，如
12、：H2SO4系统不能UPW冲洗管路。化学品供应系统化学品供应系统作用：用于气枪、Drum氮封、KOG箱和管路Purge。工作压力：气 枪：2-3Bar。氮 封：1Bar。电 箱 Purge:系统压力，配节流阀 管 路 Purge:2-3Bar，配单向阀 管路材质：SS316L-EP；管路配置：1.界面：管路进化学房1米，预留截止阀。2.接每台CDM的N2管路配置阀门。PN2化学品供应系统化学品供应系统EXH作用：将CDM内含化学品空气抽走，保持设备内新风环境。通常工作压力范围：130Pa-250Pa。分类及管路材质：酸性排风：PP；碱性排风：PP；有机排风：SS304。管路配置：1.界面：管路
13、进化学房1米，预留风阀。2.接每台CDM或VMB的管路配置阀门。3.排风系统不能混接，特别是酸性排风和有机排风不能混接。4.主管须有5的坡度，最低点接排水管，接至 废液收集盒。5.保证每台CDM 每分钟换气2-3次。化学品供应系统化学品供应系统Drain作用：排除设备内积液、管路排液。通常工作压力范围：CDM至废液收集盒采用重力排。分类及管路材质：酸性排水碱性排水有机排水管路材质PPPPSS304Pump材质PPPPSS304Pit Tank 材质PPPPSS304连杆式液位传感器PPPPSS304防爆化学品供应系统化学品供应系统目录:1.系统目的2.化学品的种类3.化学系统流程图4.化学设备
14、PID图5.CDM外观及构造6.VMB的构造7.TEE-BOX的构造8.辅助系统设计9.运转化学品注意事项化学品供应系统化学品供应系统1.充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危害性，危害标示，危害途径及防护措施。2.工作前，先行思考及演练各细节后，再行动。3.工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认。4.严格按照作业指导书进行操作，两人互相检查。5.正确选用及使用适当防护器具。6.正确处理化学品废弃物，避免造成后续伤害。7.良好个人安全卫生环保习惯。8.认知工作安全”意外”意识。运转操作注意事项（一）化学品供应系统化学品供应系统熟知化学品泄漏处理七项步骤 远离泄漏源辨示泄漏状况 寻求协助支持
15、 管制隔离污染区 拯救伤员 围堵外泄物 清除污染物及环境检测 事故调查记录留存熟知化学品淋溅烧伤之急救处理 稀释、去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质 自救-救人前应先保护自己 冲-清水不断冲洗至少15分钟 脱-边冲边脱并避免二次伤害 支持-请求支持成立紧急处理ERT 对HF时-须不断地涂抹葡萄酸钙(涂抹-按摩-擦净-涂抹)送-尽速送医运转操作注意事项（二）化学品供应系统化学品供应系统熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理 原则 1.维持呼吸，血液循环，维持患者生命2.减轻患者病痛，促使其能早日康复 呼吸道 1.离开污染区(避免自己或其它人再受污染)2.喊叫，打电话求救，请求支持3.确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医 消化道食入 1.喊叫，打电话求救，请求支持2.催吐(若昏迷，意识不清或误食腐蚀性物质，则不得催吐)3.确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医 眼睛接触 1.迅速翻开眼睑，清水轻洗15分钟以上，立刻送医 运转操作注意事项（三）化学品供应系统化学品供应系统应急培训应急培训连接酸桶连接酸桶更换化学品（一）更换化学品（一）更换化学品防护服更换化学品防护服叉酸车叉酸车化学品供应系统化学品供应系统谢谢！
