1、Inspection and Measurement ofBasic Geometrical Parameters第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测本章学习内容本章学习内容6.4 表面粗糙度的检测表面粗糙度的检测 6.3 几何误差的检测几何误差的检测6.2 线性尺寸的检测线性尺寸的检测6.1 概述概述第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.1 概述概述General Description本章所参照的主要国家标准本章所参照的主要国家标准GB/T 3177-2009 产品几何技术规范（产品几何技术规范（GPS）光滑工件尺寸的检验光滑工
2、件尺寸的检验GB/T 1957-2006 光滑极限量规光滑极限量规 技术条件技术条件GB/T 10920-2008 螺纹量规和光滑极限量规型式与尺寸螺纹量规和光滑极限量规型式与尺寸GB/T 1958-2004 产品几何量技术规范（产品几何量技术规范（GPS）形状和位置公差形状和位置公差 检测检测规定规定 GB/T 11336-2004 直线度误差检测直线度误差检测 GB/T 11337-2004 平面度误差检测平面度误差检测 本章所参照的主要国家标准本章所参照的主要国家标准第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 检验检验无需测出被测量的具体量值即可判断其是否合格无需测出被测量的具体量值即
3、可判断其是否合格的实验过程。的实验过程。检测检测是是测量测量与与检验检验的统称。的统称。6.1.1 检测检测 测量属于定量检测，检验属于定性检测。测量属于定量检测，检验属于定性检测。测量测量将被测量与作为测量单位的标准量进行比较求比将被测量与作为测量单位的标准量进行比较求比值，从而确定被测量量的实验过程。值，从而确定被测量量的实验过程。6.1.2 检测的标准温度检测的标准温度根据国标的有关规定，检测的标准参考温度为根据国标的有关规定，检测的标准参考温度为20。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.2 线性尺寸的检测线性尺寸的检测Inspection and Measurement o
4、f Linear size 零件上尺寸的检测及其合格性判断需要注意两个问题。零件上尺寸的检测及其合格性判断需要注意两个问题。由于任何计（测）量器具都存在内在的误差，因此由于任何计（测）量器具都存在内在的误差，因此无法得到被测尺寸的真值。若以极限尺寸（或实体尺寸）无法得到被测尺寸的真值。若以极限尺寸（或实体尺寸）作为合格性的验收极限，势必会出现误判作为合格性的验收极限，势必会出现误判误收或误废。误收或误废。此外，对遵守包容要求的尺寸要素，除需要用计量此外，对遵守包容要求的尺寸要素，除需要用计量器具检测其局部尺寸是否超出最小实体尺寸界限外，还要器具检测其局部尺寸是否超出最小实体尺寸界限外，还要判断
5、尺寸要素是否超出最大实体边界。判断尺寸要素是否超出最大实体边界。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.2.1 用通用计量器具测量用通用计量器具测量2.误收与误废误收与误废误收误收把不合格品判为合格品。把不合格品判为合格品。误废误废把合格品判为不合格品。把合格品判为不合格品。1.验收原则与标准温度验收原则与标准温度 所用验收方法应只接收位于规定的尺寸极限之内的工件。所用验收方法应只接收位于规定的尺寸极限之内的工件。测量的标准温度为测量的标准温度为20。误收或误废的原因是由于测量误差的存在。误收或误废的原因是由于测量误差的存在。为保证产品质量，只允许误废，不允许误收。为保证产品质量，只允
6、许误废，不允许误收。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测误收与误废误收与误废第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测3.验收极限与验收极限方式验收极限与验收极限方式 验收极限是判断所检验工件尺寸合格与否的尺寸界限。验收极限是判断所检验工件尺寸合格与否的尺寸界限。国家标准规定，按验收极限验收工件。国家标准规定，按验收极限验收工件。国家标准规定，验收极限可按下列两种方案之一确定。国家标准规定，验收极限可按下列两种方案之一确定。验收极限是从规定的最大实体尺寸（验收极限是从规定的最大实体尺寸（MMS）和最小实）和最小实体尺寸（体尺寸（LMS）分别向工件公差带内移动一个）分别向工件公差带内移
7、动一个安全裕度安全裕度（A）来确定。来确定。A值值根据工件公差（根据工件公差（T）来确定，约为）来确定，约为T的的1/10（见（见附表）附表）。内缩方案内缩方案第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测孔的验收极限：孔的验收极限：上验收极限最小实体尺寸（上验收极限最小实体尺寸（LMS）安全裕度（）安全裕度（A）下验收极限最大实体尺寸（下验收极限最大实体尺寸（MMS）安全裕度（）安全裕度（A）轴的验收极限：轴的验收极限：上验收极限最大实体尺寸（上验收极限最大实体尺寸（MMS）安全裕度（）安全裕度（A）下验收极限最小实体尺寸（下验收极限最小实体尺寸（LMS）安全裕度（）安全裕度（A）第第6章章
8、基本几何量的检测基本几何量的检测公差等级公差等级678公称尺寸公称尺寸/mm大于大于 至至TAu1TAu1TAu1360.60.540.91.4101.00.91.52.3141.41.32.13.23680.80.721.21.8121.21.11.82.7181.81.62.74.161090.90.811.42.0151.51.42.33.4222.22.03.35.01018111.11.01.72.5181.81.72.74.1272.72.44.16.11830131.31.22.02.9212.11.93.24.7333.33.05.07.43050161.61.42.43.62
9、52.52.33.85.6393.93.55.98.85080191.91.72.94.3303.02.74.56.8464.64.16.91080120222.22.03.35.0353.53.25.37.9545.44.98.112120180252.52.33.85.6404.03.66.09.0636.35.79.514180250292.92.64.46.5464.64.16.910727.26.51116250315323.22.94.87.2525.24.77.812818.17.31218315400363.63.25.48.1575.75.18.413898.98.01320
10、400500404.03.66.09.0636.35.79.514979.78.71522安全裕度（安全裕度（A）与计量器具的测量不确定度允许值（）与计量器具的测量不确定度允许值（u1）m第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测公差等级公差等级91011公称尺寸公称尺寸/mm大于大于 至至TAu1TAu1TAu13252.52.33.85.6404.03.66.09.0606.05.49.01436303.02.74.56.8484.84.37.211757.56.81117610363.63.35.48.1585.85.28.713909.08.114201018434.33.96.59
11、.7707.06.31116110111017251830525.24.77.812848.47.61319130131220293050626.25.69.314100109.01523160161424365080747.46.71117120121118271901917294380120878.77.813201401413213222022203350120180100109.015231601615243625025233856180250115121017261851817284229029264465250315130131219292102119324732032294872
12、315400140141321322302321355236036325481400500155161423352502523385640040366090安全裕度（安全裕度（A）与计量器具的测量不确定度允许值（）与计量器具的测量不确定度允许值（u1）（续）（续）m第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 不内缩方案不内缩方案 验收极限等于规定的最大实体尺寸（验收极限等于规定的最大实体尺寸（MMS）和最小实）和最小实体尺寸（体尺寸（LMS），即），即安全裕度安全裕度A值值等于零。等于零。4.验收极限方式的选择验收极限方式的选择 要结合尺寸功能要求及其重要程度、尺寸公差等级、测要结合尺寸功能
13、要求及其重要程度、尺寸公差等级、测量不确定度和过程能力等因素综合考虑。量不确定度和过程能力等因素综合考虑。对遵循包容要求的尺寸、公差等级高的尺寸，其验收极限按内缩方案对遵循包容要求的尺寸、公差等级高的尺寸，其验收极限按内缩方案确定。确定。对非配合和一般公差的尺寸，其验收极限按不内缩方案确定。对非配合和一般公差的尺寸，其验收极限按不内缩方案确定。当过程能力指数（工艺能力系数）当过程能力指数（工艺能力系数）CP1时，其验收极限可以按不内缩时，其验收极限可以按不内缩方案确定；但对遵守包容要求的尺寸，其最大实体尺寸一边的验收极限方案确定；但对遵守包容要求的尺寸，其最大实体尺寸一边的验收极限仍按内缩方案
14、确定。仍按内缩方案确定。对偏态分布的尺寸，其验收极限可以仅对尺寸偏向的一边按内缩方案对偏态分布的尺寸，其验收极限可以仅对尺寸偏向的一边按内缩方案确定。确定。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测5.计量器具的选择计量器具的选择 计量器具的选用原则计量器具的选用原则 按照计量器具所导致的测量不确定度（简称计量器具按照计量器具所导致的测量不确定度（简称计量器具的不确定度）的允许值（的不确定度）的允许值（u1）选择计量器具。）选择计量器具。计量器具的不确定度计量器具的不确定度u1系指在测量结果的测量不确定度系指在测量结果的测量不确定度（u）中由计量器具所引入的不确定度分量。）中由计量器具所引入
15、的不确定度分量。选择时，应使所选用的计量器具的测量不确定度数值选择时，应使所选用的计量器具的测量不确定度数值等于或小于标准所规定的等于或小于标准所规定的u1的允许值。的允许值。注：注：u1值按测量结果的测量不确定度值按测量结果的测量不确定度u与工件公差与工件公差T的比值分档：的比值分档：用于用于IT6IT11的分为的分为、三档三档。用于用于IT12IT18的只分为的只分为、两档。两档。、档值分别约为工件公差的档值分别约为工件公差的1/10、1/6和和1/4。u1 约为约为 u的的0.9倍。倍。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 计量器具的测量不确定度允许值（计量器具的测量不确定度允许
16、值（u1）的选定）的选定 选用前述国家标准表选用前述国家标准表1中计量器具的测量不确定度允许中计量器具的测量不确定度允许值（值（u1）。一般情况下，优先选用一般情况下，优先选用档，其次选用档，其次选用档、档、档档。6.仲裁仲裁 对测量结果的争议，可以采用更精确的计量器具或事先对测量结果的争议，可以采用更精确的计量器具或事先双方商定的方法解决。双方商定的方法解决。一般情况下按一般情况下按GB/T 18779.1进行合格或不合格判定。进行合格或不合格判定。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测第第6章章
17、基本几何量的检测基本几何量的检测【例例6-1】被测工件为被测工件为 ，试确定验收极限并选，试确定验收极限并选择合适的测量器具。择合适的测量器具。025.0064.0f845 E解：解：确定验收极限确定验收极限 由于该轴精度要求为由于该轴精度要求为IT8 级且级且采用包容要求，故验收极限按内缩采用包容要求，故验收极限按内缩方案确定。方案确定。根据工件公差根据工件公差T=0.039mm，查表确定安全裕度查表确定安全裕度A 和测量器具和测量器具的不确定度允许值的不确定度允许值u1:mm0039.0 Amm0035.01 u上验收极限上验收极限=MMS A=44.971mm下验收极限下验收极限=LMS
18、+A=44.940mm第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 选择测量器具选择测量器具 根据工件的公称尺寸以及查表确定的测量器具的不确定根据工件的公称尺寸以及查表确定的测量器具的不确定度允许值度允许值u1，查表选择不确定度，查表选择不确定度u1不超过不超过u1的测量器具。的测量器具。查表可知，分度值为查表可知，分度值为0.005mm的比较仪的不确定度的比较仪的不确定度mm0035.0mm003.011 uu因此可以用它来检测本例的工件。因此可以用它来检测本例的工件。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.2.2 用光滑极限量规检验用光滑极限量规检验 光滑极限量规（光滑极限量规（p
19、lain limit gauges）是一种没有刻度的是一种没有刻度的专用测量器具。它（们）虽不能测出工件局部尺寸及形状误专用测量器具。它（们）虽不能测出工件局部尺寸及形状误差的具体大小，但能差的具体大小，但能根据极限尺寸判断原则（泰勒原则）根据极限尺寸判断原则（泰勒原则）判判断被测工件的提取组成要素是否超出最大实体边界、提取组断被测工件的提取组成要素是否超出最大实体边界、提取组成要素的局部尺寸是否超出最小实体尺寸。光滑极限量规适成要素的局部尺寸是否超出最小实体尺寸。光滑极限量规适用于有包容要求、大批量生产的工件的合格性检验。用于有包容要求、大批量生产的工件的合格性检验。第第6章章 基本几何量的
20、检测基本几何量的检测1.光滑极限量规光滑极限量规轴用光滑极限量规轴用光滑极限量规环规（卡规）环规（卡规）孔用光滑极限量规孔用光滑极限量规塞规塞规 以被检孔或轴的最大实体尺寸和最小实体尺寸为公称尺以被检孔或轴的最大实体尺寸和最小实体尺寸为公称尺寸的标准测量面，能反映控制被检孔或轴边界条件的无刻度寸的标准测量面，能反映控制被检孔或轴边界条件的无刻度长度测量器具。长度测量器具。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测2.光滑极限量规的分类及功用光滑极限量规的分类及功用 工作量规工作量规 工人在加工时用来检验工件合格性的量规。工人在加工时用来检验工件合格性的量规。通规代号通规代号“T”止规代号止规
21、代号“Z”验收量规验收量规 检验部门或用户代表验收工件时用的量规。检验部门或用户代表验收工件时用的量规。校对量规校对量规 用以检验轴用工作量规的量规。校对量规分为用以检验轴用工作量规的量规。校对量规分为3 种：种：“校通校通通通”量规（代号量规（代号“TT”）“校止校止通通”量规（代号量规（代号“ZT”）“校通校通损损”量规（代号量规（代号“TS”）第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 对于检验工件合格性的工作量规和验收量规来说，都需对于检验工件合格性的工作量规和验收量规来说，都需配有一对量规配有一对量规通规和止规，它们联合起来才能按包容要通规和止规，它们联合起来才能按包容要求的要求对
22、工件的合格性进行判断。求的要求对工件的合格性进行判断。通规通规止规止规塞规工作动画塞规工作动画环规工作动画环规工作动画卡规工作动画卡规工作动画第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测检验孔用的工作塞规检验孔用的工作塞规检验轴用的工作卡规检验轴用的工作卡规3.量规的公称尺寸量规的公称尺寸通规的公称尺寸通规的公称尺寸=被测工件的最大实体尺寸被测工件的最大实体尺寸MMS止规的公称尺寸止规的公称尺寸=被测工件的最小实体尺寸被测工件的最小实体尺寸LMS 一个工件，若既能被通规通过又能将止规止住，那么该一个工件，若既能被通规通过又能将止规止住，那么该工件合格。工件合格。第第6章章 基本几何量的检测基本
23、几何量的检测4.量规的测量面形状量规的测量面形状通规通规用来体现最大实体边界，它的测量面应具有与孔用来体现最大实体边界，它的测量面应具有与孔或轴相对应的完整表面，且其长度应等于被测工件的配合或轴相对应的完整表面，且其长度应等于被测工件的配合长度。长度。通规能够通过被测工件，表示被测工件的组成要素没有超过最大通规能够通过被测工件，表示被测工件的组成要素没有超过最大实体边界，反之亦反。实体边界，反之亦反。止规止规用来体现最小实体尺寸，它的测量面应为两点状。用来体现最小实体尺寸，它的测量面应为两点状。止规若能被被测工件止住，表示被测工件的局部尺寸没有超过最止规若能被被测工件止住，表示被测工件的局部尺
24、寸没有超过最小实体尺寸，反之亦反。小实体尺寸，反之亦反。考虑到点状的测量端容易磨损，实际止规也经常做成全形表面，考虑到点状的测量端容易磨损，实际止规也经常做成全形表面，但长度较短。但长度较短。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测5.量规的制造公差量规的制造公差轴用光滑极限量规的公差带轴用光滑极限量规的公差带孔用光滑极限量规的公差带孔用光滑极限量规的公差带工作量规的尺寸：工作量规的尺寸：工作量规的尺寸：工作量规的尺寸：2EI2EI1111MMSTZTZ 通规：通规：止规：止规：ESES1LMST 通规：通规：2e2es1111MMSTZsTZ 止规：止规：1eieiLMST 第第6章章
25、基本几何量的检测基本几何量的检测工作量规的尺寸公差值及其通端位置要素值工作量规的尺寸公差值及其通端位置要素值第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 量规的形状、方向和位置误差应在其尺寸公差带内。其公量规的形状、方向和位置误差应在其尺寸公差带内。其公差为量规尺寸公差的差为量规尺寸公差的50%。当量规尺寸公差小于或等于。当量规尺寸公差小于或等于0.002mm时，其形状与位置公差为时，其形状与位置公差为0.001mm。量规测量面的表面粗糙度量规测量面的表面粗糙度Ra值不应大于下表的规定。值不应大于下表的规定。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.量规的其他技术要求量规的其他技术要求
26、量规的测量面不应有锈蚀、毛刺、黑斑、划痕等明显影量规的测量面不应有锈蚀、毛刺、黑斑、划痕等明显影响外观使用质量的缺陷。其他表面不应有锈蚀和裂纹。响外观使用质量的缺陷。其他表面不应有锈蚀和裂纹。塞规的测头与手柄的联结应牢固可靠，在使用过程中不塞规的测头与手柄的联结应牢固可靠，在使用过程中不应松动。应松动。量规宜采用合金工具钢、碳素工具钢、渗碳钢及其他耐量规宜采用合金工具钢、碳素工具钢、渗碳钢及其他耐磨材料制造。磨材料制造。钢制量规测量面的硬度不应小于钢制量规测量面的硬度不应小于700HV（或（或60HRC）。量规应经过稳定性处理。量规应经过稳定性处理。工作量规的型式和应用尺寸范围如下。工作量规的
27、型式和应用尺寸范围如下。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测7.量规型式和应用尺寸范围量规型式和应用尺寸范围注：图中注：图中1、2为推荐顺序。为推荐顺序。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测孔用工作量规的典型结构孔用工作量规的典型结构 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测轴用工作量规的典型结构轴用工作量规的典型结构 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测【例例6-2】设计检验设计检验 孔和轴用的工作量规。孔和轴用的工作量规。f7/H830 EE查有关国家标准，得：查有关国家标准，得：mm033.0ES,0EI mm005.0,mm0034.011 ZT工作量规的尺
28、寸：工作量规的尺寸：mm30MMS0067.00033.02EI2EI1111 TZTZ通规（全形塞规）：通规（全形塞规）：mm30LMS033.00296.0ESES1 T止规（卡规）：止规（卡规）：解：解：孔孔30H8E第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测查有关国家标准，得：查有关国家标准，得：mm041.0eimm020.0es mm0034.0mm0024.011 ZT工作量规的尺寸：工作量规的尺寸：通规（环规）：通规（环规）：止规（环规）：止规（环规）：mm30MMS0222.00246.02e2es1111 TZsTZmm30LMS0386.0041.0eiei1 T 轴轴
29、30f7E第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测检验检验 的工作量规公差带的工作量规公差带f7/H830 EE第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测8.量规图样的标注量规图样的标注检验检验 的工作量规（塞规）图样的工作量规（塞规）图样H830 E第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.3 几何误差的检测几何误差的检测Inspection and Measurement of Geometrical Error6.3.1 几何误差的检测原则几何误差的检测原则1.检测原则检测原则1与拟合要素比较原则与拟合要素比较原则 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测2.检测原则检测
30、原则2测量坐标值原则测量坐标值原则 3.检测原则检测原则3测量特征参数原则测量特征参数原则 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测4.检测原则检测原则4测量跳动原则测量跳动原则 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测5.检测原则检测原则5控制实效边界原则控制实效边界原则 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.3.2 直线度误差的测量与评定直线度误差的测量与评定1.直线度误差的检测方法直线度误差的检测方法 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 指示计法（直接法）指示计法（直接法）第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 水平仪法（间接法）水平仪法（间接法）气泡气
31、泡第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测水平仪（角）分度值水平仪（角）分度值)mm/m(i水平仪桥板跨距水平仪桥板跨距)mm(L水平仪（线）分度值水平仪（线）分度值（每格对应的高度差）（每格对应的高度差）)mm(1000/Li 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测2.直线度误差的评定直线度误差的评定 直线度误差最小包容区域的判别准则直线度误差最小包容区域的判别准则 相间准则相间准则第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 直线度误差的数据处理直线度误差的数据处理【例例6-3】用指示计法测量某导轨的直线度误差，共测用指示计法测量某导轨的直线度误差，共测9点，点，测量的原始数据如
32、下表，试按最小包容区域法确定直线度误测量的原始数据如下表，试按最小包容区域法确定直线度误差值。差值。/+6+8+40-4-2+6+40指示计示值指示计示值 876543210测点序号测点序号 i)m(iZ第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测三个接触点三个接触点A、B、C符合相间准则中的符合相间准则中的“高高”-“低低”-“高高”分分布，因此布，因此l1、l2符合最小条件，故符合最小条件，故 m8.102427272_ CCCZZZZZZf第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.3.3 平面度误差的测量与评定平面度误差的测量与评定1.平面度误差的检测方法平面度误差的检测方法 第第
33、6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 指示计法（直接法）指示计法（直接法）水平仪法（间接法）水平仪法（间接法）第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测2.平面度误差的评定平面度误差的评定 平面度误差最小包容区域的判别准则平面度误差最小包容区域的判别准则 三角形准则三角形准则 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测交叉准则交叉准则 直线准则直线准则 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 平面度误差的数据处理平面度误差的数据处理【例例6-5】用水平仪按图示布点形式测量平面度误差，水平仪用水平仪按图示布点形式测量平面度误差，水平仪读数的格值如图所示。所用水平仪分度值读数的格值如
34、图所示。所用水平仪分度值 i=0.02mm/m，桥板，桥板跨距跨距 L=200mm。试按最小包容区域法确定平面度误差值。试按最小包容区域法确定平面度误差值。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 将水平仪的读数转换为相对高将水平仪的读数转换为相对高度差。度差。每格对应的相对高度差为每格对应的相对高度差为m4mm004.01000/Li 以测量起始点为零高度统一高以测量起始点为零高度统一高度基准，计算出各点的绝对高度度基准，计算出各点的绝对高度（沿测量方向累加）。（沿测量方向累加）。第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测 根据测量数据判断表面类型（判别准则）、极值点。根据测量数据判断
35、表面类型（判别准则）、极值点。初步判断出表面类型后，为便于数据处理，通过坐标变初步判断出表面类型后，为便于数据处理，通过坐标变换将极值点的坐标转平。换将极值点的坐标转平。qppqpp231221228212 12qp第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测极点的分布符合极点的分布符合“三高一低三高一低”的三角形准则，故的三角形准则，故 m27198 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测6.4 表面粗糙度的检测表面粗糙度的检测Inspection and Measurement of Surface Roughness1.针描法针描法第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测电动轮廓仪的工作原理电动轮廓仪的工作原理 第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测2.光切法光切法第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测3.干涉法干涉法第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测4.激光反（散）射法激光反（散）射法第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测5.比较法比较法第第6章章 基本几何量的检测基本几何量的检测
