第二讲.集成电路芯片的发展历史设计与制造.ppt

1、第二讲第二讲 集成电路芯片的发展历史、集成电路芯片的发展历史、 设计与制造设计与制造 北京科技大学计算机系北京科技大学计算机系 王昭顺王昭顺 提纲 集成电路芯片及其发展历史集成电路芯片及其发展历史 集成电路芯片的设计与制造集成电路芯片的设计与制造 计算机科学发展的动力计算机科学发展的动力，一部分来自计算机理，一部分来自计算机理 论的发展，但论的发展，但主要来自集成电路芯片性能的大主要来自集成电路芯片性能的大 幅提高幅提高。 集成电路芯片性能提高大致符合摩尔定律集成电路芯片性能提高大致符合摩尔定律，即处理，即处理 器器(CPU)(CPU)的功能和复杂性每年的功能和复杂性每年( (其后期减慢为其后

2、期减慢为1818个月个月) ) 会增加一倍，而成本却成比例地递减。会增加一倍，而成本却成比例地递减。 集成电路生产工艺的提高，缩小了单管的尺寸，提集成电路生产工艺的提高，缩小了单管的尺寸，提 高了芯片的集成度与工作频率，降低了工作电压高了芯片的集成度与工作频率，降低了工作电压。 1 集成电路芯片及其发展历史 什么是集成电路与芯片什么是集成电路与芯片 CPU的结构的结构 集成电路发展历史集成电路发展历史 我国集成电路发展历史我国集成电路发展历史 一、什么是集成电路与芯片一、什么是集成电路与芯片 1. 集成电路集成电路 集成电路集成电路（integrated circuit）是一 种微型电子器件或

3、部件。 采用一定的工艺，把一个电路中所 需的晶体管、二极管、电阻、电容和电 感等元件及布线互连一起，制作在一小 块或几小块半导体晶片或介质基片上， 然后封装在一个管壳内，成为具有所需具有所需 电路功能的微型结构电路功能的微型结构。 其中所有元件在结构上已组成一个 整体，这样，整个电路的体积大大缩小， 且引出线和焊接点的数目也大为减少， 从而使电子元件向着微小型化、低功耗 和高可靠性方面迈进了一大步。 优点优点： 体积小； 重量轻； 成本低； 性能好； 可靠性高； 寿命长； 便于大规模生产 2. 芯片芯片 芯片芯片是计算机基本的电路元件的载体。计算机中的 许许多多半导体、晶体管、电阻、电容等元件

4、都得装在 芯片上面，形成集成电路。 芯片的功能芯片的功能是对输入的信息进行加工对输入的信息进行加工。芯片尺寸越 小，电脑的体积就越小，装置的晶体管等元件越多，计 算机的功能就越先进。 芯片的分类芯片的分类： （1）CPU芯片芯片：计算机内对数据进行处理和控制的部件 （2）存储芯片）存储芯片：用于记录电子产品中的各种格式的数据 （3）数字多媒体芯片）数字多媒体芯片： 芯片设计芯片设计：设计出符合应用需求的电路，并将其集 成在芯片上。 3. 半导体材料及芯片的历史半导体材料及芯片的历史 第一代：以硅材料以硅材料为为代表的第一代半导体材料目 前仍然是最主要的半导体器件材料。但是硅材料带隙 (禁带)较

5、窄和击穿电场较低等物理属性的特点限制了其 在光电子领域和高频高功率器件方面的应用。 第二代：20世纪90年代以来，随着无线通信的飞 速发展和以光纤通信为基础的信息高速公路与互联网 的兴起，以砷化镓以砷化镓(GaAs)和磷化铟和磷化铟(InP)为代表为代表的第二 代半导体材料开始崭露头角。目前GaAs几乎垄断了手 机制造中的功放器件市场。 第三代：第三代半导体材料的兴起以以GaN(氮化镓氮化镓) 材料材料P型掺杂的突破为起点，以高亮度蓝光发光二极管 (LED)和蓝光激光器研制成功为标志的。 4.集成电路的分类集成电路的分类 (1)按功能结构分类按功能结构分类 按集成电路功能、结构功能、结构的不同

6、，可以分为模拟集成电路模拟集成电路 和数字集成电路数字集成电路两大类。 (2)按制作工艺分类按制作工艺分类 按集成电路制作工艺制作工艺可分为半导体集成电路半导体集成电路和薄膜集成薄膜集成 电路电路。膜集成电路又分类厚膜集成电路和薄膜集成电路。 (3)按集成度高低分类按集成度高低分类 按集成电路集成度高低集成度高低的不同可分为小规模集成电路小规模集成电路、 中规模集成电路中规模集成电路、大规模集成电路大规模集成电路和超大规模集成电路超大规模集成电路。 缩写 名称 门数量 SSI 小规模集成电路小规模集成电路 110 MSI 中规模集成电路中规模集成电路 101000 LSI 大规模集成电路大规模

7、集成电路 1000100 000 VLSI 超大规模集成电路超大规模集成电路 多于100 000 (4)按导电类型不同分类按导电类型不同分类 按集成电路导电类型导电类型可分为双极型集成电路双极型集成电路和单极型单极型 集成电路集成电路。 双极型集成电路：双极型集成电路：制作工艺复杂，功耗大。典型代制作工艺复杂，功耗大。典型代 表有表有TTL、ECL、HTL等；等； 单极型集成电路：单极型集成电路：制作工艺简单，功耗较低，易于制作工艺简单，功耗较低，易于 制成大规模集成电路。典型代表有制成大规模集成电路。典型代表有CMOS、NMOS、 PMOS等。等。 (5)按用途分类按用途分类 按集成电路用途

8、用途可分为电视机用集成电路、音响用集电视机用集成电路、音响用集 成电路、影碟机用集成电路、录像机用集成电路、电脑成电路、影碟机用集成电路、录像机用集成电路、电脑 （微机）用集成电路（微机）用集成电路 5.摩尔定律摩尔定律 Intel公司的主席公司的主席戈登戈登 摩尔摩尔在在1965年指出：年指出：芯片中的晶芯片中的晶 体管和电阻器的数量每年可以翻一番。体管和电阻器的数量每年可以翻一番。 1975年，摩尔修正了摩尔定律，他认为：每隔每隔18个月，个月， 芯片中晶体管的数量可以翻一番芯片中晶体管的数量可以翻一番。 集成度：集成度：1000万万10亿亿 线宽：线宽：20.045m 40多年的实践证明

9、，预测准确。多年的实践证明，预测准确。 集成电路生产工艺的提高集成电路生产工艺的提高 （2 2/ /1/0.8/0.6/0.5/0.35/0.25/0.18/0.13um/ 1/0.8/0.6/0.5/0.35/0.25/0.18/0.13um/ 90/65/45/32nm)90/65/45/32nm)，缩小了单管的尺寸，提高了芯片的集成，缩小了单管的尺寸，提高了芯片的集成 度与工作频率，降低了工作电压。度与工作频率，降低了工作电压。 今后可再用今后可再用10年？年？ Intel的目标是在的目标是在2022年使用年使用4纳米的工艺纳米的工艺。但只有。但只有22纳米纳米的目的目 标是比较可行的，

10、以后的目标有待技术突破。标是比较可行的，以后的目标有待技术突破。 芯片集成度的提高受以下限制：芯片集成度的提高受以下限制： 芯片集成度受物理极限的制约芯片集成度受物理极限的制约 按几何级数递增的制作成本按几何级数递增的制作成本 芯片的功耗、散热、线延迟芯片的功耗、散热、线延迟 高功耗对芯片可靠性的影响高功耗对芯片可靠性的影响 高功耗导致了高的工作温度高功耗导致了高的工作温度( (102W102W的的PrescottPrescott，标称工作温，标称工作温 度为度为7474度度) )。 高的工作温度使各种轻微物理缺陷所造成的故障显现高的工作温度使各种轻微物理缺陷所造成的故障显现 出来，如桥接故障

11、。出来，如桥接故障。 高的工作温度使连线电阻变大，使线延时增加，时延高的工作温度使连线电阻变大，使线延时增加，时延 故障变得严重起来。故障变得严重起来。 同时温度的提高，使漏电流增加，降低工作电压，使同时温度的提高，使漏电流增加，降低工作电压，使 门延时增加，同样使时延故障变得严重起来。同时漏门延时增加，同样使时延故障变得严重起来。同时漏 电流增加，还会导致电流增加，还会导致P/GP/G网的失效。网的失效。 P4-2GHz的风扇 半导体+风冷的 复合制冷装置 6. IC的普及的普及 仅仅在其开发后半个世纪，集成电路变得无处不在，仅仅在其开发后半个世纪，集成电路变得无处不在， 电脑，手机和其他数

12、字电器成为现代社会结构不可缺少的电脑，手机和其他数字电器成为现代社会结构不可缺少的 一部分。这是因为，现代计算，交流，制造和交通系统，一部分。这是因为，现代计算，交流，制造和交通系统， 包括互联网，全都依赖于集成电路的存在。包括互联网，全都依赖于集成电路的存在。 甚至很多学者认为有甚至很多学者认为有集成电路带来的数字革命集成电路带来的数字革命是人类历是人类历 史中最重要的事件。史中最重要的事件。 最先进的集成电路是最先进的集成电路是微处理器微处理器或多核处理器的或多核处理器的“核心核心 (cores)“,可以控制电脑到手机到数字微波炉的一切。可以控制电脑到手机到数字微波炉的一切。 存储器存储器

13、和和ASIC是其他集成电路家族的例子，对于现代是其他集成电路家族的例子，对于现代 信息社会非常重要。信息社会非常重要。 二、二、CPU的结构的结构 1. CPU CPU是中央处理单元中央处理单元(central processing Unit)的缩写，简称为微处理器微处理器(microprocessor)， 人们直接称其为处理器处理器(processor)。 CPU主要由运算器、控制器、寄存器组和 内部总线等构成， 是计算机的核心，它的作用 和大脑更相似，它负责处理、运算计算机内部负责处理、运算计算机内部 的所有数据的所有数据，而主板芯片组则更像是心脏，它 控制着数据的交换。CPU的种类决定了

14、你使用 的操作系统和相应的软件。 处理器是计算机的核心，再配上储存器、 输入/输出接口和系统总线组成为完整的计算机。 2. CPU新技术新技术 1) Core（酷睿） 英特尔2006年7月份将推出的是65纳米纳米“Merom 用于移动计算机T”，“Conroe用于桌面计算机E”， “Woodcrest用于服务器XEON ITANIUM”双内核处双内核处 理理。Core是英特尔最新的一种处理器微架构。 2) Nehalem（迅驰） 2008年1月8日，英特尔公司发布了首批基于英特尔 Nehalem（迅驰）处理器技术笔记本上的45纳米（纳米（nm） 处理器。 Nehalem是用于服务器的双路双路C

15、PU。 Nehalem是4核心核心、8线程、64bit、4超标量发射、 乱序执行的CPU，有16级流水线、48bit虚拟寻址 和40bit物理寻址。Nehalem还是基本建立在Core 微架构（Core Microarchitecture）的骨架上，外 加增添了SMT、3层Cache、TLB和分支预测的等 级化、IMC、QPI和支持DDR3等技术。比起从 Pentium 4的的NetBurst架构架构到Core 微架构微架构的较大 变化来说，从Core 微架到Nehalem架构架构的基本核 心部分的变化则要小一些，因为Nehalem还是4指 令宽度的解码/重命名/撤销。 三、集成电路发展历史三

16、、集成电路发展历史 1947年：贝尔实验室肖克莱肖克莱等人发明了晶体管晶体管，这是微 电子技术发展中第一个里程碑； 1950年：结型晶体管诞生； 1950年： R Ohl和肖特莱发明了离子注入工艺； 1951年：场效应晶体管场效应晶体管发明； 1956年：C S Fuller发明了扩散工艺； 1958年：仙童公司Robert Noyce与德仪公司基尔比间隔 数月分别发明了集成电路集成电路，开创了世界微电子学的历史； 1960年：H H Loor和E Castellani发明了光刻工艺； 1962年：美国RCA公司研制出MOS场效应晶体管场效应晶体管； 1963年：F.M.Wanlass和C.T

17、.Sah首次提出CMOS技术技术， 今天，95%以上的集成电路芯片都是基于CMOS工艺； 1964年：Intel的摩尔提出摩尔定律摩尔定律，预测晶体管集成度晶体管集成度 将会每将会每18个月增加个月增加1倍倍； 1966年：美国RCA公司研制出CMOS集成电路集成电路，并研制 出第一块门阵列（50门）； 1967年：应用材料公司（Applied Materials）成立，现 已成为全球最大的半导体设备制造公司； 1971年：Intel推出1kb动态随机存储器（动态随机存储器（DRAM），），标志 着大规模集成电路大规模集成电路出现； 1971年：全球第一个微处理器微处理器4004由Intel公

18、司推出，采 用的是MOS工艺，这是一个里程碑式的发明； 1974年：RCA公司推出第一个CMOS微处理器1802； 1976年：16kb DRAM和4kb SRAM问世； 1978年：64kb动态随机存储器诞生，不足0.5平方厘米的 硅片上集成了14万个晶体管，标志着超大规模集成电路超大规模集成电路 （VLSI）时代的来临； 1979年：Intel推出5MHz 8088微处理器微处理器，之后，IBM基 于8088推出全球第一台PC； 1981年：256kb DRAM和64kb CMOS SRAM问世； 1984年：日本宣布推出1Mb DRAM和256kb SRAM； 1985年：80386微处

19、理器微处理器问世，20MHz； 1988年：16M DRAM问世，1平方厘米大小的硅片上集成有 3500万个晶体管，标志着进入甚大规模集成电路（甚大规模集成电路（ULSI）阶 段； 1989年：1Mb DRAM进入市场； 1989年：486微处理器推出微处理器推出，25MHz，1m工艺工艺，后来 50MHz芯片采用 0.8m工艺工艺； 1992年：64M位随机存储器问世； 1993年：66MHz奔腾处理器奔腾处理器推出,采用0.6工艺工艺； 1995年：Pentium Pro, 133MHz，采用0.6-0.35工艺工艺； 1997年：300MHz奔腾奔腾问世,采用0.25工艺工艺； 1999

20、年：奔腾奔腾问世，450MHz，采用0.25工艺，后采 用0.18m工艺工艺； 2000年: 1Gb RAM投放市场； 2000年：奔腾奔腾4问世，1.5GHz，采用0.18工艺； 2001年：Intel宣布2001年下半年采用0.13工艺工艺。 2003年：奔腾4 E系列推出，采用90nm工艺工艺。 2005年：intel 酷睿2系列上市，采用65nm工艺工艺。 2007年：基于全新45纳米纳米High-K工艺工艺的intel酷睿2 E7/E8/E9上市。 2009年：intel酷睿i系列全新推出，创纪录采用了领先 的32纳米工艺纳米工艺， 并且下一代22纳米工艺纳米工艺正在研发。 四、我国

21、集成电路发展史四、我国集成电路发展史 我国集成电路产业诞生于六十年代，共经历了三个发 展阶段： 1965年-1978年：以计算机和军工配套为目标，以开 发逻辑电路为主要产品，初步建立集成电路工业基础及相 关设备、仪器、材料的配套条件； 1978年-1990年：主要引进美国二手设备，改善集成 电路装备水平，在“治散治乱”的同时，以消费类整机作 为配套重点，较好地解决了彩电集成电路的国产化； 1990年-2000年：以908工程、909工程为重点，以 CAD为突破口，抓好科技攻关和北方科研开发基地的建设， 为信息产业服务，集成电路行业取得了新的发展。 2001年到2010年这10年间，我国集成电路

22、产量的年均增 长率超过25%，集成电路销售额的年均增长率则达到23%。 2010年国内集成电路产量达到640亿块，销售额超过 1430亿元，分别是2001年的10倍和8倍。中国集成电路产业 规模已经由2001年不足世界集成电路产业总规模的2%提高到 2010年的近9%。中国成为过去10年世界集成电路产业发展最 快的地区之一。国内集成电路市场规模也由2001年的1140亿 元扩大到2010年的7350亿元，扩大了6.5倍。 国内集成电路产业规模与市场规模之比始终未超过20%。 如扣除集成电路产业中接受境外委托代工的销售额，则中国集 成电路市场的实际国内自给率还不足10%，国内市场所需的集 成电路

23、产品主要依靠进口。 近几年国内集成电路进口规模迅速扩大，2010年已经达 到创纪录的1570亿美元，集成电路已连续两年超过原油成为 国内最大宗的进口商品。与巨大且快速增长的国内市场相比， 中国集成电路产业虽发展迅速但仍难以满足内需要求。 当前以移动互联网、三网融合、物联网、云计算、智能电 网、新能源汽车为代表的战略性新兴产业战略性新兴产业快速发展，将成为继 计算机、网络通信、消费电子之后，推动集成电路产业发展的 新动力。工信部预计，国内集成电路市场规模到2015年将达 到12000亿元。 我国集成电路产业发展的生态环境亟待优化我国集成电路产业发展的生态环境亟待优化，设计、制造、 封装测试以及专

24、用设备、仪器、材料等产业链上下游协同性不 足，芯片、软件、整机、系统、应用等各环节互动不紧密。 “十二五”期间，中国将积极探索集成电路产业链上下游 虚拟一体化模式，充分发挥市场机制作用，强化产业链上下游 的合作与协同，共建价值链。培育和完善生态环境，加强集成 电路产品设计与软件、整机、系统及服务的有机连接，实现各 环节企业的群体跃升，增强电子信息大产业链的整体竞争优势。 2 集成电路芯片的设计与制造 什么是什么是SoC 什么是什么是CMOS 芯片制造工艺流程芯片制造工艺流程 芯片的封装技术芯片的封装技术 国内芯片设计制造的研究现状国内芯片设计制造的研究现状 一、什么是一、什么是SoC 1.So

25、C技术的发展技术的发展 集成电路的发展已有40多 年的历史，它一直遵循摩尔所 指示的规律推进，现已进入深亚微米，乃至纳米阶段深亚微米，乃至纳米阶段。 由于信息市场的需求和微电子自身的发展，引发了以微细微细 加工加工（集成电路特征尺寸不断缩小）为主要特征的多种工艺集 成技术和面向应用的系统级芯片面向应用的系统级芯片的发展。 随着半导体产业进入超深亚微米乃至纳米加工时代，在在 单一集成电路芯片上就可以实现一个复杂的电子系统单一集成电路芯片上就可以实现一个复杂的电子系统，诸如手 机芯片、数字电视芯片、DVD 芯片等。在未来几年内，上亿 个晶体管、几千万个逻辑门都可望在单一芯片上实现。 SoC ( S

26、ystem - on - Chip)设计技术始于20世纪90年代 中期，随着半导体工艺技术的发展，IC设计者能够将愈来愈复 杂的功能集成到单硅片上，SoC正是在集成电路( IC)向集成系 统( IS)转变的大方向下产生的。 2. SoC基本概念基本概念 SoC称为系统级芯片称为系统级芯片，也称为片上系统片上系统，意指它是一个产 品，是一个有专用目标的集成电路，其中包含完整系统并有嵌 入软件的全部内容。同时SoC又是一种技术，用以实现从确定 系统功能开始，到软/硬件划分，并完成设计的整个过程。 从狭义角度讲， SoC是信息系统核心的芯片集成，是将系 统关键部件集成在一块芯片上； 从广义角度讲，

27、SoC是一个微小型系统。 20世纪90年代中期，因使用ASIC（一种为专门目的而设计 的集成电路 ）实现芯片组受到启发，萌生应该将完整计算机所 有不同的功能块一次直接集成于一颗硅片上的想法。这种芯片， 初始起名叫System on a Chip (SoC)，直译的中文名是系统级 芯片。 SoC定义的基本内容主要表现在两方面： SoC的构成的构成； SoC的构成可以是系统级芯片控制逻辑模块、微处理器 /微控制器CPU 内核模块、数字信号处理器DSP模块、嵌入 的存储器模块、和外部进行通讯的接口模块、含有ADC /DAC 的模拟前端模块、电源提供和功耗管理模块。对于一 个无线SoC还有射频前端模块

28、、用户定义逻辑(它可以由 FPGA 或ASIC实现)以及微电子机械模块； 更重要的是一个SoC 芯片内嵌有基本软件芯片内嵌有基本软件(RDOS或 COS以及其他应用软件)模块或可载入的用户软件等。 SoC形成过程形成过程。 SoC形成或产生过程形成或产生过程包含以下三个方面： 1) 基于单片集成系统的软硬件协同设计和验证软硬件协同设计和验证； 2) 开发和研究IP核生成及复用技术核生成及复用技术，特别是大容量的存 储模块嵌入的重复应用等； 3) 超深亚微米超深亚微米(UDSM) 、纳米集成电路的设计理论和技、纳米集成电路的设计理论和技 术术。 3. SoC设计的关键技术设计的关键技术 SoC设

29、计的关键技术设计的关键技术主要包括：总线架构技术、总线架构技术、IP核可核可 复用技术、软硬件协同设计技术、复用技术、软硬件协同设计技术、SoC验证技术、可测性设验证技术、可测性设 计技术、低功耗设计技术、超深亚微米电路实现技术计技术、低功耗设计技术、超深亚微米电路实现技术等， 此外还要做嵌入式软件移植、开发嵌入式软件移植、开发研究，是一门跨学科 的新兴研究领域。 用SoC 技术设计系统芯片，一般先要进行软硬件划分软硬件划分，将 设计分为：芯片硬件设计和软件协同设计芯片硬件设计和软件协同设计两部分。 芯片硬件设计芯片硬件设计包括： (1)功能设计阶段。功能设计阶段。 设计人员产品的应用场合，设

30、定一些诸如功能、操作速度、 接口规格、环境温度及消耗功率等规格，以做为将来电路设计 时的依据。更可进一步规划软件模块及硬件模块该如何划分， 哪些功能该整合于SOC 内，哪些功能可以设计在电路板上。 (2)设计描述和行为级验证设计描述和行为级验证 功功能设计完成后，可以依据功能将SOC 划分为若干功能模 块，并决定实现这些功能将要使用的IP 核。此阶段将接影响了 SOC 内部的架构及各模块间传送的信号，及未来产品的可靠性。 决定模块之后，可以用VHDL 或或Verilog 等硬件描述语言硬件描述语言实现 各模块的设计。接着，利用VHDL 或Verilog 的电路仿真器，对对 设计进行功能验证设计

31、进行功能验证或行为验证或行为验证 。 这种功能仿真没有考虑电路实际的延迟，但无法获得精确的结果。这种功能仿真没有考虑电路实际的延迟，但无法获得精确的结果。 (3)逻辑综合逻辑综合 确定设计描述正确后，可以使用逻辑综合工具逻辑综合工具（synthesizer） 进行综合。综合过程中，需要选择适当的逻辑器件库（logic cell library） ，作为合成逻辑电路时的参考依据。 硬件语言设计描述文件的编写风格是决定综合工具执行效 率的一个重要因素。事实上，综合工具支持的HDL 语法均是有 限的，一些过于抽象的语法只适于做为系统评估时的仿真模型， 而不能被综合工具接受。逻辑综合得到门级网表逻辑综

32、合得到门级网表。 (4)门级验证门级验证 门级功能验证门级功能验证是寄存器传输级验证寄存器传输级验证。主要的工作是要确认 经综合后的电路是否符合功能需求，该工作一般利用门电路级门电路级 验证工具验证工具完成。注意，此阶段仿真需要考虑门电路的延迟需要考虑门电路的延迟。 (5)布局和布线布局和布线 布局布局指将设计好的功能模块合理地安排在芯片上，规划好 它们的位置。布线布线指完成各模块之间互连的连线。注意，各模 块之间的连线通常比较长，因此，产生的延迟会严重影响SOC 的性能，尤其在0.25 微米制程以上，这种现象更为显著。 一般都用全套的一般都用全套的cadence（搜（搜ic5141就能找到）

33、。就能找到）。 cadence是一个完整的全定制设计平台，包括：是一个完整的全定制设计平台，包括： schematic composer（管级设计）；（管级设计）； spactre（仿真）；（仿真）； virtuoso（版图版图）；）； calibre（版图版图验证）等。验证）等。 cadence也有半定制设计平台，常用的有也有半定制设计平台，常用的有NC系列。系列。 另外还常用另外还常用synopsys的的hspice，design vision（数字综（数字综 合工具）合工具） 另外另外tanner的的版图版图工具也是业界比较常用的。工具也是业界比较常用的。 EDA工具工具 3. SoC的

34、发展趋势及存在问题的发展趋势及存在问题 当前芯片设计业正面临着一系列的挑战，系统芯片当前芯片设计业正面临着一系列的挑战，系统芯片 SoC已经成为已经成为IC设计业界的焦点，设计业界的焦点，SoC性能越来越强，规性能越来越强，规 模越来越大模越来越大。SoC芯片的规模一般远大于普通的芯片的规模一般远大于普通的ASIC，同，同 时由于时由于深亚微米工艺带来的设计困难等，使得深亚微米工艺带来的设计困难等，使得SoC设计的设计的 复杂度大大提高复杂度大大提高。 在在SoC设计中，设计中，仿真与验证是仿真与验证是SoC设计流程中最复杂、设计流程中最复杂、 最耗时的环节，约占整个芯片开发周期的最耗时的环节

35、，约占整个芯片开发周期的50%80%，采采 用先进的设计与仿真验证方法成为用先进的设计与仿真验证方法成为SoC设计成功的关键设计成功的关键。 SoC技术的发展趋势是基于技术的发展趋势是基于SoC开发平台，基于平台开发平台，基于平台 的设计是一种可以达到最大程度系统重用的面向集成的设的设计是一种可以达到最大程度系统重用的面向集成的设 计方法，分享计方法，分享IP核开发与系统集成成果，不断重整价值链，核开发与系统集成成果，不断重整价值链， 在关注面积、延迟、功耗的基础上，向成品率、可靠性、在关注面积、延迟、功耗的基础上，向成品率、可靠性、 EMI 噪声、成本、易用性等转移，使系统级集成能力快速噪声

36、、成本、易用性等转移，使系统级集成能力快速 发展。发展。 当前无论在国外还是国内，在当前无论在国外还是国内，在SoC设计领域已展开激设计领域已展开激 烈的竞争。烈的竞争。 二、什么是二、什么是CMOS CMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor） ，指，指互补金属氧化物互补金属氧化物(PMOS管和管和 NMOS管管)共同构成的互补型共同构成的互补型MOS集成电路制造工艺，它的集成电路制造工艺，它的 特点是特点是低功耗低功耗。 相对于其他逻辑系列，相对于其他逻辑系列，CMOS逻辑电路具有一下优点：逻辑电路具有一下优点： (1)允许的电源电压范围宽，方

37、便电源电路的设计允许的电源电压范围宽，方便电源电路的设计 (2)逻辑摆幅大，使电路抗干扰能力强逻辑摆幅大，使电路抗干扰能力强 (3)静态功耗低静态功耗低 (4)隔离栅结构使隔离栅结构使CMOS期间的输入电阻极大，从而期间的输入电阻极大，从而 使使CMOS期间驱动同类逻辑门的能力比其他系列强得多期间驱动同类逻辑门的能力比其他系列强得多 在计算机领域，在计算机领域，CMOS常指保存计算机基本启动信息常指保存计算机基本启动信息(如日如日 期、时间、启动设置等期、时间、启动设置等)的芯片。的芯片。CMOS是微机主板上的一块可是微机主板上的一块可 读写的读写的RAM芯片，芯片，主要用来保存当前系统的硬件

38、配置和操作人主要用来保存当前系统的硬件配置和操作人 员对某些参数的设定员对某些参数的设定。CMOS RAM芯片由系统通过一块后备电芯片由系统通过一块后备电 池供电，因此无论是在关机状态中，还是遇到系统掉电情况，池供电，因此无论是在关机状态中，还是遇到系统掉电情况， CMOS信息都不会丢失。信息都不会丢失。 由于由于CMOS RAM芯片本身只是一块存储器芯片本身只是一块存储器，只具有保存数，只具有保存数 据的功能，所以对据的功能，所以对CMOS中各项参数的设定要通过专门的程序。中各项参数的设定要通过专门的程序。 早期的早期的CMOS设置程序驻留在软盘上的设置程序驻留在软盘上的(如如IBM的的PC

39、/AT机型机型)， 使用很不方便。现在多数厂家将使用很不方便。现在多数厂家将CMOS设置程序做到了设置程序做到了 BIOS 芯片中，在开机时通过按下某个特定键就可进入芯片中，在开机时通过按下某个特定键就可进入CMOS设置程设置程 序而非常方便地对系统进行设置，因此这种序而非常方便地对系统进行设置，因此这种CMOS设置又通常设置又通常 被叫做被叫做BIOS设置设置。 对对CMOS中各项参数的设定和更新可通过开机时特定的中各项参数的设定和更新可通过开机时特定的 按键实现按键实现（一般是（一般是Del键）。键）。 进入进入BIOS设置程序可对设置程序可对CMOS进行设置。一般进行设置。一般CMOS

40、设置习惯上也被叫做设置习惯上也被叫做BIOS设置设置。 CMOS的设置内容大致包含：的设置内容大致包含： (1)Standard CMOS Setup标准参数设置：，包括日期，标准参数设置：，包括日期， 时间和软、硬盘参数等。时间和软、硬盘参数等。 (2)BIOS Features Setup：设置一些系统选项。：设置一些系统选项。 (3)Chipset Features Setup：主板芯片参数设置。：主板芯片参数设置。 (4)Power Management Setup：电源管理设置。：电源管理设置。 (5)PnP/PCI Configuration Setup：即插即用及：即插即用及PC

41、I插插 件参数设置。件参数设置。 (6)Integrated Peripherals：整合外设的设置。：整合外设的设置。 (7)其他：硬盘自动检测，系统口令，加载缺省设置，其他：硬盘自动检测，系统口令，加载缺省设置， 退出等退出等 三、芯片制造工艺流程三、芯片制造工艺流程 芯片设计：根据设计的需求，生成的“图 样” 晶片制作：过程的复杂 封装 测试 集成电路的基本制造工艺 生产圆片（生产圆片（Wafer）；）； 在圆片上制造出大量电路单元；在圆片上制造出大量电路单元； 圆片测试；圆片测试； 按电路单元切割成基片（按电路单元切割成基片（Die）；）； 封装成集成电路成品。封装成集成电路成品。 1

42、.芯片的原料晶圆 晶圆的成分是硅，硅是由石英沙所精练出来的，晶圆便 是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将些纯硅制成硅晶 棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，将其切片就是 芯片制作具体需要的晶圆。 晶圆越薄，成产的成本越低，但对工艺就要求的越高。 2.晶圆涂膜 晶圆涂膜能抵抗氧化以及耐温能力，其材料为光阻的一种 3.晶圆光刻显影、蚀刻 该过程使用了对紫外光敏感的化学物质，即遇紫外光则变 软。通过控制遮光物的位置可以得到芯片的外形。在硅晶片 涂上光致抗蚀剂，使得其遇紫外光就会溶解。这是可以用上 第一份遮光物，使得紫外光直射的部分被溶解，这溶解部分 接着可用溶剂将其冲走。这样剩下的部分就

43、与遮光物的形状 一样了，而这效果正是我们所要的。这样就得到我们所需要 的二氧化硅层。 4、搀加杂质 将晶圆中植入离子，生成相应的P、N类半导体。 具体工艺是是从硅片上暴露的区域开始，放入化学离子混 合液中。这一工艺将改变搀杂区的导电方式，使每个晶体管 可以通、断、或携带数据。简单的芯片可以只用一层，但复 杂的芯片通常有很多层，这时候将这一流程不断的重复，不 同层可通过开启窗口联接起来。这一点类似所层PCB板的制 作制作原理。 更为复杂的芯片可能需要多个二氧化硅层，这时候通过重 复光刻以及上面流程来实现，形成一个立体的结构。 5、晶圆测试 经过上面的几道工艺之后，晶圆上就形成了一个个格状的 晶粒

44、。通过针测的方式对每个晶粒进行电气特性检测。 一般每个芯片的拥有的晶粒数量是庞大的，组织一次针测 试模式是非常复杂的过程，这要求了在生产的时候尽量是同 等芯片规格构造的型号的大批量的生产。数量越大相对成本 就会越低，这也是为什么主流芯片器件造价低的一个因素。 6、封装 将制造完成晶圆固定，绑定引脚，按照需求去制作成各 种不同的封装形式，宇洋这就是同种芯片内核可以有不同的 封装形式的原因。比如：DIP、QFP、PLCC、QFN 等等。 这里主要是由用户的应用习惯、应用环境、市场形式等 外围因素来决定的。 7、测试、包装 经过上述工艺流程以后，芯片制作就已经全部完成了， 这一步骤是将芯片进行测试、

45、剔除不良品，以及包装。 Integrated Circuits Costs IC cost = Die cost + Testing cost + Packaging cost Final test yield Die cost = Wafer cost Dies per Wafer * Die yield Dies per wafer = * ( Wafer_diam / 2)2 Die Area * Wafer_diam (2 * Die Area )1/2 Defects_per_unit_area * Die_Area a a - - a a Die Yield = Wafer yie

46、ld * 1 + Die Cost goes roughly with die area4 四、芯片的封装技术四、芯片的封装技术 很多人对很多人对CPU、内存以及芯片组封装并不了解。、内存以及芯片组封装并不了解。封装封装是指是指安装安装 半导体集成电路芯片用的外壳半导体集成电路芯片用的外壳。它不仅起着安放、固定、密封、。它不仅起着安放、固定、密封、 保持芯片和增强电热性能的作用，而且芯片上的接点用导线连接保持芯片和增强电热性能的作用，而且芯片上的接点用导线连接 到封装外壳的引脚上，这些引脚又通过印制板上的导线与其他器到封装外壳的引脚上，这些引脚又通过印制板上的导线与其他器 件建立连接，从而实现

47、内部芯片与外部电路的连接。因为芯片必件建立连接，从而实现内部芯片与外部电路的连接。因为芯片必 须与外界隔离，以防止空气中的杂质对芯片电路的腐蚀而造成电须与外界隔离，以防止空气中的杂质对芯片电路的腐蚀而造成电 气性能下降。另一方面，封装后的芯片也更便于安装和运输。气性能下降。另一方面，封装后的芯片也更便于安装和运输。 由于封装技术的好坏还直接影响到芯片自身性能的发挥和与由于封装技术的好坏还直接影响到芯片自身性能的发挥和与 之连接的之连接的PCB(印制电路板印制电路板)的设计和制造，因此它是至关重要的。的设计和制造，因此它是至关重要的。 因此，封装对因此，封装对CPU以及其他芯片都有着重要的作用。

48、以及其他芯片都有着重要的作用。 封装时主要考虑的因素：封装时主要考虑的因素： (1)芯片面积与封装面积之比。为提高封装效率，尽量接近芯片面积与封装面积之比。为提高封装效率，尽量接近1： 1。 (2)引脚要尽量短以减少延迟，引脚间的距离尽量远，以保证引脚要尽量短以减少延迟，引脚间的距离尽量远，以保证 互不干扰，提高性能。互不干扰，提高性能。 (3)基于散热的要求，封装越薄越好。基于散热的要求，封装越薄越好。 1.CPU的封装方式的封装方式 CPU封装是封装是CPU生产过程中的最后一道工序，封装是采生产过程中的最后一道工序，封装是采 用特定的材料将用特定的材料将CPU芯片或芯片或CPU模块固化在其

49、中以防损坏的模块固化在其中以防损坏的 保护措施，一般必须在封装后保护措施，一般必须在封装后CPU才能交付用户使用。才能交付用户使用。 CPU的封装方式取决于的封装方式取决于CPU安装形式和器件集成设计，安装形式和器件集成设计， 从大的分类来看通常：从大的分类来看通常： 采用采用Socket插座进行安装的插座进行安装的CPU使用使用PGA(栅格阵列栅格阵列)方方 式封装；式封装； 采用采用Slot x槽安装的槽安装的CPU则全部采用则全部采用SEC(单边接插盒单边接插盒) 的形式封装。的形式封装。 现在还有现在还有PLGA(Plastic Land Grid Array)、 OLGA(Organic Land Grid Array)等封装技术。等封装技术。 由于市场竞争日益激烈，目前由于市场