1、新风空调系统新风空调系统2012.2.25新风空调系统概述新风空调系统概述 OAC是洁净厂房的集中新风处理的系统，也叫新风处理装置；欧美叫做MAU:Make-up air unit新风机组；日本叫做OAC：outdoor air conditioner外气处理机组。一般有3个作用： 1、去除室外空气中的灰尘颗粒和有毒有害气状物 2、对送入洁净室的新风进行集中处理，以达到FAB所需的具有一定温湿度和洁净度的补充空气洁净室的湿度一般就是由MAU来控制 3、根据室内正压压差计控制送入一定量的新风，以维持洁净厂房的正压值OAC照片新风空调系统概述新风空调系统概述FAB 5F OAC布局图OAC-1OA
2、C-2OAC-3OAC-4OAC-5OAC-6OAC-8OAC-9OAC-10 OAC-11 OAC-12OAC-13 OAC-14N/S 4F OAC布局图OAC-7OAC处理外气流程概述处理外气流程概述 外界新风外界新风无纺布无纺布初效过滤器初效过滤器 中效过滤器中效过滤器预热预热/冷处理冷处理（冬季工况下要求水喷淋前温度达到（冬季工况下要求水喷淋前温度达到18 水喷淋将新风温度降至水喷淋将新风温度降至12.7度，湿度为度，湿度为100%RH ）再冷再冷/热处理热处理（将送风温度调节至（将送风温度调节至22，湿度为，湿度为45%RH） 化学过滤器化学过滤器高效过滤器高效过滤器送至洁净室回风
3、夹道上送至洁净室回风夹道上方。方。OAC处理外气流程概述处理外气流程概述OAC处理外气流程概述处理外气流程概述2245%OAC处理外气流程概述处理外气流程概述夏季夏季OAC设计外气入口工况为设计外气入口工况为夏季：夏季：39 DB、31.8 WB，处理流程如下：，处理流程如下：1.经过预处理段和水喷淋经过预处理段和水喷淋将较热的新风将较热的新风处理处理为为22、100%RH。2.根据出风温湿度设定值根据出风温湿度设定值22、45%，此时露点温，此时露点温度为度为10.3、100%，所以经过再冷盘管后，将，所以经过再冷盘管后，将新新风温度降为风温度降为10.3（100%）。）。3.经过再热盘管，
4、将出风温度升至经过再热盘管，将出风温度升至22。OAC处理外气流程概述处理外气流程概述OAC处理外气流程概述处理外气流程概述冬季冬季OAC设计外气入口工况为设计外气入口工况为夏季夏季：-10 DB, -20 DP，处理处理流程如下：流程如下：1.经过预处理经过预处理段将较冷较干的新风升温至段将较冷较干的新风升温至18。2.经过水喷淋段将新风处理为经过水喷淋段将新风处理为12.7、100%RH，利用水喷，利用水喷淋送水温度，减小了再冷盘管除湿时的负荷，根据水喷淋淋送水温度，减小了再冷盘管除湿时的负荷，根据水喷淋段的换热效率，设计预处理段段的换热效率，设计预处理段19，经过水喷淋的热交换，经过水喷
5、淋的热交换，使其喷淋后温度控制在使其喷淋后温度控制在12.7。3.经过再冷盘管将送风温度降至经过再冷盘管将送风温度降至OAC送风露点温度送风露点温度10.3、100%。4.经过经过再热盘管，将出风温度升至再热盘管，将出风温度升至22。新风空调的组成新风空调的组成1.初效过滤器、中效过滤器、化学过滤初效过滤器、中效过滤器、化学过滤器、超高效过滤器。器、超高效过滤器。2.预冷段、预热段、水喷淋段、再冷段、预冷段、预热段、水喷淋段、再冷段、再热段。再热段。3.风机段以及其他附属仪表组成。风机段以及其他附属仪表组成。新风空调的组成新风空调的组成初效过初效过滤器滤器中效过中效过滤器滤器预热段预热段预冷段
6、预冷段水喷淋段水喷淋段再冷段再冷段再热段再热段风机段风机段化学过化学过滤器滤器超高效超高效过滤器过滤器新风空调过滤器分类新风空调过滤器分类OAC有四种过滤器：有四种过滤器：u初效过滤器初效过滤器u中效过滤器中效过滤器u高效过滤器高效过滤器u化学过滤器化学过滤器新风空调过滤器分类新风空调过滤器分类 采用钢格栅可冲洗式初效过滤器，初效过滤器可拆卸清洗，采用钢格栅可冲洗式初效过滤器，初效过滤器可拆卸清洗，风量损失为风量损失为10%，过滤颗粒效率为，过滤颗粒效率为80%。新风空调过滤器分类新风空调过滤器分类 中效过滤器：尺寸为中效过滤器：尺寸为610X610X290mm，过滤颗粒效率为，过滤颗粒效率为
7、98%。新风空调过滤器分类新风空调过滤器分类 超高效过滤器：尺寸为超高效过滤器：尺寸为610X610X292mm，过滤颗粒效率为，过滤颗粒效率为99.9995%。新风空调过滤器分类新风空调过滤器分类化学过滤器参数如下：化学过滤器参数如下：新风空调过滤器分类新风空调过滤器分类OAC化学化学过滤器要求过滤器要求AMC范围范围 (ug/m3)现场取样量测之去除效率现场取样量测之去除效率 (%)最初去除效率最初去除效率 (1 month)最后去除最后去除 (212 month)TOC5050095705009570NH31010095701009570Acids (NO3, SO2,Cl,F， CH3
8、COO+HCOO)1010095701009570新风空调的组成新风空调的组成再冷盘管再冷盘管新风空调的组成新风空调的组成再热盘管再热盘管新风空调的组成新风空调的组成风机段，每台风机段，每台OAC有两个风机，有两个风机，55KW X2，满载为，满载为53Hz水喷淋段水喷淋段流量计对应流量计对应上方喷淋上方喷淋常补水阀常补水阀浮球补水阀浮球补水阀喷淋流量调节阀喷淋流量调节阀RO水送水压力水送水压力水喷淋段水喷淋段RO送水旁通送水旁通RO送水电动阀送水电动阀新风空调系统介绍新风空调系统介绍u 预热盘管在冬季工况下设定最小开度，预热盘管在冬季工况下设定最小开度，为防止为防止OAC在未开启的状态下，外
9、气在未开启的状态下，外气较低的温度可能会冻伤盘管，所以无较低的温度可能会冻伤盘管，所以无论论OAC是否开启，在冬季工况下预热是否开启，在冬季工况下预热盘管设定有最小开度防止盘管结冻。盘管设定有最小开度防止盘管结冻。新风空调系统介绍新风空调系统介绍 冬季工况下，由于冬季工况下，由于OAC预热盘管的控制点在喷淋预热盘管的控制点在喷淋段之后，预冷盘管的控制点在喷淋段之前，当预热条段之后，预冷盘管的控制点在喷淋段之前，当预热条件满足的情况下，相对于喷淋前控制的温度会高于预件满足的情况下，相对于喷淋前控制的温度会高于预冷段控制点，这样预处理时冷热盘管会同时开启，导冷段控制点，这样预处理时冷热盘管会同时开
10、启，导致资源浪费，冬季工况下并不需要开启预冷盘管，改致资源浪费，冬季工况下并不需要开启预冷盘管，改良后的控制方法是将预冷预热盘管的控制点改正同为良后的控制方法是将预冷预热盘管的控制点改正同为喷淋前温度，而将喷淋后温度设置为加湿板换中温水喷淋前温度，而将喷淋后温度设置为加湿板换中温水阀门开度控制，这样就避免了预处理段冷热水阀门同阀门开度控制，这样就避免了预处理段冷热水阀门同时开启，从而节约了能源。时开启，从而节约了能源。新风空调系统介绍新风空调系统介绍 冬季工况下，由于冬季工况下，由于OAC预热盘管的控制点在喷淋段之后，预热盘管的控制点在喷淋段之后，预冷盘管的控制点在喷淋段之前，当预热条件满足的
11、情况下，预冷盘管的控制点在喷淋段之前，当预热条件满足的情况下，相对于喷淋前控制的温度会高于预冷段控制点，这样预处理时相对于喷淋前控制的温度会高于预冷段控制点，这样预处理时冷热盘管会同时开启，导致资源浪费，冬季工况下并不需要开冷热盘管会同时开启，导致资源浪费，冬季工况下并不需要开启预冷盘管，改良后的控制方法是将预热盘管自控阀开度和水启预冷盘管，改良后的控制方法是将预热盘管自控阀开度和水喷淋板换处中温水自控阀开度同步，等于将水喷淋温度提高，喷淋板换处中温水自控阀开度同步，等于将水喷淋温度提高，降低了预热盘管的开度，在保证水喷淋后温度的同时，水喷淋降低了预热盘管的开度，在保证水喷淋后温度的同时，水喷
12、淋前的温度也有所下降，低于预冷盘管设定值时，则无需开启预前的温度也有所下降，低于预冷盘管设定值时，则无需开启预冷盘管，可以达到节能的效果。冷盘管，可以达到节能的效果。水喷淋泵介绍水喷淋泵介绍 每台每台OAC水喷淋段有两个水喷淋泵及水喷淋段有两个水喷淋泵及其附件组成，水喷淋段有两个重要的功能：其附件组成，水喷淋段有两个重要的功能：u加湿较干的空气，经过再冷再热后达到加湿较干的空气，经过再冷再热后达到要求的送风湿度。要求的送风湿度。u溶解外气可溶于水的化学成分，减少溶解外气可溶于水的化学成分，减少OAC化学过滤器和化学过滤器和FFU上化学过滤器的负上化学过滤器的负担。担。水喷淋泵水喷淋泵组组水喷淋
13、段内部水喷淋段内部喷淋段上方喷头喷雾喷头水喷淋下方补水OAC环形管网环形管网OAC对洁净室的影响对洁净室的影响OAC空调机设置在空调机设置在N/S 4F和和FAB 5F东西两侧东西两侧uFAB 5F 西侧：西侧：OAC 1#6#uFAB 5F 东侧：东侧：OAC 8#14#uN/S 4F：OAC 7#14台台OAC拥有各自的新风入口，而出口则组成一个环拥有各自的新风入口，而出口则组成一个环形网络连通后，通过集管送入洁净厂房，并通过区域形网络连通后，通过集管送入洁净厂房，并通过区域新风阀的开度，控制各个区域的正压梯度。新风阀的开度，控制各个区域的正压梯度。洁净室新风阀分布图洁净室新风阀分布图OA
14、C对洁净室的影响对洁净室的影响u 保证洁净室内新风温度接近要求值保证洁净室内新风温度接近要求值u 保证洁净室内区域的湿度保证洁净室内区域的湿度u 保证洁净室内各区域的正压梯度保证洁净室内各区域的正压梯度u 保证洁净室整体对外界的正压保证洁净室整体对外界的正压OAC操作界面操作界面新风空调系统介绍新风空调系统介绍OAC对洁净室的影响对洁净室的影响 OAC送风送至送风送至FAB 4F回风夹道，和回风组回风夹道，和回风组成的混合新风送至干盘管进行再次降温，根据成的混合新风送至干盘管进行再次降温，根据区域的温湿度探头反馈至调整盘管开度，已降区域的温湿度探头反馈至调整盘管开度，已降温的风由温的风由FFU
15、送至洁净室送至洁净室3F，与环境热量热交换，与环境热量热交换后经由华夫地板压至洁净室后经由华夫地板压至洁净室2F，与环境热量热，与环境热量热交换后，经由两侧的负压区回风夹道重新与新交换后，经由两侧的负压区回风夹道重新与新风混合送入干盘管。风混合送入干盘管。OAC对洁净室的影响对洁净室的影响 洁净室的湿度是直接受洁净室的湿度是直接受OAC影响的，影响的，OAC的送风绝对湿度将直接影响到末端区的送风绝对湿度将直接影响到末端区域空气的含湿量，不经其他处理，而洁净域空气的含湿量，不经其他处理，而洁净室内的基准点和室内的基准点和OAC送风温含湿量一样，送风温含湿量一样，设为设为22，45%RH，只要干盘
16、管能控制住，只要干盘管能控制住温度稳定在温度稳定在22，OAC的送风含湿量稳定，的送风含湿量稳定，室内热源没有波动，室内的相对湿度就不室内热源没有波动，室内的相对湿度就不会受其他因素的影响。会受其他因素的影响。温湿度传感器温湿度传感器变送器变送器温湿温湿度探头度探头OAC对洁净室的影响对洁净室的影响 OAC风机频率受集管静压的控制，风机频率受集管静压的控制，OAC集管静压集管静压点一共有五处，分别为东南、西南、东北、西北、点一共有五处，分别为东南、西南、东北、西北、N/S 4F。系统暂时启用了东南（代表了东侧静压）、。系统暂时启用了东南（代表了东侧静压）、西侧平均值（代表了西侧静压），西侧平均
17、值（代表了西侧静压），N/S 4F三个静压控三个静压控制点，东南静压控制点控制东侧制点，东南静压控制点控制东侧OAC 8#14#的风机频的风机频率，西南静压控制点控制率，西南静压控制点控制OAC 1#6#的风机频率，的风机频率，N/S 4F静压控制点控制静压控制点控制OAC 7#风机频率，每个控制点平均风机频率，每个控制点平均分配风机频率，每台受控制的分配风机频率，每台受控制的OAC风机运行频率保持风机运行频率保持一致，集管静压设定值在控制画面中可以调整，系统一致，集管静压设定值在控制画面中可以调整，系统会根据静压设定值调整对应会根据静压设定值调整对应OAC风机的频率。风机的频率。注：注：风风
18、机最低频率设为机最低频率设为20Hz洁净室内正压梯度洁净室内正压梯度光刻区光刻区+DIFF+COPPER+AL 区区 （已移除）（已移除）ECPCOPPER+TF+Wafer start+WAT+Tube cleaning+COPPERCMP+CMP+OAC对洁净室的影响对洁净室的影响 洁净室正压梯度如上图，洁净室正压梯度如上图，1个个+代表最低的正压度，代表最低的正压度，设定为对正压基准点（设定为对正压基准点（0位位/外界）有外界）有5Pa的正压，的正压，2个个+则表示对则表示对1个个+的区域设定有的区域设定有5Pa的正压，的正压，3个个+的区域的区域则是对则是对2个个+的区域设定有的区域设
19、定有5Pa的正压。为保证洁净室的正压。为保证洁净室内的洁净度，洁净室不允许有外界的脏空气进入，因内的洁净度，洁净室不允许有外界的脏空气进入，因此正压度越高的区域，洁净度也越高，对应区域的新此正压度越高的区域，洁净度也越高，对应区域的新风阀开度会比较大。正压基准点探头现设在风阀开度会比较大。正压基准点探头现设在FAB 5F东东侧机房内，侧机房内，OAC 9#送风管旁边，送风管旁边，注：注：各区域隔断门打各区域隔断门打开也会短时间影响洁净室内的压差，所以开门的时间开也会短时间影响洁净室内的压差，所以开门的时间不宜过长。不宜过长。洁净室静压导管洁净室静压导管FAB 3F 静压导管FAB 2F 静压变
20、送器OAC对洁净室的影响对洁净室的影响 OAC送风通过集管经由各个区域的新送风通过集管经由各个区域的新风阀送至风阀送至FAB内，新风阀的开度是根据各内，新风阀的开度是根据各个区域设定的正压度调整的，室内压差控个区域设定的正压度调整的，室内压差控制反馈与设定值如有差异，会调整对应区制反馈与设定值如有差异，会调整对应区域新风阀的开度，域新风阀的开度，4F 主主FAB新风阀共有新风阀共有43个。个。注：注：新风阀的动作会影响到室内温湿新风阀的动作会影响到室内温湿度波动，风量增大会改变原有的度波动，风量增大会改变原有的PID曲线。曲线。OAC对洁净室的影响对洁净室的影响 新风阀的动作会影响到对应区域新
21、风阀的动作会影响到对应区域OAC集管静压值。比如区集管静压值。比如区域正压不够，对应区域新风阀开度增大，集管送风量增大，因域正压不够，对应区域新风阀开度增大，集管送风量增大，因增加了泄压口，集管静压会降低，此时静压控制点提高对应增加了泄压口，集管静压会降低，此时静压控制点提高对应OAC风机频率，直至该侧集管静压达到设定值。反之，风机频率，直至该侧集管静压达到设定值。反之，OAC集集管静压的波动又会影响末端区域正压度，一旦正压度超过管静压的波动又会影响末端区域正压度，一旦正压度超过/低于低于设定值，会控制对应区域新风阀动作，集管静压和室内压差的设定值，会控制对应区域新风阀动作，集管静压和室内压差
22、的波动，长时间波动会带来送风温度和送风湿度的波动，所以应波动，长时间波动会带来送风温度和送风湿度的波动，所以应尽量避免长时间尽量避免长时间 地开启各区域隔断门（地开启各区域隔断门（FAB 2F/3F/4F），做好），做好各区域的围封。各区域的围封。注：注：OAC风机频率的升降会导致风机频率的升降会导致OAC送风温湿送风温湿度的少量波动，风量增大度的少量波动，风量增大/减小，热负荷会有增减小，热负荷会有增/减。减。OAC对洁净室的影响对洁净室的影响 另外，气流走向对温湿度的影响也是比较明另外，气流走向对温湿度的影响也是比较明显的，由于室内正压梯度的存在，以及各区域显的，由于室内正压梯度的存在，以
23、及各区域AMHS小车通行必须常开的空洞，导致洁净室小车通行必须常开的空洞，导致洁净室内正压高的区域气流会压向正压较低的区域，内正压高的区域气流会压向正压较低的区域，此时，正压低的区域温湿度会直接受邻近区域此时，正压低的区域温湿度会直接受邻近区域干盘管阀门开度的影响，加上各区域机台产生干盘管阀门开度的影响，加上各区域机台产生的热量不均匀，更容易造成局部温度失控或者的热量不均匀，更容易造成局部温度失控或者控制错位的现象控制错位的现象D/C系统系统 先前说到先前说到OAC新风是与新风是与FAB内回风混合后进内回风混合后进入入FAB内，末端温度由干盘管进行精控，这里介内，末端温度由干盘管进行精控，这里
24、介绍一下干盘管系统的组成和控制原理，干盘管绍一下干盘管系统的组成和控制原理，干盘管又称为又称为D/C：DRY COOLING COIL（干式冷盘管），（干式冷盘管），主主FAB内的干盘管分布于内的干盘管分布于FAB 4F东西两侧的马道，东西两侧的马道，S/S 3F的干盘管分布于的干盘管分布于S/S 3F吊顶上方，吊顶上方，CMP的的干盘管分布于干盘管分布于CMP吊顶上方，其他还有二次更吊顶上方，其他还有二次更衣室回风夹道内的衣室回风夹道内的4组干盘管，化学实验室内组干盘管，化学实验室内1组干盘管。组干盘管。D/C系统系统uFAB 4F东侧干盘管东侧干盘管 FAB 3F东侧区域温度东侧区域温度u
25、FAB 4F西侧干盘管西侧干盘管 FAB 3F西侧区域温度西侧区域温度uCMP吊顶上干盘管吊顶上干盘管 CMP区域温度区域温度uS/S 3F吊顶上干盘管吊顶上干盘管 S/S 3F区域温度区域温度u二更干盘管二更干盘管 二更区域温度二更区域温度uS/S 1F干盘管干盘管 S/S 1F化学实验室温度化学实验室温度D/C系统系统干盘管系统包括：干盘管系统包括：u现场盘管现场盘管uBP送水泵送水泵u附属仪表阀门附属仪表阀门干干盘管图盘管图D/C系统系统BP泵每组有两台，一用一备，配有变频器，根据压力泵每组有两台，一用一备，配有变频器，根据压力变频运行，满载为变频运行，满载为50Hz。变频器操作按钮BP
26、泵设备D/C系统系统D/C系统共有系统共有4组自控阀：组自控阀：1.BP泵冷水送水主管控制阀泵冷水送水主管控制阀2.BP泵干盘管回水混水阀泵干盘管回水混水阀3.BP泵压力旁通阀泵压力旁通阀4.D/C温度控制阀温度控制阀D/C系统系统 BP泵将冷水送至干盘管内，冷水经泵将冷水送至干盘管内，冷水经过干盘管与洁净室内的空气热交换后，分过干盘管与洁净室内的空气热交换后，分两路回水，一路经由混水阀回到两路回水，一路经由混水阀回到BP泵送水泵送水管网中再次循环，另一路则回到冷水回水管网中再次循环，另一路则回到冷水回水主管。主管。D/C系统系统泵组泵组冷水送水主阀冷水送水主阀混水阀混水阀压力旁通阀压力旁通阀
27、D/C系统系统 BP泵送水温度控制冷水送水主管控制泵送水温度控制冷水送水主管控制阀的开度，冷水送水主管控制阀与回水混阀的开度，冷水送水主管控制阀与回水混水阀是联动的，互相补偿为水阀是联动的，互相补偿为100%，若送水，若送水温度高于设定值，冷水送水主管控制阀开温度高于设定值，冷水送水主管控制阀开度增加，更多度增加，更多5的冷水并入系统，而此的冷水并入系统，而此时混水阀开度会对应减小，回水更多的往时混水阀开度会对应减小，回水更多的往冷水回水管道走，减小官网中较热的回水冷水回水管道走，减小官网中较热的回水并入循环。并入循环。D/C系统系统 压力旁通阀和压力旁通阀和BP泵的频率同时受到压力控制点的泵
28、的频率同时受到压力控制点的控制，如送水压力高控制，如送水压力高/低于设定值，控制输出也会变化，低于设定值，控制输出也会变化，比如送水压力高于设定值，自动控制首先会降低频率，比如送水压力高于设定值，自动控制首先会降低频率，直到频率降到直到频率降到5Hz，压力旁通阀会慢慢打开，直到压，压力旁通阀会慢慢打开，直到压力与设定值一致，压力控制点输出规则为：力与设定值一致，压力控制点输出规则为：OP=050%对应对应BP泵频率泵频率50Hz5Hz（旁通阀全关），（旁通阀全关），OP=50%100%对应旁通阀开度对应旁通阀开度0100%（此时阶段（此时阶段BP泵频率仍为泵频率仍为5Hz运行，为了安全考虑，旁
29、通阀已经强运行，为了安全考虑，旁通阀已经强制欲开了制欲开了10%，所以自始至终旁通阀开度的变化为，所以自始至终旁通阀开度的变化为10%100%）D/C系统系统 干盘管温度控制阀直接受室内温湿度探头反馈值的影响，干盘管温度控制阀直接受室内温湿度探头反馈值的影响，室内温度反馈如果高于设定值。干盘管温度控制阀开度增大，室内温度反馈如果高于设定值。干盘管温度控制阀开度增大，干盘管中冷水量变大，将洁净室更多的热量带入干盘管中冷水量变大，将洁净室更多的热量带入BP泵的循环中，泵的循环中，BP泵送水温度上升，冷水主管控制阀开度增大，此时管网中的泵送水温度上升，冷水主管控制阀开度增大，此时管网中的水量增大，导
30、致压力过高，水量增大，导致压力过高，BP泵频率会相应降低一些，但是泵频率会相应降低一些，但是BP泵主管控制阀开度增大后，泵主管控制阀开度增大后，BP泵送水温度下降，此时洁净室温泵送水温度下降，此时洁净室温度还未恢复，所以度还未恢复，所以D/C温度控制阀还未关小，瞬间系统会有大温度控制阀还未关小，瞬间系统会有大量的冷量直接投放到干盘管与洁净室循环风接触，导致区域温量的冷量直接投放到干盘管与洁净室循环风接触，导致区域温度下降过快，此时系统会关小度下降过快，此时系统会关小D/C温度控制阀，回到温度控制阀，回到BP回水的回水的热量少了，热量少了，BP泵送水温度下降，冷水主管控制阀开度减小，一泵送水温度
31、下降，冷水主管控制阀开度减小，一次波动结束，通过次波动结束，通过PID的调整，系统会趋于稳定。的调整，系统会趋于稳定。注：注：若若PID时时常需要手动干预，可以将常需要手动干预，可以将BP泵冷水主管控制阀或者泵冷水主管控制阀或者D/C温度控温度控制阀中的一个手动控制，另一个保持自动控制，直到系统稳定。制阀中的一个手动控制，另一个保持自动控制，直到系统稳定。FFUFFU FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为风机滤器单元（机组）。也就是将风机和超高效过滤器（ULPA）组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备。确切地说是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机从FFU顶部将空气吸入并经ULPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s20%的风速均匀送出。新风空调系统介绍新风空调系统介绍附件：附件：1.OAC切换手册切换手册2.BP泵切换手册泵切换手册3.OAC全面维保记录全面维保记录4.OAC操作说明书操作说明书5.OAC自控动作说明自控动作说明
