1、第第3 3章章 电感式传感器电感式传感器主要内容 3.1 3.1 自感式传感器自感式传感器 3.2 3.2 差动变压器式传感器差动变压器式传感器 3.3 3.3 涡流式传感器涡流式传感器 3.4 3.4 电感式传感器应用举例电感式传感器应用举例绪绪 论论 电感式传感器是利用线圈电感式传感器是利用线圈自感自感（self-inductance of coils ）或或互感互感（mutual inductance of coils）的改变来实现测量的一种的改变来实现测量的一种装置。可以测量位移、振动、压力、流量、比重等参数。装置。可以测量位移、振动、压力、流量、比重等参数。电感式传感器的核心部分是可
2、变的自感或互感，在将被测量电感式传感器的核心部分是可变的自感或互感，在将被测量转换成线圈自感或互感的变化时，一般要利用磁场作为媒介或转换成线圈自感或互感的变化时，一般要利用磁场作为媒介或利用铁磁体的某些现象。这类传感器的主要特征是具有电感绕利用铁磁体的某些现象。这类传感器的主要特征是具有电感绕组。组。习惯上讲的电感式传感器通常指习惯上讲的电感式传感器通常指自感式传感器自感式传感器（变磁阻式变磁阻式reluctance variation sensors），而互感式传感器由于它利用变压，而互感式传感器由于它利用变压器原理，又往往做成差动式，故称作器原理，又往往做成差动式，故称作差动变压器差动变压
3、器（linear variable differential transformers(LVDTs)）此外，利用涡流原理此外，利用涡流原理的电涡流式传感器（的电涡流式传感器（Eddy current sensors ）、利用材料压磁效）、利用材料压磁效应（应（Piezo-magnetic effect）的压磁式传感器、利用平面绕组互感）的压磁式传感器、利用平面绕组互感原理的感应同步器原理的感应同步器(I Inductosyn)等，亦属电感式传感器等，亦属电感式传感器 特特 点点（1 1）工作可靠、寿命长；）工作可靠、寿命长；（2 2）灵敏度高、分辨率高）灵敏度高、分辨率高;位移位移:0.01m
4、;:0.01m;角度角度0.10.1”;输出信号强，电压灵敏度可达数输出信号强，电压灵敏度可达数百百mV/mm mV/mm。（3 3）精度高、线性好）精度高、线性好;在几十在几十mm到数百到数百mmmm的位移范围内，输出特性的线性度较好，的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。非线性误差：且比较稳定。非线性误差：0.05%0.1%；（4 4）性能稳定、重复性好。）性能稳定、重复性好。不足不足：存在交流零位信号，不宜于高频动态测量。：存在交流零位信号，不宜于高频动态测量。3.13.1自感式自感式(变磁阻变磁阻)传感器传感器3.1.1工作原理工作原理1线圈线圈coil；2铁芯铁芯Magne
5、tic core；3衔铁衔铁Moving coreself-inductance of coil is:式中：式中：N-number of turns RM-reluctance2MMNNINNLIIRRx RM L 因为气隙较小因为气隙较小(0.1(0.11mm)1mm)，所以，认为气隙磁场是均匀的，所以，认为气隙磁场是均匀的，若忽略磁路铁损，则磁路总磁阻为，若忽略磁路铁损，则磁路总磁阻为:10022nimiiilRSSS铁芯磁导率远大于空气铁芯磁导率远大于空气的磁导率，因此铁芯磁的磁导率，因此铁芯磁阻远较气隙磁阻小阻远较气隙磁阻小2220022mN SNNLRS线圈自感线圈自感L为：为：分
6、类：分类：变气隙厚度变气隙厚度的电感式传感器；的电感式传感器；变气隙面积变气隙面积S S的电感式传感器；的电感式传感器；变铁芯磁导率变铁芯磁导率的电感式传感器；的电感式传感器；自感式电感传感器常见的形式自感式电感传感器常见的形式 1线圈线圈coil；2铁芯铁芯Magnetic core；3衔铁衔铁Moving core变气隙式变气隙式变截面式变截面式螺线管式螺线管式L=f（S）L=f（）LSL=f()为非线性关系。当为非线性关系。当0时，时，L为为，考虑导磁体的磁阻，当，考虑导磁体的磁阻，当0时，并不等于时，并不等于，而具有一定，而具有一定的数值，在的数值，在较小时其特性曲线较小时其特性曲线如
7、图中虚线所示。如移动衔铁使如图中虚线所示。如移动衔铁使面积面积S改变，从而改变改变，从而改变L值时值时,则则Lf(S)的特性曲线为一直线。的特性曲线为一直线。3.1.23.1.2电感计算与输出特性分析电感计算与输出特性分析220SNL 1.1.变气隙式自感传感器变气隙式自感传感器如图，传感器初始电感量为：如图，传感器初始电感量为：02002SNL 传感器工作时，若衔铁移动使气隙增加传感器工作时，若衔铁移动使气隙增加，则电感减小，变化量为则电感减小，变化量为LL：2200000002()2SNSNLLLL 自感的相对变化量为：自感的相对变化量为：000011LL一般，一般，10 ，则上式可由泰勒
8、级数展开成级数形式为，则上式可由泰勒级数展开成级数形式为 .13020000LL将上式作线性处理，忽略高次项，可得自感变化与气隙变化成近似将上式作线性处理，忽略高次项，可得自感变化与气隙变化成近似线性关系：线性关系：00LL 变气隙式自感传感器的灵敏度为变气隙式自感传感器的灵敏度为001LLK可见，灵敏度可见，灵敏度K K随初始气隙的增大而减小随初始气隙的增大而减小。非线性误差为非线性误差为:%1000020非线性误差随非线性误差随 的增大而增大的增大而增大 0采用图示差动变隙式电感传感采用图示差动变隙式电感传感器，可以减小非线性，提高灵器，可以减小非线性，提高灵敏度。敏度。220012020
9、000122()2()1()SNSNLLLL 差动变隙式自感传感器差动变隙式自感传感器的电感变化量为：的电感变化量为：差动式电感传感器的电感相对变化量为：差动式电感传感器的电感相对变化量为：2000)(112LL当当10，上式展开成泰勒级数：，上式展开成泰勒级数：24000021.LL 忽略高次项，可得忽略高次项，可得:002LL 差动变隙式自感传感器的灵敏度为差动变隙式自感传感器的灵敏度为002LLK非线性误差为非线性误差为%10020030差动式自感传感器的灵敏度差动式自感传感器的灵敏度比单线圈传感器提高一倍比单线圈传感器提高一倍差动式自感传感器非线性失差动式自感传感器非线性失真小真小,如
10、当如当/=10/=10时时,单线圈单线圈1010；而差动式的；而差动式的 1 1采用差动式传感器，还能抵采用差动式传感器，还能抵消温度变化、电源波动、外界消温度变化、电源波动、外界干扰、电磁吸力等因素对传感干扰、电磁吸力等因素对传感器的影响器的影响 75502505075100L/mH/mm10025LD432112341 线圈线圈自感特性曲线；自感特性曲线；2 线圈线圈自感特性曲线；自感特性曲线；3 线圈线圈与与差动自感特性曲线；差动自感特性曲线；4 差动电桥输出电压位移特性曲线差动电桥输出电压位移特性曲线LL1L2 L00 注意！注意！当气隙当气隙发生变化时，自感发生变化时，自感的变化与气
11、隙变化均呈非线性的变化与气隙变化均呈非线性关系，其非线性程度随气隙相关系，其非线性程度随气隙相对变化对变化/的增大而增加；的增大而增加；气隙减少气隙减少所引起的自感所引起的自感变化变化L L1 1与气隙增加同样与气隙增加同样所引起的自感变化所引起的自感变化L L2 2并不相并不相等，即等，即L L1 1L L2 2，其差值随，其差值随l l/l l的增加而增大。的增加而增大。rx螺管线圈螺管线圈铁芯铁芯单线圈螺管型传感器结构图单线圈螺管型传感器结构图l 2.2.螺管型电感传感器螺管型电感传感器 有单线圈和差动式两种结构形式。有单线圈和差动式两种结构形式。单线圈螺管型传感器的主要元件为一只螺管线
12、圈一根圆柱单线圈螺管型传感器的主要元件为一只螺管线圈一根圆柱形铁芯及磁性套筒。传感器工作时，因铁芯在线圈中伸入长度形铁芯及磁性套筒。传感器工作时，因铁芯在线圈中伸入长度的变化，引起线圈泄漏路径中磁阻的变化，从而使线圈自感发的变化，引起线圈泄漏路径中磁阻的变化，从而使线圈自感发生变化。生变化。螺管线圈螺管线圈1铁芯铁芯差动螺管型传感器结构图差动螺管型传感器结构图螺管线圈螺管线圈2磁性套筒磁性套筒主磁通主磁通漏磁通漏磁通x螺管线圈内磁场分布曲线螺管线圈内磁场分布曲线rl1.00.80.60.40.20.2 0.4 0.60.81.0H（）INlx（l）螺管式自感传感器根据其磁螺管式自感传感器根据其
13、磁路结构，磁通主要由两部分组路结构，磁通主要由两部分组成：磁通沿轴向贯穿整个线圈成：磁通沿轴向贯穿整个线圈后闭合的为后闭合的为 主磁通主磁通；另外经铁；另外经铁芯侧面气隙闭合的侧磁通称为芯侧面气隙闭合的侧磁通称为漏磁通漏磁通。铁芯在开始插入（。铁芯在开始插入（x x=0=0）或几乎离开线圈时的灵敏度，或几乎离开线圈时的灵敏度，比铁芯插入线圈的比铁芯插入线圈的1/21/2长度时的长度时的灵敏度小得多。这说明灵敏度小得多。这说明只有在只有在线圈中段才有可能获得较高的线圈中段才有可能获得较高的灵敏度，并且有较好的线性特灵敏度，并且有较好的线性特性。性。12PBxxlr设螺管线圈全长为设螺管线圈全长为
14、l,内径为内径为r,匝匝数为数为N,通电电流强度为通电电流强度为I。沿轴沿轴线任意一点线任意一点P的磁场强度的磁场强度H为：为：)(22222rxxrxlxllINHl为简化分析，设螺管线圈的长径为简化分析，设螺管线圈的长径比比/1l r lINH 圈内磁场强度分布均匀，线圈圈内磁场强度分布均匀，线圈中心处的磁场强度为：中心处的磁场强度为：，则可认为螺管线，则可认为螺管线则空心螺管线圈的电感为：则空心螺管线圈的电感为：2200NrNNBSLIIl当线圈插有铁芯时，由于铁芯是铁磁性材料，使插入部分的磁当线圈插有铁芯时，由于铁芯是铁磁性材料，使插入部分的磁阻下降，故磁感强度阻下降，故磁感强度B B
15、增大，电感值增加。增大，电感值增加。设铁芯长度与线圈长度相同，铁芯半径为设铁芯长度与线圈长度相同，铁芯半径为 ，线圈所包围横，线圈所包围横截面上的磁通量由两部分组成：铁芯所占截面的磁通量和气隙截面上的磁通量由两部分组成：铁芯所占截面的磁通量和气隙的磁通量，总磁通量为的磁通量，总磁通量为:er22222000()(1)areereHrHrrHrr 线圈电感增大为：线圈电感增大为：lrrNINLera)1(2220 如果铁芯长度如果铁芯长度 小于线圈长度小于线圈长度l，则线圈电感为，则线圈电感为el22220)1(lrllrNLeer22220)(1(lrlllrNLLeeer 当当 增加增加 时
16、，线圈电感增大时，线圈电感增大L L，则，则elel电感变化量为电感变化量为2220)1(llrNLere电感的相对变化量为电感的相对变化量为21111eereerrllllLL可以看出，若被测量与可以看出，若被测量与 成正比，则成正比，则L L与被测量也成正比。实与被测量也成正比。实际中，由于线圈长度有限，线圈磁场强度分布并不均匀，输入量际中，由于线圈长度有限，线圈磁场强度分布并不均匀，输入量与输出量之间的关系是非线性的。与输出量之间的关系是非线性的。el为了提高灵敏度与线性度为了提高灵敏度与线性度,常常采用差动螺管式自感传感器。采用差动螺管式自感传感器。图图(b)(b)中中H=f(x)曲线
17、表明：为曲线表明：为了得到较好的线性了得到较好的线性,铁芯长度铁芯长度取取0.6l时时,则铁芯工作在则铁芯工作在H H曲线曲线的拐弯处的拐弯处,此时此时H H变化小。这种变化小。这种差动螺管式自感传感器的测量差动螺管式自感传感器的测量范围为范围为(550)mm,非线性误非线性误差在差在0.5左右。左右。2lclc2l线圈线圈r0.80.60.40.20.20.40.60.8-0.80.80.41.2-1.2-0.4xH（）INlx(l)(a)(b)3.1.33.1.3传感器的信号调节电路传感器的信号调节电路图中图中B B点的电压为：点的电压为：2BEU 212AZUEZZ图中图中A A点的电压
18、为：点的电压为：1.1.变压器电桥变压器电桥输出电压：输出电压：201212ABZUUUEZZ讨论：讨论：（1 1）当铁芯处于中间位置时，）当铁芯处于中间位置时，Z Z1 1=Z=Z2 2=Z=Z，这时，这时U U0 0=0,=0,电桥平衡；电桥平衡；（2 2）当铁芯向下移动时，下面线圈的阻抗增加，）当铁芯向下移动时，下面线圈的阻抗增加，Z Z2 2=Z+Z=Z+Z，上，上面线圈的阻抗减小，面线圈的阻抗减小，Z Z1 1=Z-Z=Z-Z得：得：12222SOSRjLZZZEUEEZZRj L 反之，当铁芯向上移动同样大小的距离时，反之，当铁芯向上移动同样大小的距离时，Z Z2 2=Z-Z,=Z
19、-Z,Z Z1 1=Z+Z=Z+Z，得：，得：01222ZZEZUEZZ 幅值为：幅值为：222222222SOSSLRLUEERLRL 输出电压幅值为输出电压幅值为:ELRLUsO222两种情况的输出电压大小相等，方向相反，由于两种情况的输出电压大小相等，方向相反，由于E E是交流电压，是交流电压，所以输出电压所以输出电压U U0 0在输入到指示器前必须先进行整流、滤波。在输入到指示器前必须先进行整流、滤波。2.2.带相敏整流的交流电桥带相敏整流的交流电桥由于电路结构不完全对称由于电路结构不完全对称,当输入电压中包当输入电压中包含有谐波时，输出端在铁芯位移为零时将含有谐波时，输出端在铁芯位移
20、为零时将出现残余电压，称之为零点残余电压。出现残余电压，称之为零点残余电压。采用相敏整流电路可以消除零点残余电压、采用相敏整流电路可以消除零点残余电压、判别衔铁位移的方向判别衔铁位移的方向 、改善线性度、改善线性度 。3.1.43.1.4影响传感器精度的因素分析影响传感器精度的因素分析1.1.电源电压和频率波动的影响电源电压和频率波动的影响2.2.温度变化的影响温度变化的影响3.3.非线性特性的影响非线性特性的影响4.4.输出电压与电源电压之间的相位差输出电压与电源电压之间的相位差5.5.零位误差的影响零位误差的影响3.23.2差动变压器式传感器差动变压器式传感器(linear variabl
21、e differential transformers(LVDTs)分气隙型和差动变压器两种。目前多采用螺管型差动变压器。分气隙型和差动变压器两种。目前多采用螺管型差动变压器。1 初级线圈;2.3次级线圈;4衔铁1243123(a)气隙型(b)螺管型基本元件有衔铁、初级线基本元件有衔铁、初级线圈、次级线圈和线圈框架圈、次级线圈和线圈框架等。初级线圈作为差动变等。初级线圈作为差动变压器激励用，相当于变压压器激励用，相当于变压器的原边，而次级线圈由器的原边，而次级线圈由结构尺寸和参数相同的两结构尺寸和参数相同的两个线圈反相串接而成，相个线圈反相串接而成，相当于变压器的副边。螺管当于变压器的副边。螺
22、管形差动变压器根据初、次形差动变压器根据初、次级排列不同有二节式、三级排列不同有二节式、三节式、四节式和五节式等节式、四节式和五节式等形式。形式。321212112(a)(b)(c)(d)121121 1 初级线圈；初级线圈；2 2 次级线圈；次级线圈；3 3 衔铁衔铁3三节式的零点电位较小，二节式比三节式灵敏度高、线性三节式的零点电位较小，二节式比三节式灵敏度高、线性范围大，四节式和五节式改善了传感器线性度。范围大，四节式和五节式改善了传感器线性度。3.2.13.2.1螺管形差动变压器螺管形差动变压器1.1.工作原理工作原理副0EsEs1Es2x副原线圈差动变压器输出电势与差动变压器输出电势
23、与衔铁位移的关系。其中衔铁位移的关系。其中x x表示衔铁偏离中心位表示衔铁偏离中心位置的距离。置的距离。EsRs1Rs2Es1Es2EpRpM1M2Ls1Ls2LpIp2.2.基本特性分析基本特性分析EsRs1Rs2Es1Es2EpRpM1M2Ls1Ls2LpIp（1 1）输出特性）输出特性初级线圈的复数电流值为初级线圈的复数电流值为:PPPPEIRj L输出电压：输出电压：1212PPSSSdIdIEEEMMdtdt将电流将电流 写成复指数形式：写成复指数形式：PIj tPPMIIe 则则j tPPMPdIj Iej Idt 1212PSPPPjMMEEjMMIRj L 则输出电压为：则输出
24、电压为：讨论讨论:（1 1）磁芯处于中间平衡位置时，互感）磁芯处于中间平衡位置时，互感M M1 1=M M2 2=M=M，则，则E Es s=0=0；（2 2）磁芯上升时，）磁芯上升时，M M1 1=M+MM+M，M M2 2=M-MM-M，则，则 222PPPSLRMEE(3)(3)磁芯下降时，磁芯下降时，M M1 1=M-MM-M，M M2 2=M+MM+M，则，则222PPPSLRMEE（2 2）灵敏度）灵敏度定义定义：差动变压器在单位电压激励下，铁芯移动单位距离时：差动变压器在单位电压激励下，铁芯移动单位距离时的输出电压；单位：的输出电压；单位：V/mm/VV/mm/V；如何提高灵敏度
25、？如何提高灵敏度？（3 3）频率和相位特性）频率和相位特性应用时激磁频率应用时激磁频率一般在一般在400Hz400Hz到到5kHz5kHz的范围内选的范围内选择择。（a a）频率特性）频率特性 （b b）负载对频率特性的影响）负载对频率特性的影响 差动变压器的输差动变压器的输出特性与激励频出特性与激励频率、负载电阻大率、负载电阻大小有关小有关 设差动变压器的负载电阻为设差动变压器的负载电阻为 ，感应电势感应电势 在在 上产生的上产生的LRSELR输出电压输出电压 为为 OU式中，式中，,LOSLSSRUERRj L12SSSRRR12SSSLLL。21()LOPLSSPPRjMMUERRjLR
26、jL则则则输出电压则输出电压 的幅值和相位分别为的幅值和相位分别为OU212222()LOPPLSSPRMMUERRLRLSLSPPRRLtgLRtg11(4)(4)线性度线性度一般差动变压器的线性范围约为线圈骨架长度的一般差动变压器的线性范围约为线圈骨架长度的1/101/4。(5)(5)温度特性温度特性差动变压器的使用温度通常为差动变压器的使用温度通常为80803.2.23.2.2差动变压器的测量电路差动变压器的测量电路1.1.差动整流电路差动整流电路根据半导体二级管单向导通原理进行解调的。如传感器的一个根据半导体二级管单向导通原理进行解调的。如传感器的一个次级线圈的输出瞬时电压极性，在次级
27、线圈的输出瞬时电压极性，在f点为点为“”，e点为点为“”，则电流路径是则电流路径是fgdche（参看图（参看图a）。反之，如）。反之，如f点为点为“”，e e点点为为“”，则电流路径是，则电流路径是ehdcgf。可见，无论次级线圈的输出瞬。可见，无论次级线圈的输出瞬时电压极性如何，通过电阻时电压极性如何，通过电阻R R的电流总是从的电流总是从d到到c。同理可分析另。同理可分析另一个次级线圈的输出情况。输出的电压波形见图（一个次级线圈的输出情况。输出的电压波形见图（b），其值为），其值为USC=eabecd。全波整流电路和波形图e1RRcabhgfdeUSC衔铁在零位以下eabttteabttt
28、eabtecdtUSCtecdUSCUSCecd衔铁在零位以上衔铁在零位(b)(a)在f点为“”，则电流路径是fgdche(参看图a)。反之，如f点为“”，则电流路径是ehdcgf。2 2、相敏检波电路、相敏检波电路容易做到输出平衡，便于阻抗匹配。图中调制电压容易做到输出平衡，便于阻抗匹配。图中调制电压er和和e同频，经同频，经过移相器使过移相器使er和和e保持同相或反相，且满足保持同相或反相，且满足ere。调节电位器。调节电位器R可可调平衡，图中电阻调平衡，图中电阻R1=R2=R0，电容，电容C1=C2=C0，输出电压为，输出电压为UCD。当铁芯在中间时当铁芯在中间时,e=0,只有只有er起
29、作用，输出电压起作用，输出电压UCD0。若铁芯上。若铁芯上移，移，e0，设，设e和和er同相位，由于同相位，由于ere，故，故er正半周时正半周时D1、D2仍导仍导通，但通，但D1回路内总电势为回路内总电势为ere，而，而D2回路内总电势为回路内总电势为ere，故回，故回路电流路电流i1i2输出电压输出电压UCD=R0（i1i2）0。当。当er负半周时，负半周时，Ri1e1R1R2e21e22C2C1er移相器D1D4D3D2CDABi3i2i4eUCD=R0(i4-i3)0，因此铁芯上移时因此铁芯上移时输出电压输出电压UCD0。当铁芯下移时，当铁芯下移时，e和和er相位相反。相位相反。同理可
30、得同理可得UCD0。由此可见，该电由此可见，该电路能判别铁芯移路能判别铁芯移动的方向。动的方向。3 3零位残余电压的补偿零位残余电压的补偿当差动变压器的衔铁处于中间位置时，理想条件下其输出电压为当差动变压器的衔铁处于中间位置时，理想条件下其输出电压为零。但实际上，当使用桥式电路时，在零点仍有一个微小的电压零。但实际上，当使用桥式电路时，在零点仍有一个微小的电压值值(从零点几从零点几mVmV到数十到数十mV)mV)存在，称为存在，称为零点残余电压零点残余电压。如图是扩大。如图是扩大了的零点残余电压的输出特性。零点残余电压的存在造成零点附了的零点残余电压的输出特性。零点残余电压的存在造成零点附近的
31、不灵敏区；零点残余电压输入放大器内会使放大器末级趋向近的不灵敏区；零点残余电压输入放大器内会使放大器末级趋向饱和，影响电路正常工作等。饱和，影响电路正常工作等。0u0 x-xu00零点残余电压产生原因：零点残余电压产生原因：基波分量基波分量。由于差动变压器两个次级绕组不可能完全一致，。由于差动变压器两个次级绕组不可能完全一致，因此它的因此它的等效电路参数等效电路参数（互感（互感M M、自感、自感L L及损耗电阻及损耗电阻R R）不可）不可能相同，从而使两个次级绕组的感应电势数值不等。又因初能相同，从而使两个次级绕组的感应电势数值不等。又因初级线圈中铜损电阻及导磁材料的铁损和材质的不均匀，线圈级
32、线圈中铜损电阻及导磁材料的铁损和材质的不均匀，线圈匝间电容的存在等因素，使激励电流与所产生的磁通相位不匝间电容的存在等因素，使激励电流与所产生的磁通相位不同。同。高次谐波高次谐波。高次谐波分量主要由导磁材料磁化曲线的。高次谐波分量主要由导磁材料磁化曲线的非线非线性性引起。由于磁滞损耗和铁磁饱和的影响，使得激励电流与引起。由于磁滞损耗和铁磁饱和的影响，使得激励电流与磁通波形不一致产生了非正弦磁通波形不一致产生了非正弦(主要是三次谐波主要是三次谐波)磁通，从而磁通，从而在次级绕组感应出非正弦电势。另外，激励电流波形失真，在次级绕组感应出非正弦电势。另外，激励电流波形失真，因其内含高次谐波分量，这样
33、也将导致零点残余电压中有高因其内含高次谐波分量，这样也将导致零点残余电压中有高次谐波成分。次谐波成分。消除零点残余电压方法：消除零点残余电压方法：1 1从设计和工艺上保证结构对称性从设计和工艺上保证结构对称性 为保证线圈和磁路的对称性，首先，要求提高加工精度，为保证线圈和磁路的对称性，首先，要求提高加工精度，线圈选配成对，采用磁路可调节结构。其次，应选高磁导率、线圈选配成对，采用磁路可调节结构。其次，应选高磁导率、低矫顽力、低剩磁感应的导磁材料。并应经过热处理，消除残低矫顽力、低剩磁感应的导磁材料。并应经过热处理，消除残余应力，以提高磁性能的均匀性和稳定性。由高次谐波产生的余应力，以提高磁性能
34、的均匀性和稳定性。由高次谐波产生的因素可知，磁路工作点应选在磁化曲线的线性段。因素可知，磁路工作点应选在磁化曲线的线性段。2 2选用合适的测量线路选用合适的测量线路采用相敏检波电路不仅可鉴别衔铁移动采用相敏检波电路不仅可鉴别衔铁移动方向，而且把衔铁在中间位置时，因高方向，而且把衔铁在中间位置时，因高次谐波引起的零点残余电压消除掉。如次谐波引起的零点残余电压消除掉。如图，采用相敏检波后衔铁反行程时的特图，采用相敏检波后衔铁反行程时的特性曲线由性曲线由1 1变到变到2 2，从而消除了零点残余，从而消除了零点残余电压。电压。u0+x-x210相敏检波后的输出特性相敏检波后的输出特性3 3采用补偿线路
35、采用补偿线路由于两个次级线圈感应电压相位不同，并联电容可改变其由于两个次级线圈感应电压相位不同，并联电容可改变其一的相位，也可将电容一的相位，也可将电容C C改为电阻，如图改为电阻，如图(a a)。由于。由于R R的分流作的分流作用将使流入传感器线圈的电流发生变化，从而改变磁化曲线用将使流入传感器线圈的电流发生变化，从而改变磁化曲线的工作点，减小高次谐波所产生的残余电压。图的工作点，减小高次谐波所产生的残余电压。图(b b)中串联电中串联电阻阻R R可以调整次级线圈的电阻分量。可以调整次级线圈的电阻分量。uiu0CRuiu0CR(a)(b)调相位式残余电压补偿电路调相位式残余电压补偿电路并联电
36、位器并联电位器W W用于电气调零，改变两次级线圈输出电压的用于电气调零，改变两次级线圈输出电压的相位，如图所示。电容相位，如图所示。电容C C(0.02F)(0.02F)可防止调整电位器时使零可防止调整电位器时使零点移动。点移动。uiu0CR1R2W电位器调零点残余电压补偿电路电位器调零点残余电压补偿电路R或或L补偿电路补偿电路uiu0L0Wuiu0R0W(a)(b)接入接入R R0 0(几百几百k)k)或或补偿线圈补偿线圈L L0 0(几百匝几百匝)。绕在差动变压器的初级绕在差动变压器的初级线圈上以减小负载电压，线圈上以减小负载电压，避免负载不是纯电阻而避免负载不是纯电阻而引起较大的零点残余
37、电引起较大的零点残余电压。电路如图。压。电路如图。3.33.3涡流式传感器涡流式传感器(Eddy current sensors)根据法拉第电磁感应定律，金属导体置于变化的磁场中或在根据法拉第电磁感应定律，金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时，导体内将产生呈漩涡状流动的磁场中作切割磁力线运动时，导体内将产生呈漩涡状流动的感应电流，称之为感应电流，称之为电涡流电涡流，这种现象称为，这种现象称为电涡流效应电涡流效应。涡流的大小与金属的电阻率涡流的大小与金属的电阻率、磁导率、磁导率、几何尺寸、产生磁、几何尺寸、产生磁场的线圈与金属的距离场的线圈与金属的距离x x，线圈的激磁电流及其频
38、率等参数有，线圈的激磁电流及其频率等参数有关。若固定其中的若干参数，就能按涡流的大小测量出另外某关。若固定其中的若干参数，就能按涡流的大小测量出另外某一参数。一参数。电涡流式传感器是一种建立在电涡流效应原理上的传感器，它电涡流式传感器是一种建立在电涡流效应原理上的传感器，它具有结构简单、频率响应宽、灵敏度高、测量线性范围大、抗具有结构简单、频率响应宽、灵敏度高、测量线性范围大、抗干扰能力强以及体积较小等一系列优点。电涡流式传感器可以干扰能力强以及体积较小等一系列优点。电涡流式传感器可以实现振动、位移、尺寸、转速、温度、硬度等参数的非接触测实现振动、位移、尺寸、转速、温度、硬度等参数的非接触测量
39、，并且还可以进行无损探伤。量，并且还可以进行无损探伤。1.1.高频反射式电涡流传感器结构和工作原理高频反射式电涡流传感器结构和工作原理1234561-线圈线圈 2-框架框架 3-衬套衬套4-支架支架 5-电缆电缆 6-插头插头222222221222222221LLRMLjRLRMRZ测量时线圈的等效阻抗为：测量时线圈的等效阻抗为：测量时线圈阻抗随金属导体的测量时线圈阻抗随金属导体的电阻率电阻率、磁导率、磁导率、线圈激、线圈激励电流的角频率励电流的角频率以及线圈与以及线圈与金属导体的距离金属导体的距离x x等参数变化，等参数变化，即：即：),(xfZ 若能控制式中其它参数不变，只若能控制式中其
40、它参数不变，只改变其中一个参数，这样阻抗就改变其中一个参数，这样阻抗就能成为这个参数的单值函数，从能成为这个参数的单值函数，从而实现该参数的测量而实现该参数的测量。2.2.测量电路测量电路（1 1）调频式电路）调频式电路 （2 2）调幅式电路）调幅式电路 （a）调幅式电路原理图 （b）输出特性3.43.4电感式传感器应用举例电感式传感器应用举例1 1用于磁力轴承的自感式位置传感器用于磁力轴承的自感式位置传感器INSjRSRNjU20220222 2用于工件直径等尺寸测量的电感式传感器用于工件直径等尺寸测量的电感式传感器11引线电缆引线电缆 2 2固定磁筒固定磁筒 3 3衔铁衔铁 4 4线圈线圈
41、 5 5测力弹簧测力弹簧 66防转销防转销 7 7钢球导轨（直线轴承）钢球导轨（直线轴承）8 8测杆测杆 9 9密封套密封套 1010测端测端 11 11被测工件被测工件 12 12基准面基准面 电感测微头电感测微头电感测微传感器电路原理图电感测微传感器电路原理图 电感式不圆度计电感式不圆度计 该圆度计采用该圆度计采用旁向式电感测微头旁向式电感测微头 电感式不圆度测量系统外形电感式不圆度测量系统外形测量头测量头旋转盘旋转盘电感式滚柱直径分选装置电感式滚柱直径分选装置 11气缸气缸 2 2活塞活塞 3 3推杆推杆 4 4被测滚柱被测滚柱 5 5落料管落料管 6 6电感测电感测微器微器 7 7钨钢
42、测头钨钢测头 8 8限位挡板限位挡板 9 9电磁翻板电磁翻板 10 10容器（料斗）容器（料斗）3.自感式压力传感器自感式压力传感器PAP 微压力变送器微压力变送器将差动变压器和弹性敏感元件（膜片、膜盒和弹簧管等）相将差动变压器和弹性敏感元件（膜片、膜盒和弹簧管等）相结合，可以组成各种形式的压力传感器。结合，可以组成各种形式的压力传感器。220V1接头 2 膜盒 3 底座 4 线路板 5 差动变压器 6 衔铁 7 罩壳V振荡器稳压电源差动变压器相敏检波电路1234567这种变送器可分档测量这种变送器可分档测量(5(510105 56 610105 5)N/m)N/m2 2压力，输出信号压力，输
43、出信号电压为电压为(0(050)mV50)mV，精度为，精度为1.51.5级。级。差动变压器式加速度传感器差动变压器式加速度传感器用于测定振动物体的频率和振幅时其激磁频率必须是振动频率的用于测定振动物体的频率和振幅时其激磁频率必须是振动频率的十倍以上，才能得到精确的测量结果。可测量的振幅为十倍以上，才能得到精确的测量结果。可测量的振幅为(0.1(0.15)mm5)mm，振动频率为，振动频率为(0(0150)Hz150)Hz。稳压电源振荡器检波器滤波器(b)(a)220V加速度a方向a输出1211 弹性支承 2 差动变压器NDL/00LML 若转轴上开若转轴上开z z 个槽个槽(或齿或齿)，频率计的读数为，频率计的读数为f（单位为（单位为Hz），则转轴的转速），则转轴的转速n（单位为（单位为r/min）的计算公式为的计算公式为 60 fnz电动机电动机转速测量转速测量无损探伤无损探伤原理裂纹检测，缺陷造成涡流变化。火车轮检测火车轮检测油管检测油管检测
