图4.2 开环伺服系统 图4.3 闭环伺服系统 图4.4 半闭环伺服系统 图4.8 永磁式直流宽调速伺服电动机 图4.26 永磁交流伺服电机横截面 图4.27 永磁交流伺服电机纵剖面 表 4.1 位置检测元件分类 增 量 式 绝 对 式 回转型 脉冲编码器、旋转变压器、圆感应同步器、圆光栅 多速旋转变压器、绝对脉冲编码器、三速圆感应同步器 直线型 直线感应同步器、计量光栅、磁尺激光干涉仪 三速感应同步器、绝对值式磁尺 图4.45 光电盘工作原理示意图 图4.48 光电绝对值编码器 表4.5 各 种 光 栅 的 精 度 计 量 光 栅 光 栅 长 度m m 线 纹 数 精 度 玻 璃 透 射 光 栅 5 0 0 1 0 0/m m 5 m 玻 璃 透 射 光 栅 1 0 0 0 1 0 0/m m 1 0 m 金 属 反 射 光 栅 5 0 0 2 5/m m 7 m 金 属 反 射 光 栅 1 2 2 0 4 0/m m 1 3 m 高 精 度 反 射 光 栅 1 0 0 0 5 0/m m 7.5 m 直 线 式 玻 璃 衍 射 光 栅 3 0 0 2 5 0/m m 1.5 m 回 转 式 玻 璃 圆 光 栅 2 7 0 1 0 8 0 0/周 3 （a）结构图 （b）输出波形 图4.51 透射直线式光栅原理图 图4.58 直线感应同步器
