1、第二章第二章 软磁材料软磁材料定义：定义：能够迅速响应外磁场的变化，且能低损耗地获能够迅速响应外磁场的变化，且能低损耗地获得高磁感应强度的材料。得高磁感应强度的材料。特点：特点：既容易受外加磁场磁化，又容易退磁。既容易受外加磁场磁化，又容易退磁。*对软磁材料的基本要求有：对软磁材料的基本要求有：（1）初始磁导率）初始磁导率 i和最大磁导率和最大磁导率 max要高；要高；（2）矫顽力）矫顽力Hc要小；要小；（3）饱和磁感应强度）饱和磁感应强度MS要高；要高；（4）功率损耗）功率损耗P要低要低;（5）高的稳定性。）高的稳定性。*主要的软磁材料：主要的软磁材料：（1）合金如硅钢（）合金如硅钢（Fe-
2、Si）、）、坡莫合金（坡莫合金（Fe-Ni）、）、仙台斯仙台斯特合金（特合金（Fe-Si-Al）；）；（2）软磁铁氧体）软磁铁氧体Mn-Zn系、系、Ni-Zn系、系、Mg-Zn系等；系等；（3）非晶态、纳米晶、薄膜等。）非晶态、纳米晶、薄膜等。*发展史：发展史：（1）铁氧体问世之前，金属软磁材料垄断了电力、电子、通信）铁氧体问世之前，金属软磁材料垄断了电力、电子、通信各领域。各领域。优点：优点：其其MS远高于铁氧体，因此电力工业中的变压器、远高于铁氧体，因此电力工业中的变压器、电机等至今仍是电机等至今仍是Fe-Si合金材料。合金材料。缺点：缺点：涡流损耗限制了其在高涡流损耗限制了其在高频段的应
3、用。频段的应用。（2）20世纪世纪40年代开始，软磁铁氧体由实验室走向工业生产。年代开始，软磁铁氧体由实验室走向工业生产。 50年代至年代至90年代，铁氧体在软磁行业中独占鳌头。年代，铁氧体在软磁行业中独占鳌头。（3）1970年，年，Fe-Ni-B非晶态合金研制成功，非晶态合金研制成功， 1988年，年，Fe-Ni-B-Nb-Cu纳米微晶软磁材料问世，纳米微晶软磁材料问世， 90年代后，非晶与纳米微晶金属软磁材料逐步成为软磁铁年代后，非晶与纳米微晶金属软磁材料逐步成为软磁铁 氧体的新的竞争对手。氧体的新的竞争对手。 优点：优点：性能上远优于铁氧体；性能上远优于铁氧体；缺点：缺点：性价比上尚处于
4、劣势。性价比上尚处于劣势。2.1 衡量软磁材料的重要指标衡量软磁材料的重要指标1、起始磁导率、起始磁导率位转iii2SiMSiK1,111,1i影响磁导率的因素；提高磁导率的措施；损耗影响磁导率的因素；提高磁导率的措施；损耗（一）、影响磁导率的因素4机理机理： 可逆磁畴转动 可逆畴壁位移 动力动力：饱和磁化强度 阻力阻力：内应力、参杂、空泡、晶界1、可逆磁畴转动2、可逆畴壁位移 其中其中i = i 转转+ i位位2.2.2 提高软磁特性的措施提高软磁特性的措施effsiKM20 dKMeffsi 3120 sueffKKK231 畴壁厚度畴壁厚度杂质直径杂质直径杂质体积浓度杂质体积浓度i =
5、i 转+ i位决定磁性材料决定磁性材料 的因素的因素Ms;饱和磁化强度饱和磁化强度K; 磁晶各向异性常数磁晶各向异性常数 ; 磁致伸缩系数磁致伸缩系数Material microstructures (crystal defects, impurities, presence of 2nd phase); 晶格缺陷、晶格缺陷、杂质、第二相杂质、第二相Heat treatments (with and without H applied); 场退火场退火Grain sizes;晶粒尺寸晶粒尺寸Magnetization mechanism (domain wall displacement or
6、 domain rotation) 磁化机制磁化机制主要因素：主要因素： 基本上不随加工条件和应用情况变化。基本上不随加工条件和应用情况变化。,1sSKM次要因素：次要因素： 会随加工条件和应用情况而变化。会随加工条件和应用情况而变化。,2、矫顽力、矫顽力HC量级：量级：10-1A/m 102A/m*材料内部应力起伏和杂质的含量与分布是影响材料内部应力起伏和杂质的含量与分布是影响HC的主要因素。的主要因素。*降低降低HC的方法与提高的方法与提高 i的方法相一致。的方法相一致。3、饱和磁感应强度、饱和磁感应强度MS*高的高的MS 高的高的 i值；节省资源，实现器件的小型化值；节省资源，实现器件的
7、小型化*提高提高MS的方法：的方法：选择适当的配方成分，但实际上选择适当的配方成分，但实际上MS值一般值一般不可能有很大的变动。不可能有很大的变动。4、磁损耗、磁损耗*软磁材料多用于交流磁场，因此动态磁化造成的磁损软磁材料多用于交流磁场，因此动态磁化造成的磁损耗不可忽视。耗不可忽视。5、稳定性、稳定性*高稳定性是指磁导率的温度稳定性要高，减落要小，高稳定性是指磁导率的温度稳定性要高，减落要小，随时间的老化要尽可能地小，以保证其长寿命工作于随时间的老化要尽可能地小，以保证其长寿命工作于太空、海底、地下和其他恶劣环境。太空、海底、地下和其他恶劣环境。*影响软磁材料稳定工作的因素：影响软磁材料稳定工
8、作的因素：低温、潮湿、电磁场、机械负荷、电离辐射等低温、潮湿、电磁场、机械负荷、电离辐射等2.2 提高起始磁导率的途径提高起始磁导率的途径必要条件：必要条件：提高提高MS并降低并降低K1、 S的值的值充分条件：充分条件：降低杂质浓度，提高密度，增大晶粒尺寸，降低杂质浓度，提高密度，增大晶粒尺寸，结构均匀化，消除内应力和气孔的影响。结构均匀化，消除内应力和气孔的影响。1、提高、提高MS*选择合适的配方可提高材料的选择合适的配方可提高材料的MS值，但往往变动不大。值，但往往变动不大。2SiM*选择配方时更要考虑选择配方时更要考虑K1、 S对对 i的作用。的作用。*例：例：CoFe2O4、Fe3O4
9、的的MS虽然较高，但其虽然较高，但其K1和和 S值太大，值太大，因而不宜作为配方的基本成分。因而不宜作为配方的基本成分。2、降低降低K1和和 S*提高提高 i 的最有效方法的最有效方法从配方和工艺上使从配方和工艺上使K1 0、 S 0*铁氧体软磁材料：配方时选择铁氧体软磁材料：配方时选择K1和和 S很小的基本成分，如很小的基本成分，如MnFe2O4、MgFe2O4、CuFe2O4、NiFe2O4等。然后再采用等。然后再采用正负正负K1、 S补偿或添加非磁性金属离子冲淡磁性离子间的补偿或添加非磁性金属离子冲淡磁性离子间的耦合作用。耦合作用。*例：例：Fe-Ni合金合金质量分数质量分数 Ni 81
10、%时，时， S 0； Ni 76%时，时， K1 0； Ni 78.5%Fe-Ni合金经过热处理后，合金经过热处理后， i可达可达104 *选择适当合金成分和热处理条件可以控制选择适当合金成分和热处理条件可以控制K1和和 S在较低值在较低值3、改善材料的显微结构改善材料的显微结构*材料的显微结构是指结晶状态材料的显微结构是指结晶状态(晶粒大小、完整性、均匀性、晶粒大小、完整性、均匀性、织构等织构等)、晶界状态、杂质和气孔的大小与分布等。、晶界状态、杂质和气孔的大小与分布等。*杂质、气孔杂质、气孔的含量与分布是影响的含量与分布是影响 i的重要因素。的重要因素。 降低杂质、气孔的方法：原材料、烧结
11、温度及热处理条件的选择降低杂质、气孔的方法：原材料、烧结温度及热处理条件的选择*平均晶粒尺寸平均晶粒尺寸对对 i的影响很大，晶粒尺寸增大，晶界对畴壁的影响很大，晶粒尺寸增大，晶界对畴壁位移的阻滞作用减小，位移的阻滞作用减小， i升高。升高。例：例：MnZn铁氧体铁氧体尺寸尺寸5 m以下时，以下时， i500；尺寸在尺寸在5 m以以上时，上时， i3000 *晶粒尺寸长大的方法：适当提高烧结温度，但温度过高，便晶粒尺寸长大的方法：适当提高烧结温度，但温度过高，便会形成气孔，导致会形成气孔，导致 i下降。下降。*材料的织构化，包括结晶织构和磁畴织构，都可提高材料的织构化，包括结晶织构和磁畴织构，都
12、可提高 i4、降低内应力、降低内应力 *根据内应力的不同来源，可采用不同的方法：根据内应力的不同来源，可采用不同的方法：(1) 磁致伸缩引起的内应力，与磁致伸缩引起的内应力，与 S成正比，可通过降低成正比，可通过降低 S来来减小此应力。减小此应力。(2) 烧结后冷却速度太快，会造成晶格畸变，产生内应力。烧结后冷却速度太快，会造成晶格畸变，产生内应力。可采用低温退火处理来消除应力。可采用低温退火处理来消除应力。(3) 气孔、杂质、晶格缺陷等因素在材料内部产生应力。可气孔、杂质、晶格缺陷等因素在材料内部产生应力。可通过原材料的优选以及工艺过程的严格控制来消除。通过原材料的优选以及工艺过程的严格控制
13、来消除。2.3 金属软磁材料金属软磁材料2.3.1 电工纯铁电工纯铁*纯度在纯度在99.8%以上的铁，不含任何故意添加的合金化元素。以上的铁，不含任何故意添加的合金化元素。*制备方法：平炉冶炼时，首先用氧化渣除去碳、硅、制备方法：平炉冶炼时，首先用氧化渣除去碳、硅、锰等元素，再用还原渣除去磷和硫，并在出钢时在钢包锰等元素，再用还原渣除去磷和硫，并在出钢时在钢包中添加脱氧剂获得。经过退火热处理中添加脱氧剂获得。经过退火热处理 i（300500）, max（600012000）, HC（39.895.5）*含碳量是影响磁性能的主要因素。含碳量是影响磁性能的主要因素。除碳方法：高温用除碳方法：高温用
14、H2处理除碳，以消除铁中碳对畴壁移动的阻处理除碳，以消除铁中碳对畴壁移动的阻碍作用。碍作用。*电工纯铁存在时效现象电工纯铁存在时效现象原因：原因：高温时铁固溶体内溶解有较多的碳或氮，产品快速高温时铁固溶体内溶解有较多的碳或氮，产品快速冷却到室温时，溶解度减小，冷却到室温时，溶解度减小，Fe3C或或Fe4N由固溶体中以细由固溶体中以细微弥散形式析出，从而微弥散形式析出，从而HC增加，增加， i降低。降低。消除方法：消除方法：保温后，采用缓慢冷却到保温后，采用缓慢冷却到100-300的退火措施，的退火措施，这样在这样在650-300之间之间Fe3C有足够的时间析出有足够的时间析出、长大为对磁长大为
15、对磁性能影响不大的大颗粒夹杂物。性能影响不大的大颗粒夹杂物。*应用：应用：电磁铁的铁芯和磁极，继电器的磁路和各种零件，感电磁铁的铁芯和磁极，继电器的磁路和各种零件，感应式和电磁式测量仪表的各种零件，扬声器的各种磁路，电话应式和电磁式测量仪表的各种零件，扬声器的各种磁路，电话中的振动膜、磁屏蔽，电机中用以导引直流磁通的磁极，冶金中的振动膜、磁屏蔽，电机中用以导引直流磁通的磁极，冶金原料等。原料等。2.3.2 硅钢（硅钢片或电工钢片）硅钢（硅钢片或电工钢片）*在纯铁中加入少量硅，形成固溶体，这样提高了合金电阻在纯铁中加入少量硅，形成固溶体，这样提高了合金电阻率，减少了材料的涡流损耗。率，减少了材料
16、的涡流损耗。*缺点：缺点：电工纯铁只能在直流磁场下工作，在交变磁场下工电工纯铁只能在直流磁场下工作，在交变磁场下工作时涡流损耗大。作时涡流损耗大。*碳的质量分数在碳的质量分数在0.02以下，硅的质量分数为以下，硅的质量分数为1.5-4.5。常温下，常温下，Si在在Fe中的固溶度大约为中的固溶度大约为15，但，但Fe-Si系合金随系合金随Si含量的增加加工性能变差（变脆），因此硅质量百分含量含量的增加加工性能变差（变脆），因此硅质量百分含量5为一般硅钢制品的上限。为一般硅钢制品的上限。*随硅含量的增加，不足之随硅含量的增加，不足之处在于：处在于：BS和和TC降低；好降低；好处：处：K1 和和 S
17、 降低降低 i增加，增加，HC降低，降低， 增加增加降低铁损降低铁损*按照材料的生产方法、结晶织构和磁性能，电工用硅钢片按照材料的生产方法、结晶织构和磁性能，电工用硅钢片可分为：可分为：热轧非织构热轧非织构(无取向无取向)、冷轧非织构、冷轧非织构(无取向无取向)、冷轧、冷轧高斯织构高斯织构(单取向单取向)、冷轧立方织构、冷轧立方织构(双取向双取向)的硅钢片。的硅钢片。*例：高斯织构符号例：高斯织构符号(110)001；立方织构符号；立方织构符号(100)001。*电工硅钢片制造工艺电工硅钢片制造工艺：热轧和冷轧两种，以在结晶温度为：热轧和冷轧两种，以在结晶温度为区分点。区分点。*应用应用：电动
18、机、发电机、变压器、电磁机构、继电器电子：电动机、发电机、变压器、电磁机构、继电器电子器件及测量仪表中。器件及测量仪表中。2.3.3 坡莫合金坡莫合金*1913年被开发出来，镍的质量分数为年被开发出来，镍的质量分数为30-90的镍铁合金。的镍铁合金。*优点：优点：很高的磁导率，成分范围宽，而且磁性能可通过改变很高的磁导率，成分范围宽，而且磁性能可通过改变成分和热处理工艺等进行调节，延展性好，低的损耗。成分和热处理工艺等进行调节，延展性好，低的损耗。*缺点：缺点：BS低，低，Ni是高价金属。是高价金属。* Ni：7583%范围时，具有最佳的综合磁性能，但这一范范围时，具有最佳的综合磁性能，但这一
19、范围时围时BS较低。较低。*应用：应用：可用作在弱磁场下具有很高可用作在弱磁场下具有很高 的铁芯材料和磁屏蔽材的铁芯材料和磁屏蔽材料；也可用作要求低剩磁和恒磁导率的脉冲变压器材料；还料；也可用作要求低剩磁和恒磁导率的脉冲变压器材料；还可用作各种磁致伸缩合金、热磁合金、矩磁合金等。可用作各种磁致伸缩合金、热磁合金、矩磁合金等。2.3.4 其它软磁合金其它软磁合金*应用：应用：由于价格优势，常用作由于价格优势，常用作Fe-Ni合金的替代品合金的替代品。1、铁铝合金、铁铝合金*优点：优点：价格低；通过调解铝的含量，可以获得满足不同要求的价格低；通过调解铝的含量，可以获得满足不同要求的软磁材料；合金具
20、有较高的电阻率；具有较高的硬度、强度和耐软磁材料；合金具有较高的电阻率；具有较高的硬度、强度和耐磨性；合金密度低，可减轻元件重量；对应力不敏感，适于在冲磨性；合金密度低，可减轻元件重量；对应力不敏感，适于在冲击、振动等环境下工作；较好的温度稳定性；抗核辐射性能好。击、振动等环境下工作；较好的温度稳定性；抗核辐射性能好。2、铁硅铝合金、铁硅铝合金*1932年在日本仙台被开发出来，因此又称为仙台斯特合金，年在日本仙台被开发出来，因此又称为仙台斯特合金，成分为成分为Fe9.6Si5.4Al。该成分时，。该成分时， K1和和 S几乎同时趋于几乎同时趋于零，且具有高零，且具有高 和低和低HC。不需要高价
21、的不需要高价的Co和和Ni，且电阻率高、且电阻率高、耐磨性好，所以作为磁头磁芯材料比较理想。耐磨性好，所以作为磁头磁芯材料比较理想。*应用：应用：直流电磁铁铁芯、极头材料、航空发电机定子材料、直流电磁铁铁芯、极头材料、航空发电机定子材料、电话受话器的振动膜片，磁致伸缩材料。电话受话器的振动膜片，磁致伸缩材料。3、铁钴合金、铁钴合金*优点：优点：高的高的MS； Co50，同时有高的同时有高的MS， i， max*缺点：缺点：加工性能较差；电阻率低，不适合在高频场合用；加工性能较差；电阻率低，不适合在高频场合用；Co价格贵价格贵2.4 铁氧体软磁材料铁氧体软磁材料*最早由荷兰菲利普实验室最早由荷兰
22、菲利普实验室Snock于于1935年研制成功。其磁年研制成功。其磁性来源于亚铁磁性，故性来源于亚铁磁性，故MS较金属低，但比金属的较金属低，但比金属的 要高很多，要高很多，因此具有良好的高频特性。因此具有良好的高频特性。*软磁铁氧体材料的特性要求（四高）：软磁铁氧体材料的特性要求（四高）：高高 i，高品质因数高品质因数Q，高（时间、温度）稳定性，高截止频率高（时间、温度）稳定性，高截止频率fr。*除基本要求外，对应不同的应用场合还有不同的特殊要求。除基本要求外，对应不同的应用场合还有不同的特殊要求。比如电波吸收材料希望在工作频率范围内损耗越大越好。比如电波吸收材料希望在工作频率范围内损耗越大越
23、好。*按晶体结构进行分类：按晶体结构进行分类：*MnZn铁氧休是具有尖晶石结构的铁氧休是具有尖晶石结构的mMnFe2O4nZnFe2O4与与少量少量Fe3O4组成的单相固溶体。组成的单相固溶体。*低频段应用极广（低频段应用极广（500kHz以下），优点：磁滞损耗低，以下），优点：磁滞损耗低，相同磁导率情况下居里温度较相同磁导率情况下居里温度较NiZn高，高， i高高(可达可达4104 1105)，价格低廉。，价格低廉。*NiZn铁氧体：高频软磁材料，铁氧体：高频软磁材料，1100MHz。1MHz以下时，以下时，其性能不如其性能不如MnZn铁氧体，而在铁氧体，而在1MHz以上时，优于以上时，优于
24、MnZn铁铁氧体，因它具有多孔性及高电阻率。氧体，因它具有多孔性及高电阻率。*特点：频带宽，体积小，重量轻；起步晚，与国外差距大；特点：频带宽，体积小，重量轻；起步晚，与国外差距大；Ni价格高，小于价格高，小于30MHz时，可用时，可用MgZn铁氧体替代（性能铁氧体替代（性能稍差）。稍差）。*立方晶系铁氧体的使用频率：数百兆赫之下；立方晶系铁氧体的使用频率：数百兆赫之下；平面型六角晶系铁氧体：在平面型六角晶系铁氧体：在 i值相同的情况下值相同的情况下，fr较立方晶较立方晶系高系高510倍。倍。* 从应用角度软磁铁氧体大致可分为：从应用角度软磁铁氧体大致可分为：（1）高磁导率材料，）高磁导率材料
25、， i 104；（2）低损耗、高稳定性材料，高低损耗、高稳定性材料，高 Q值，低值，低DF值；值；（3）高频、大磁场用的材料；）高频、大磁场用的材料；（4）高饱和）高饱和Bs低功耗材料（功率铁氧体）；低功耗材料（功率铁氧体）；（5）甚高频六角铁氧体；）甚高频六角铁氧体；（6）其他铁氧体：如温感、湿感、电波吸收、电极等材料。）其他铁氧体：如温感、湿感、电波吸收、电极等材料。2.5 纳米晶软磁材料纳米晶软磁材料*特征：特征：（1）短程有序，长程无序；）短程有序，长程无序；（2）不存在位错和晶界，具有高磁导率和低矫顽力；）不存在位错和晶界，具有高磁导率和低矫顽力；（3）电阻率比同种晶态材料高，适用高
26、频）电阻率比同种晶态材料高，适用高频(涡流损耗小涡流损耗小)；（4）体系自由能高，结构不稳定，加热时有结晶化倾向；）体系自由能高，结构不稳定，加热时有结晶化倾向；（5）机械强度较高且硬度较高；）机械强度较高且硬度较高；（6）抗化学腐蚀能力强，抗）抗化学腐蚀能力强，抗 射线及中子等辐射能力强。射线及中子等辐射能力强。2.5.1 非晶态软磁材料非晶态软磁材料(具有优良的综合磁性能具有优良的综合磁性能)一、非晶态软磁材料的结构和性能一、非晶态软磁材料的结构和性能*目前已达到实用化的非晶软磁材料的分类：目前已达到实用化的非晶软磁材料的分类：1) 3d过渡金属过渡金属(T)非金属系。其中非金属系。其中T
27、为为Fe，Co，Ni等；非等；非金属为金属为B，C，Si、P等。等。铁基：铁基：BS较高；铁镍基：磁导率较高；钴基：适宜作为高频较高；铁镍基：磁导率较高；钴基：适宜作为高频开关电源变压器。开关电源变压器。2) 3d过渡金属过渡金属(T)金属系。金属为金属系。金属为Ti，Zr，Nb，Ta等。等。3) 过渡金属过渡金属(T)稀土类金属稀土类金属(RE)系。其中系。其中T为为Fe，Co；RE为为Gd，Tb，Dy，Nd等。等。 二、制备与应用二、制备与应用非晶态：结晶化前的中间状态，亚稳态。冷却速度足够快且非晶态：结晶化前的中间状态，亚稳态。冷却速度足够快且冷至足够低的温度，以致原子来不及形核结晶便凝
28、固下来。冷至足够低的温度，以致原子来不及形核结晶便凝固下来。制备方法：制备方法：1、气相沉积法、气相沉积法晶态材料原子晶态材料原子（离解）（离解）气相气相（无规沉积）（无规沉积）到低温冷却基体上到低温冷却基体上形成非晶态形成非晶态此类技术主要有：此类技术主要有：真空蒸发、溅射、辉光放电、化学沉积等真空蒸发、溅射、辉光放电、化学沉积等2、液相急冷法（大多采用此法）、液相急冷法（大多采用此法）熔融合金熔融合金（用加压惰性气体）（用加压惰性气体）液态合金从石英喷嘴中喷出液态合金从石英喷嘴中喷出形成均匀的熔融金属细流形成均匀的熔融金属细流连续喷射到高速旋转的冷却辊表连续喷射到高速旋转的冷却辊表面面液态
29、合金以液态合金以106108K/S高速冷却形成非晶态高速冷却形成非晶态3、高能粒子注入、高能粒子注入采用大功率高能粒子输入加热晶态材料表面，引起局部熔化采用大功率高能粒子输入加热晶态材料表面，引起局部熔化并迅速固化成非晶态。并迅速固化成非晶态。高能注入粒子有一定的射程，只能得到一薄层非晶材料，常高能注入粒子有一定的射程，只能得到一薄层非晶材料，常用于改善表面特性。用于改善表面特性。*铁基非晶带的损耗仅为传统铁基非晶带的损耗仅为传统Fe-Si合金的合金的1/3，但由于成本较，但由于成本较高，目前尚难以大量取代传统的材料，但在高功率脉冲变压高，目前尚难以大量取代传统的材料，但在高功率脉冲变压器、航
30、空变压器、开关电源等方面已获得应用。器、航空变压器、开关电源等方面已获得应用。钴基和铁镍基非晶：防盗标签（图书馆、超市）钴基和铁镍基非晶：防盗标签（图书馆、超市）2.5.2 纳米晶软磁材料纳米晶软磁材料1988年，日本日立金属公司的年，日本日立金属公司的Yashizawa等人在非晶合金基等人在非晶合金基础上通过晶化处理开发出纳米晶软磁合金（础上通过晶化处理开发出纳米晶软磁合金（Finemet）。）。特点：高特点：高BS，高，高 i，低损耗，铁基原材料成本低廉；，低损耗，铁基原材料成本低廉； 晶粒尺寸减小，矫顽力降低晶粒尺寸减小，矫顽力降低*目前已经开发或正在开发研究的系统：目前已经开发或正在开发研究的系统：Fe-Cu-M-Si-B（M为为Nb，Ta，Mo，W，Zr，Hf等）等）Fe-M-C和和Fe-M-V（M为为Ta等耐热金属）等耐热金属）最著名的为最著名的为Finemet纳米微晶软磁材料，其组成为纳米微晶软磁材料，其组成为Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9，晶粒尺寸约为晶粒尺寸约为10nm。*制备方法：非晶晶化法制备方法：非晶晶化法非晶条带，在略高于非晶晶化温非晶条带，在略高于非晶晶化温度下退火一度下退火一 定时间，使之纳米晶化。定时间，使之纳米晶化。
